Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
09-11-2016 дата публикации

패드 컨디셔닝 디스크, 및 프리 컨디셔너 유닛을 포함하는 ＣＭＰ 장치

Номер: KR0101674058B1
Автор: 최재광, 김홍진, 서건식, 한솔, 이근택, 권병호
Принадлежит: 삼성전자 주식회사

... 본 발명은 패드 컨디셔닝 디스크, 프리 컨디셔너 유닛, 이를 포함하는 CMP 장치들이 설명된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 컨디셔닝 디스크는, 산 타입의 팁들과, 골 타입의 홈들이 반복적으로 연결되는 베이스및 상기 팁들 및 상기 홈들의 표면들에 컨디셔닝 입자들이 증착된 절삭층을 포함한다. 상기 팁들의 표면들에 부착된 컨디셔닝 입자들의 거칠기가 상기 홈들의 표면들에 부착된 컨디셔닝 입자들의 표면 거칠기보다 작다.

Подробнее
Номер записи: 1