24-04-2007 дата публикации
Номер: KR100710627B1
유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터 소정 유량(Q)의 처리가스를 정확하고 또 신속하게 원하는 유량비 Q 1 /Q 2 로 쳄버(C) 내로 분류공급할 수 있도록 한 것이다. 그 때문에, 본 발명에서는 유량제어장치(QCS)를 구비한 가스공급설비(1)로부터 소정 유량(Q)의 가스(G)를 쳄버로 공급하기 위한 복수의 분기공급라인 (GL 1 , GL 2 )에 각각 제1, 제2 개폐밸브(OV 1 , OV 2 )를 개설하고, 상기 제1 개폐밸브(OV 1 )의 하류측에 있어서 센터부용 분기공급라인(GL 1 )으로부터 분기된 제1 바이패스라인(BL 1 ), 제2 개폐밸브(OV 2 )의 하류측에 있어서 엣지부용 분기공급라인(GL 2 )으로부터 분기된 제2 바이패스라인(BL 2 ), 제1 바이패스라인(BL 1 )과 제2 바이패스라인(BL 2 )에 접속한 압력식 분류량 제어기(FV), 제1 분기공급라인(GL 1 ) 내의 압력을 측정하는 제1 압력센서(PS 1 ), 및 엣지부용 분기공급라인(GL 2 ) 내의 압력을 측정하는 제2 압력센서(PS 2 )를 사용하여, 분기공급라인(GL 1 , GL 2 )의 단말에 고정한 샤워 플레이트(3, 4)를 통하여 원하는 분류 유량(Q 1 , Q 2 )으로 쳄버(C) 내로 총량 Q=Q 1 +Q 2 의 가스를 분류공급한다. The gas supply facility equipped with the flow control device allows the treated gas of the predetermined flow rate Q to be accurately and quickly flown into the chamber C at the desired flow rate ratio Q 1 / Q 2 . Therefore, in the present invention, a plurality of branch supply lines GL 1 , GL 2 for supplying the gas G of the predetermined flow rate Q to the chamber from the gas supply facility 1 having the flow rate control device QCS. First and second on-off valves OV 1 and OV 2 are respectively opened at the first bypass points branched from the branch supply line GL 1 for the center part downstream from the first on-off valve OV 1 . The second bypass line BL 2 and the first bypass line BL 1 branched from the branch supply line GL 2 for the edge part on the downstream side of the line BL 1 , the second on-off valve OV 2 . Pressure flow rate controller FV connected to the second and second bypass lines BL 2 , a first pressure sensor PS 1 for measuring pressure in the first branch supply line GL 1 , and branch supply for the edge part. using the line the second pressure sensor (PS 2) for measuring the pressure in the (GL 2), the desired oil classification through shower plates (3, 4) fixed to terminals of branch feeding line (GL 1, GL 2) The quantities Q 1 and Q 2 are fractionated and supplied into the chamber C with the total ...
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