Способ контроля отклонения формы полупроводниковых пластин

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет обеспечения динамического перераспределения напряжений в устойчивую форму. Способ осуществляют в следующей последовательности . Контролируемую полупроводниковую пластину 9 размещают на поверхности 3 базового стола 1, динамически погружают равномерной погрузкой (вакуумированием) путем прижатия ее к поверхности стола, выдерживают под погрузкой, снимают погрузку путем последовательного отрыва пластины 9 от периферии к центру, затем без изменения позиционного положения устанавливают пластину 9 на поверхности 3 базового стола и проводят измерения, для чего наконечники всех преобразо- вателер 6 перемещением позиционера 4 вводят до контакта с поверхностью пластины 9. Электронный блок 9 выделяет сигналы максимального и минимального расстояний от поверхности 3 базового стола 1 до соответствующих точек измеряемой поверхности. Разность этих расстояний и составляет отклонение формы. 1 ил. с сл ...

Способ открытой разработки наклонных залежей полезного ископаемого

изобретение относитс  к горному делу и позвол ет повысить производительность и безопасность добычных работ за счет предотврапдени  оползани  рабочего борта карьера и отвалов 6 вскрышны.х пород. Карьерное поле вскрывают въездной 2 и разрезной 3 транше ми. Траншею 2 проход т в вис чем боку залежи на всю длину карьерного пол . Траншею 3 проход т под углом 45-60° к линии простирани  залежи. Далее осуществл ют укладку вскрышных пород от проходки траншей 2, 3 на нерабочий борт карьера. Нарезают вскрышные 4 и добычные 5 уступы, формиру  их с учетом созда и  горизонтальных рабочих пло- шадок. Отрабатывают уступы 4, 5 с по- мошью экскаваторов 8, 9 от вис чего бока залежи к лежачему с опережением отработки уступов 4, 5 по вис чему боку залежи . Горную массу отгружают колесным транспортом 10. Создаетс  упорна  призма 21 со стороны лежачего бока, удерживающа  этот бок карьера. Причем по мере отработки залежи траншею 2 погашают, а неиспользуема  ее часть заполн етс  отвалами 6. 1 э.п. ф-лы, 2 ил. (S. с The invention relates to mining and allows to increase the productivity and safety of mining operations due to the prevention of creeping of the working side of the quarry and dumps of overburden 6. The career field is opened by the entrance 2 and the cutting 3 trenches. Trench 2 is held in the lower side of the reservoir for the entire length of the quarry floor. Trench 3 extends at an angle of 45-60 °. to the line strike the deposits. Next, overburden is laid from the penetration of trenches 2, 3 onto the non-working board of the pit. Overburden 4 and mining 5 benches are cut, forming them taking into account the creation of horizontal working areas. They work off the ledges 4, 5 with the help of excavators 8, 9 from the side of the deposit to the recumbent side, ahead of the development of the ledges 4, 5 along the side of the deposit. The rock mass is shipped by wheel transport 10. A prism 21 is created at the side of the recumbent side to hold this side of the ...

Устройство для докрепления-раскрепления замковых соединений бурильных труб

Изобретение относитс  к бурению скважин. Цель - повышение надежности устр-ва в работе. Оно содержит корпус с установленными в нем зажимными кулачками (К) 3, гидроцилиндром (ГЦ) 4 поворота КЗ и цепной передачей 5 с установленными на ос х ведущей 6, ведомыми 7 и обводными 8 звездочками . На оси 10 звездочки 6 установлена зубчата  муфта. С корпусом шарнир- но соединен дополнительный ГЦ, шток которого посредством рычага шарнирно The invention relates to the drilling of wells. The goal is to increase device reliability in operation. It contains a housing with clamping jaws (K) 3 installed in it, hydraulic cylinder (HZ) 4 short-circuit rotations and chain transmission 5 with driving axles 6, driven 7 and bypass 8 sprockets. On the axis 10, an asterisk 6 is fitted with a gear coupling. An additional HZ is pivotally connected to the housing, the stem of which is pivotally pushed by means of a lever.

Способ получения полирующего состава для обработки полупроводниковых пластин

Изобретение относитс  к получению бездефектных полупроводниковых подложек дл  эпитаксиального наращивани  и может быть использовано при получении стабильных составов с высокой полирующей способностью. Изобретение позвол ет улучшить качество полирующего состава, полирующую способность и качество поверхности полупроводниковых пластин за счет осуществлени  способа получени  полирующего состава смешением водного раствора кремнийсодеожащего зол  с температурой 25-40°С с 2,5%-ным водным раствором этилендиаминтетрауксусной кислоты, с раствором натрийдодецилсульфата и 25%-ным раствором поли-N, N-диме- тил-М, N-диаллиламмонийфторида до получени  однородной консистенции с последующим введением окислител  - гипо- хлорида натри  при массовом соотношении кремнийсодержащего зол , этилендиаминтетрауксусной кислоты, натрийдодецилсульфата , поли-N, М-диметил-М, N-диаллиламмонийхлорида, гипохлорида натри  и воды соответственно 1:(0,0004-0,005) : (0,002-0,007) : (0,0025-0,0187) : (3,5-7,0) The invention relates to the production of defect-free semiconductor substrates for epitaxial growth and can be used in the preparation of stable compositions with a high polishing ability. The invention makes it possible to improve the quality of the polishing composition, the polishing ability and surface quality of semiconductor wafers by carrying out the method of obtaining the polishing composition by mixing an aqueous solution of a silicon-containing sol with a temperature of 25-40 ° C with a 2.5% aqueous solution of ethylenediaminetetraacetic acid, with a solution sodium dodecyl sulfate and a 25% solution of poly-N, N-dimethyl-M, N-diallylammonium fluoride to obtain a homogeneous consistency followed by the introduction of an oxidizing agent — sodium hypochloride at m The ratio of silicon ash, ethylenediaminetetraacetic acid, sodium dodecyl sulfate, poly-N, M-dimethyl-M, N-diallyl ammonium chloride, sodium hypochlorite and water, respectively, 1: (0.0004-0.005): (0.002-0.007): (0. ...

Захват для бурильных труб

Буровой ключ

Использование: при бурении скважин, а именно в технике, предназначенной для проведения спуско-прдъемных операций и операций наращивания бурильной колонны . Сущность изобретения: ключ буровой включает корпус, внутри которого находит : 2 ся зажимное устройство, центральное зубчатое колесо с внутренним и наружным венцами , связанные с ним валы-шестерни с зажимными кулачками и механизм сведения-разведения зажимных кулачков. В ключ введено дополнительное центральное колесо , связанное с валами-шестернями и объединенное с основным центральным колесом посредством стакана в единый поворотный узел. Механизм сведения-разведения зажимных кулачков выполнен в виде замкнутой цепной . передачи, связанной посредством блока звездочка-шестерня с основным центральным зубчатым колесом. После захвата свинчиваемых или развинчиваемых элементов бурильной колонны пово- ротным узлом осуществляется их свинчивание или развинчивание с разгрузкой резьбового соединения от веса ключа. 4 ил. ел ...

Устройство для измерения геометрических параметров полупроводниковых пластин

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  геометрических параметров полупроводниковых пластин. Цель изобретени  - повышение точности, расширение диапазона измерений и обеспечение неразрушающих измерений при контроле толщины. Измеритель содержит датчик касани , привод датчика касани , генератор тактовых импульсов, коммутатор сигналов калибровки , счетчик сигналов калибровки, схемы ИЛИ, коммутатор сигналов измерени , счетчик сигналов измерени , счетчик управлени  приводом, блок управлени  приводом. 1 ил. The invention relates to a measurement technique and can be used to control the geometrical parameters of semiconductor wafers. The purpose of the invention is to improve the accuracy, expanding the range of measurements and providing non-destructive measurements while controlling the thickness. The meter contains a touch sensor, a touch sensor drive, a clock pulse generator, a calibration signal switch, a calibration signal counter, an OR circuit, a measurement signal switch, a measurement signal counter, a drive control counter, a drive control unit. 1 il.

Элеватор автоматический для бурильных труб

ЭЛЕВАТОР АВТОМАТИЧЕСКИЙ ДЛЯ БУРИЛЬНЫХ ТРУБ, содержащий корпус, зажимные элементы, внутреннюю обойму и наружную обойму с приводом перемещени , отличающийс  тем, что, с целью сокращени  затрат времени на спускоподъемные операции, он снабжен жестко св занной с наружной обоймой перемычкой с упором в виде стержн  с конусом, установленного с возможностью взаимодействи  с бурильной трубой, жестко св занными с внутренней обоймой т гами с ограничител ми их перемещени  относительно корпуса и самотормоз щимис  клинь ми, св занными с приводом и установленными между корпусом и наружной обоймой. (Л ю 05 сд ю 00 ELEVATOR AUTOMATIC FOR BORING PIPES, comprising a housing, clamping elements, an inner ferrule and a displaced outer cage, characterized in that, in order to reduce the time spent on tripping, it is equipped with a jumper with an emphasis in the form of a rod with a cone mounted with the possibility of interacting with the drill pipe, rigidly connected with the inner race by means of thrusts with restrictors of their movement relative to the body and self-braking wedges associated with house and installed between the hull and the outer race. (Lue 05 sdu 00

Устройство для спуска бурильных труб

Изобретение предназначено дл  автоматизации спуско-подъемных операций при бурении и повьшает надежность работы устройства за счет контрол  операции передачи веса бурильных труб (ВТ) от клинового элеватора (КЭ) 6 клиновому захвату. С лебедкой 2 и св занным с КЭ 6 талевым блоком 4 соединены исполнительные механизмы (ИМ) 30 и 31. Входы ИМ 30 и 31 соединены с выходом блока 9 управлени  передачей веса ВТ. К входам блока 9 подключены выходы датчика (Л го а о: о 4;: The invention is intended to automate tripping operations during drilling and increases the reliability of the device by controlling the operation of transferring the weight of drill pipes (BT) from the wedge elevator (CE) 6 to the wedge grip. With the winch 2 and the traveling block 4 connected to the CE 6, the actuators (MIs) 30 and 31 are connected. The MI 30 and 31 inputs are connected to the output of the W weight transfer control unit 9. To the inputs of block 9 are connected to the outputs of the sensor (L go and about: about 4 ;:

Ключ для свинчивания-развинчивания бурильного инструмента

Изобретение относитс  к устройствам дл  свинчивани  или развинчивани  резьбовых соединений. Цель изобретени  - по- вьинение производительности н повьпиение В 7 0 36 37 удобства экс 1луатаиии. Ключ содержит зажимное устройство с валами-шестерн ми 6, на которых коисольио расположены кулачки 7, и средства унрав,1ени , вклюмаюихие управл ющий упор 12, расноложениый в ступенчатом пазу зубчатого колеса 5, конечный выключатель, гидроцилиндр и систему рычагов , соедин ющую последние с упором 12. При свинчивании упор 12 переводитс  в крайнее уда. юнное от центра ключа положение в пазу 31, рычаг, воздействующий на конечный выключатель, дает сигиал на запуск гидромотора 3, приводитс  во вращение зубчатое колесо 5, в зеве которого расположена бурильна  труба, при этом поворачиваютс  валы-1нестернн 6, несущие кулачки 7, и последние зажимают трубу в зеве зубчатого колеса 5. При развинчивании измен етс  положение упора 12 в пазу 31 и направление вращени  гидромотора 3. 1 з. п. ф-лы, 7 ил. -W с (Л 4 СО о ю 4 05 S / рие.2 This invention relates to devices for screwing or unscrewing threaded connections. The purpose of the invention is to improve performance and drive 7 0 36 37 convenience of use. The key contains a clamping device with pinion shafts 6, on which the coisolio cams 7 are located, and means of lightening, 1eni, including a control stop 12, located in the stepped groove of the gear wheel 5, the limit switch, the hydraulic cylinder and the system of levers connecting the latter stop 12. When screwing, stop 12 is transferred to the utmost. The position from the center of the key in the groove 31, the lever acting on the limit switch, gives sigal to start the motor 3, the gear wheel 5 is rotated, in the mouth of which the drill pipe is located, the shafts 1 1 are rotated, the cams 7 are rotated, and the latter clamp the pipe in the throat of the gear wheel 5. When unscrewing, the position of the stop 12 in the groove 31 and the direction of rotation of the hydraulic motor 3 ...

Продольное уплотнение вакуум-камер конвейерных машин

Устройство для удержания бурильной колонны

Самосвальное транспортное средство

Устройство для подачи труб на ось бурения

Буровой ключ

Использование: в буровой технике, в частности в механизмах для спускоподъем- ных операций. Сущность изобретения: буровой ключ включает механизм свинчи- вания-развинчизания, стопорный механизм и рычажно-гидравлический узел стыковки между ними, содержащий цилиндр, тяги и шарнирные опоры. Рычажно-гидравлический узел стыковки выполнен в виде двух параллельных друг другу и симметрично расположенных относительно продольной плоскости симметрии горизонтальных тяг и траверсы с гидроцилиндром. Последний шарнирно связан с механизмом свинчивания-развинчивания , зубчатые секторы установлены на вертикальных осях, закрепленных на механизме свинчивания- развинчивания и находятся в зацеплении. Тяги шарнирно связаны средними своими частями с траверсой, одними своими концами - со стопорным механизмом, а другими - с зубчатыми секторами. Делительные окружности зубчатых секторов касаются продольной плоскости симметрии. При работе механизм свинчивания-развинчивания самоустанавливается по оси бурового инструмента ...

Разгрузочное устройство агломерационной машины

Механизм удержания бурильной колонны

Устройство для испытания буровых вышек

Изобретение относитс  к испытанию буровых вышек. Цель изобретени  - сокращение времени на монтаж-демонтаж устройства. Устройство дл  испытани  буровых вышек содержит уравновешивающиес  гибкие св зи в виде коромысла 1 и шарнирных т г (ШТ) 3. Последние состо т из отдельных звеньев, соединенных шарнирами 4. Верхние звень  шарнирно соединены с коромыслом 1, которое зацеплено за крюк 6 талевой системы. Нагрузочный механизм выполнен в виде гидроцилиндров (ГЦ) 7 с

Arrangement for retaining pipe string

Буровой ключ

Использование: при бурении скважин, а именно в технике, предназначенной дл  проведени  спуско-прдъемных операций и операций наращивани  бурильной колонны . Сущность изобретени : ключ буровой включает корпус, внутри которого находит : 2 с  зажимное устройство, центральное зубчатое колесо с внутренним и наружным венцами , св занные с ним валы-шестерни с зажимными кулачками и механизм сведени -разведени  зажимных кулачков. В ключ введено дополнительное центральное колесо , св занное с валами-шестерн ми и объединенное с основным центральным колесом посредством стакана в единый поворотный узел. Механизм сведени -разведени  зажимных кулачков выполнен в виде замкнутой цепной . передачи, св занной посредством блока звездочка-шестерн  с основным центральным зубчатым колесом. После захвата свинчиваемых или развинчиваемых элементов бурильной колонны пово- ротным узлом осуществл етс  их свинчивание или развинчивание с разгрузкой резьбового соединени  от веса ключа. 4 ил. ел

Method for diamond cutting of hard and brittle materials

Изобретение относитс  к механической обработке твердых и хрупких материалов, а именно к способам алмазной резки кремни , германи , сапфира л т.п. на пластины. Целью изобретени   вл етс  повышение производительности и качества отрезаемых пластин. При алмазной ре,е полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом с внутренней непрерывной режущей кромкой в процессе его нат жени  режущей кромче придают волнообразную форму с суммарным числом выступов и впадин, равным количеству нат жных боптов, а в про- цес е резки производ т дополнительное нат жение круга болтами, расположенными против выступов режущей кромки до получени  на их месте впадин. 1 з.п. ф-лы, ил. The invention relates to the machining of hard and brittle materials, and in particular to diamond cutting methods for silicon, germanium, sapphire and the like. on the plate. The aim of the invention is to improve the performance and quality of the cut plates. With diamond re, e semiconductor materials with a diamond cutting wheel with an internal continuous cutting edge during its tensioning, the cutting edge gives a wavy shape with a total number of protrusions and depressions equal to the number of tension bopts, and during the cutting process additional tension is produced a circle with bolts located against the protrusions of the cutting edge until the depressions are in place. 1 hp f-ly, il.

Charging means for an agglomerating machine

Automatic elevator for running drill pipes in and out

Dump vehicle

Буровой ключ

Использование: в буровой технике, в частности в механизмах дл  спускоподъем- ных операций. Сущность изобретени : буровой ключ включает механизм свинчи- вани -развинчизани , стопорный механизм и рычажно-гидравлический узел стыковки между ними, содержащий цилиндр, т ги и шарнирные опоры. Рычажно-гидравлический узел стыковки выполнен в виде двух параллельных друг другу и симметрично расположенных относительно продольной плоскости симметрии горизонтальных т г и траверсы с гидроцилиндром. Последний шарнирно св зан с механизмом свинчивани -развинчивани , зубчатые секторы установлены на вертикальных ос х, закрепленных на механизме свинчивани - развинчивани  и наход тс  в зацеплении. Т ги шарнирно св заны средними своими част ми с траверсой, одними своими концами - со стопорным механизмом, а другими - с зубчатыми секторами. Делительные окружности зубчатых секторов касаютс  продольной плоскости симметрии. При работе механизм свинчивани -развинчивани  самоустанавливаетс  по оси бурового инструмента . 3 ил. in С