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21-03-2023 дата публикации

반도체 소자 및 그 제조 방법

Номер: KR20230039438A
Автор: 박환열, 박세준, 조준형, 경세진, 공대위, 김태민
Принадлежит:

... 반도체 소자의 제조 방법이 개시된다. 상기 제조 방법은, 제1 면과 제2 면을 포함하고, 셀 영역과 스크라이브 레인 영역을 포함하는 기판의 상기 셀 영역 상에 복수의 회로 블록을 형성하는 단계; 상기 기판의 상기 스크라이브 레인 영역의 상기 제1 면 상에 바이어스 패드를 형성하는 단계; 상기 기판의 상기 제2 면 상에 중수소 교환 구조물을 접합시키는 단계; 상기 중수소 교환 구조물 내에 플라즈마 공정에 의해 중수소를 주입하는 단계; 및 상기 바이어스 패드에 제1 전압을 인가하여 상기 중수소 교환 구조물로부터 상기 기판의 상기 제2 면을 통해 상기 기판 내부로 중수소를 확산시키는 단계를 포함한다.

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Номер записи: 1