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25-10-2018 дата публикации

석영유리도가니의 파괴 검사 방법 및 양부 판정 방법

Номер: KR0101911945B1
Автор: 키타하라 켄, 사토 타다히로, 스도 토시아키, 키타하라 에리코, 와타나베 타카시
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 실제 사용 상황에 될 수 있는 한 가까운 상태에서 검사할 수 있는 석영유리도가니의 파괴 검사 방법 및 양부 판정 방법을 제공한다. 본 발명에 의한 석영유리도가니의 파괴 검사 방법은, 그래파이트 서셉터(2)에 지지되는 실리콘 단결정 인상용 석영유리도가니(1)의 내표면에 오토 센터 펀치(10)의 끝단부를 누르면서 오토 센터 펀치(10)를 통하여 내표면의 한점에 순간적으로 하중을 가하였을 때의 내표면의 균열 상태를 평가한다.

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Номер записи: 1
07-03-2016 дата публикации

실리카 유리 도가니

Номер: KR1020160024936A
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит:

... 상단이 개구되고 연직방향으로 연장되는 대략 원통형의 직동부, 만곡한 저부, 및 상기 직동부와 상기 저부를 연결하고 또한 상기 저부보다도 곡률이 큰 코너부를 갖는 도가니에 있어서, 상기 도가니의 내표면은, 홈 형상의 골이 마루와 마루 사이에 끼워진 요철구조를 가지고, 상기 마루와 마루의 평균 간격이, 5 ~ 100μm인 실리카 유리 도가니이다.

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Номер записи: 2
12-02-2016 дата публикации

단결정 인상용 실리카 유리 도가니 및 그 제조 방법

Номер: KR1020160015318A
Автор: 스도 토시아키, 키타하라 켄, 아이바 아키히로, 오우슈야 카즈시, 요시다 후미에, 히노오카 마키코, 키타하라 에리코, 사토 타다히로
Принадлежит:

... 장시간의 고온조건하에서 사용하여도, 변형이 억제되는 실리카 유리 도가니와 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 상단이 개구되어 연직방향으로 연장되는 대략 원통형의 직동부, 만곡한 저부, 및 상기 직동부와 상기 저부를 연결하고 또한 상기 저부보다도 곡률이 큰 코너부를 구비하는 실리카 유리 도가니에 있어서, 상기 실리카 유리 도가니는, 내측에 투명층, 및 그 외측에 기포층을 구비하고, 상기 투명층의 내표면측에 압축 응력이 잔류하는 압축 응력층과, 상기 압축 응력층과 완만한 응력변화율로 인접하고 있는, 인장 응력이 잔류하는 인장 응력층을 구비하는 실리카 유리 도가니이다.

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Номер записи: 3
11-07-2016 дата публикации

SILICA GLASS CRUCIBLE

Номер: KR0101638586B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 요시오카 타쿠마, 키시 히로시
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 실리카 유리 도가니(12)의 좌굴 또는 측벽부(15)의 도가니 내부로의 도괴를 유효하게 억제한다. 상면에 개구한 가장자리부를 갖는 원통형의 측벽부(15)와, 곡선으로 이루어지는 절구 형태의 바닥부(16)와, 측벽부(15) 및 바닥부(16)를 연접하는 라운드부(17)를 구비하는 실리카 유리 도가니(12)가 제공된다. 이 실리카 유리 도가니(12)에서는 측벽부(15)의 두께 방향의 단위 면적 당 열저항이 라운드부(17)의 두께 방향의 단위 면적 당 열저항보다 크다.

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Номер записи: 4
25-10-2018 дата публикации

실리콘 단결정의 제조 방법 및 제조 시스템

Номер: KR0101911946B1
Автор: 사토 타다히로, 키타하라 에리코, 스도 토시아키, 키타하라 켄
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 각각의 실리카 유리 도가니의 용적을 정확하게 파악하여 실리카 유리 도가니내의 실리콘 융액의 초기 액면 레벨을 사전에 예측함으로써, 종결정의 착액 공정을 확실하게 한다. 실리카 유리 도가니 내에 원료를 충전하기 전에 실리카 유리 도가니의 내표면 상의 다수점의 공간좌표를 측정하고, 각 측정점을 정점좌표로 하는 폴리곤의 조합으로부터 실리카 유리 도가니의 내표면의 3차원 형상을 특정하고(S11), 실리카 유리 도가니 내의 실리콘 융액의 초기 액면 레벨의 예측값을 미리 설정하고(S12), 실리카 유리 도가니의 내표면의 3차원 형상에 기초하여, 초기 액면 레벨의 예측값을 만족시키는 실리콘 융액의 체적을 구하고(S13), 상기 체적을 가지는 실리콘 융액의 중량을 구하고(S14), 상기 중량을 가지는 원료를 실리카 유리 도가니에 충전하고(S15), 초기 액면 레벨의 예측값에 근거하여 종결정의 착액 제어를 행한다 (S17).

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Номер записи: 5
25-08-2017 дата публикации

실리콘 단결정 인상용 실리카 유리 도가니의 제조에 적합한 실리카 분말의 평가 방법

Номер: KR0101771615B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 히노오카 마키코
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 실리카 분말에 있어서의 실리카 입자 간의 간극율을 측정하는 공정과, 상기 실리카 분말을 용융하는 공정과, 용융 실리카 분말을 냉각하여 경화시킨 실리카 유리 블록의 기포 함유율을 측정하는 공정과, 상기 실리카 분말에 있어서의 간극율과 상기 실리카 유리 블록의 기포 함유율로부터 적합한 실리카 분말인지 아닌지를 판정하는 공정을 가지는, 실리콘 단결정 인상용 실리카 유리 도가니에 있어서의 무기포층 형성에 적합한 실리카 분말의 평가 방법이다.

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Номер записи: 6
02-03-2016 дата публикации

실리콘 단결정 인상 방법

Номер: KR1020160022892A
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит:

... 실리카 유리 도가니를 유지 가능한 서셉터의 내면 형상의 삼차원 데이터와 상기 도가니의 삼차원 데이터에 근거하고 또한 상기 서셉터의 내표면과 상기 도가니의 외표면 사이에 부설하면 상기 서셉터의 중심축과 상기 도가니의 중심축이 실질적으로 일치하도록 형성된 성형체를, 상기 서셉터의 내표면과 상기 도가니의 외표면 사이에 부설하는 공정을 구비하는, 실리콘 단결정 인상 방법이다.

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Номер записи: 7
26-10-2017 дата публикации

실리카 유리 도가니

Номер: KR0101790718B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 상단이 개구되고 연직방향으로 연장되는 대략 원통형의 직동부, 만곡한 저부, 및 상기 직동부와 상기 저부를 연결하고 또한 상기 저부보다도 곡률이 큰 코너부를 갖는 도가니에 있어서, 상기 도가니의 내표면은, 홈 형상의 골이 마루와 마루 사이에 끼워진 요철구조를 가지고, 상기 마루와 마루의 평균 간격이, 5 ~ 100μm인 실리카 유리 도가니이다.

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Номер записи: 8
20-05-2016 дата публикации

DEVICE FOR ASSISTING WITH SETTING OF MANUFACTURING CONDITIONS FOR SILICA GLASS CRUCIBLE, DEVICE FOR ASSISTING WITH SETTING OF MANUFACTURING CONDITIONS FOR MOLD FOR MANUFACTURING SILICA GLASS CRUCIBLE, DEVICE FOR ASSISTING WITH CONDITION SETTING FOR RAISING MONOCRYSTALLINE SILICON USING SILICA GLASS CRUCIBLE

Номер: KR0101623178B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 에리코, 토비타 슈지, 스즈키 코이치
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 설계 데이터에 대한 삼차원 형상의 일치도가 높은 실리카 유리 도가니를 회전 몰드법으로 제조한다. 최초의 물성 파라미터에 의거하여 얻어진 시뮬레이션 데이터 및 측정 데이터의 삼차원 형상의 일치도가 소정의 수준을 밑돌고 있는 경우에는, 그 일치도가 소정의 수준 이상이 되는 개선 물성 파라미터를 설정한다. 또한, 최초의 제조 조건에 의거하여 얻어진 시뮬레이션 데이터 및 측정 데이터의 삼차원 형상의 일치도가 소정의 수준을 밑돌고 있는 경우에는, 설계 데이터와의 일치도가 소정의 수준 이상이 되는 시뮬레이션 데이터가 얻어지는 개선 제조 조건을 설정한다. 그 결과, 실리카 유리 도가니의 설계 데이터 및 측정 데이터의 삼차원 형상의 일치도를 소정의 수준 이상으로 높일 수 있다. 즉, 설계 데이터에 대한 삼차원 형상의 일치도가 높은 실리카 유리 도가니를 회전 몰드법으로 제조할 수 있다.

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Номер записи: 9
03-08-2016 дата публикации

석영 유리 도가니 및 그 제조 방법

Номер: KR1020160091990A
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит:

... 고온하에서의 변형이 억제된 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법을 제공한다.석영 유리 도가니(1)는, 원통 형상의 직동부(10a)와, 직동부(10a)의 하단에 형성된 코너부(10c)와, 코너부(10c)를 개재하여 직동부(10a)에 접속된 저부(10b)를 가지고 있다. 또한, 석영 유리 도가니(1)는, 외층을 구성하는 기포를 내포하는 불투명층(11)과, 내층을 구성하는 기포가 제거된 투명층(12)을 구비하고 있다. 적어도 직동부(10a)에 있어서의 불투명층(11)과 투명층(12)과의 경계면은, 상하 방향에 주기적인 파면을 형성하고 있다.

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Номер записи: 10
20-05-2016 дата публикации

SILICA GLASS CRUCIBLE AND METHOD FOR PRODUCING MONOCRYSTALLINE SILICON USING SAME

Номер: KR0101623176B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 에리코, 후지타 타케시
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 실리카 유리 도가니의 좌굴 및 측벽부의 도가니 내부로의 도괴를 효과적으로 억제한다. 또한, 실리콘 단결정에 전위가 발생하는 것을 억제하고, 단결정 수율을 높인다. 상면에 개구한 가장자리부를 갖는 원통형의 측벽부와, 곡선으로 이루어지는 절구 형태의 바닥부와, 측벽부 및 바닥부를 연접하는 라운드부를 구비하는, 단결정 실리콘의 인상에 사용되는 실리카 유리 도가니가 제공된다. 이 실리카 유리 도가니의 회전축을 지나는 단면에 있어서, 라운드부의 내표면의 곡률이 측벽부로부터 바닥부의 방향을 향해 서서히 커지도록 마련되어 있다.

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Номер записи: 11
20-12-2016 дата публикации

실리카 유리 도가니의 삼차원 형상 측정 방법, 실리콘 단결정의 제조 방법

Номер: KR0101688125B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 도가니의 내표면을 오염시키지 않고 도가니의 내표면의 삼차원 형상의 측정을 가능하게 하는 실리카 유리 도가니의 삼차원 형상 측정 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 실리카 유리 도가니의 내표면에 혼탁을 발생시키는 공정과, 상기 내표면에 대해 광을 조사하고, 그 반사광을 검출함으로써 상기 내표면의 삼차원 형상을 측정하는 공정을 구비하는 실리카 유리 도가니의 삼차원 형상 측정 방법이 제공된다.

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Номер записи: 12
25-08-2017 дата публикации

석영 유리 도가니 및 그 제조 방법

Номер: KR0101771599B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 고온하에서의 변형이 억제된 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법을 제공한다.석영 유리 도가니(1)는, 원통 형상의 직동부(10a)와, 직동부(10a)의 하단에 형성된 코너부(10c)와, 코너부(10c)를 개재하여 직동부(10a)에 접속된 저부(10b)를 가지고 있다. 또한, 석영 유리 도가니(1)는, 외층을 구성하는 기포를 내포하는 불투명층(11)과, 내층을 구성하는 기포가 제거된 투명층(12)을 구비하고 있다. 적어도 직동부(10a)에 있어서의 불투명층(11)과 투명층(12)과의 경계면은, 상하 방향에 주기적인 파면을 형성하고 있다.

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Номер записи: 13
29-02-2016 дата публикации

실리카 유리 도가니의 검사 방법

Номер: KR1020160022371A
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 오하라 마사미
Принадлежит:

... 실리카 유리 도가니의 내표면 상의 측정점에 있어서, 적외선 흡수 스펙트럼 또는 라만 시프트를 측정하는 측정 공정, 및 얻어진 스펙트럼에 근거하여 상기 측정점에 표면 결함 부위가 발생할지 아닐지를 예측하고, 상기 실리카 유리 도가니의 품질을 판단하는 판단 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 실리카 유리 도가니의 검사 방법이다.

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Номер записи: 14
25-08-2017 дата публикации

실리카 유리 도가니의 검사 방법

Номер: KR0101771608B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 오하라 마사미
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 실리카 유리 도가니의 내표면 상의 측정점에 있어서, 적외선 흡수 스펙트럼 또는 라만 시프트를 측정하는 측정 공정, 및 얻어진 스펙트럼에 근거하여 상기 측정점에 표면 결함 부위가 발생할지 아닐지를 예측하고, 상기 실리카 유리 도가니의 품질을 판단하는 판단 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 실리카 유리 도가니의 검사 방법이다.

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Номер записи: 15
26-10-2017 дата публикации

단결정 인상용 실리카 유리 도가니 및 그 제조 방법

Номер: KR0101790716B1
Автор: 스도 토시아키, 키타하라 켄, 아이바 아키히로, 오우슈야 카즈시, 요시다 후미에, 히노오카 마키코, 키타하라 에리코, 사토 타다히로
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 장시간의 고온조건하에서 사용하여도, 변형이 억제되는 실리카 유리 도가니와 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 상단이 개구되어 연직방향으로 연장되는 대략 원통형의 직동부, 만곡한 저부, 및 상기 직동부와 상기 저부를 연결하고 또한 상기 저부보다도 곡률이 큰 코너부를 구비하는 실리카 유리 도가니에 있어서, 상기 실리카 유리 도가니는, 내측에 투명층, 및 그 외측에 기포층을 구비하고, 상기 투명층의 내표면측에 압축 응력이 잔류하는 압축 응력층과, 상기 압축 응력층과 완만한 응력변화율로 인접하고 있는, 인장 응력이 잔류하는 인장 응력층을 구비하는 실리카 유리 도가니이다.

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Номер записи: 16
29-02-2016 дата публикации

실리콘 단결정 인상용 실리카 유리 도가니의 제조에 적합한 실리카 분말의 평가 방법

Номер: KR1020160022372A
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 히노오카 마키코
Принадлежит:

... 실리카 분말에 있어서의 실리카 입자 간의 간극율을 측정하는 공정과, 상기 실리카 분말을 용융하는 공정과, 용융 실리카 분말을 냉각하여 경화시킨 실리카 유리 블록의 기포 함유율을 측정하는 공정과, 상기 실리카 분말에 있어서의 간극율과 상기 실리카 유리 블록의 기포 함유율로부터 적합한 실리카 분말인지 아닌지를 판정하는 공정을 가지는, 실리콘 단결정 인상용 실리카 유리 도가니에 있어서의 무기포층 형성에 적합한 실리카 분말의 평가 방법이다.

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Номер записи: 17
24-05-2017 дата публикации

실리콘 단결정의 제조 방법 및 제조 시스템

Номер: KR1020170057413A
Автор: 사토 타다히로, 키타하라 에리코, 스도 토시아키, 키타하라 켄
Принадлежит:

... 각각의 실리카 유리 도가니의 용적을 정확하게 파악하여 실리카 유리 도가니내의 실리콘 융액의 초기 액면 레벨을 사전에 예측함으로써, 종결정의 착액 공정을 확실하게 한다. 실리카 유리 도가니 내에 원료를 충전하기 전에 실리카 유리 도가니의 내표면 상의 다수점의 공간좌표를 측정하고, 각 측정점을 정점좌표로 하는 폴리곤의 조합으로부터 실리카 유리 도가니의 내표면의 3차원 형상을 특정하고(S11), 실리카 유리 도가니 내의 실리콘 융액의 초기 액면 레벨의 예측값을 미리 설정하고(S12), 실리카 유리 도가니의 내표면의 3차원 형상에 기초하여, 초기 액면 레벨의 예측값을 만족시키는 실리콘 융액의 체적을 구하고(S13), 상기 체적을 가지는 실리콘 융액의 중량을 구하고(S14), 상기 중량을 가지는 원료를 실리카 유리 도가니에 충전하고(S15), 초기 액면 레벨의 예측값에 근거하여 종결정의 착액 제어를 행한다 (S17).

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Номер записи: 18
11-07-2016 дата публикации

METHOD FOR EVALUATING SILICA GLASS CRUCIBLE, METHOD FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTALS

Номер: KR0101638584B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코, 코다마 마키코
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 비파괴적으로 도가니의 내표면의 삼차원 형상을 측정할 수 있는 실리카 유리 도가니의 평가 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 실리카 유리 도가니의 내표면을 따라 비접촉으로 내부 측거부를 이동시키고, 이동 경로 위의 복수 개의 측정점에 있어서 내부 측거부로부터 상기 도가니의 내표면에 대해 비스듬한 방향으로 레이저광을 조사하고, 상기 내표면으로부터의 내표면 반사광을 검출함으로써 내부 측거부와 상기 내표면 사이의 내표면 거리를 측정하고, 각 측정점의 삼차원 좌표와 상기 내표면 거리를 관련시킴으로써 상기 도가니의 내표면 삼차원 형상을 구하는 공정을 구비하는 실리카 유리 도가니의 평가 방법이 제공된다.

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Номер записи: 19
26-10-2017 дата публикации

실리콘 단결정 인상 방법

Номер: KR0101790724B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 실리카 유리 도가니를 유지 가능한 서셉터의 내면 형상의 삼차원 데이터와 상기 도가니의 삼차원 데이터에 근거하고 또한 상기 서셉터의 내표면과 상기 도가니의 외표면 사이에 부설하면 상기 서셉터의 중심축과 상기 도가니의 중심축이 실질적으로 일치하도록 형성된 성형체를, 상기 서셉터의 내표면과 상기 도가니의 외표면 사이에 부설하는 공정을 구비하는, 실리콘 단결정 인상 방법이다.

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Номер записи: 20
09-05-2018 дата публикации

석영 유리 도가니 및 그의 왜곡 측정 장치

Номер: KR0101856091B1
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит: 가부시키가이샤 섬코

... 석영 유리 도가니 전체의 왜곡 분포를 비파괴로 측정한다. 왜곡 측정 장치는, 석영 유리 도가니(1)에 그 외측에서 투광하는 광원(11)과, 광원(11)과 석영 유리 도가니(1)의 벽체의 외표면과의 사이에 배치된 제1의 편광판(12) 및 제1의 1/4파장판(13)과, 석영 유리 도가니(1)의 내측에 배치된 카메라(14)와, 카메라(14)의 촬영 방향을 제어하는 카메라 제어 기구(15)와, 카메라(14)와 석영 유리 도가니(1)의 벽체의 내표면과의 사이에 배치된 제2의 편광판(16) 및 제2의 1/4 파장판(17)을 구비한다. 제2의 1/4 파장판(17)의 광학축은 제1의 1/4 파장판(13)의 광학축에 대하여 90도 기울어져 있다. 카메라(14)는, 광원(11)으로부터 투광되어, 제1의 편광판(12), 제1의 1/4 파장판(13), 석영 유리 도가니(1)의 벽체, 제2의 1/4 파장판(17) 및 제2의 편광판(16)을 통과한 빛을 촬영한다.

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Номер записи: 21
08-06-2017 дата публикации

석영유리도가니의 파괴 검사 방법 및 양부 판정 방법

Номер: KR1020170063761A
Автор: 키타하라 켄, 사토 타다히로, 스도 토시아키, 키타하라 에리코, 와타나베 타카시
Принадлежит:

... 실제 사용 상황에 될 수 있는 한 가까운 상태에서 검사할 수 있는 석영유리도가니의 파괴 검사 방법 및 양부 판정 방법을 제공한다. 본 발명에 의한 석영유리도가니의 파괴 검사 방법은, 그래파이트 서셉터(2)에 지지되는 실리콘 단결정 인상용 석영유리도가니(1)의 내표면에 오토 센터 펀치(10)의 끝단부를 누르면서 오토 센터 펀치(10)를 통하여 내표면의 한점에 순간적으로 하중을 가하였을 때의 내표면의 균열 상태를 평가한다.

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Номер записи: 22
09-08-2016 дата публикации

석영 유리 도가니 및 그의 왜곡 측정 장치

Номер: KR1020160094390A
Автор: 스도 토시아키, 사토 타다히로, 키타하라 켄, 키타하라 에리코
Принадлежит:

... 석영 유리 도가니 전체의 왜곡 분포를 비파괴로 측정한다. 왜곡 측정 장치는, 석영 유리 도가니(1)에 그 외측에서 투광하는 광원(11)과, 광원(11)과 석영 유리 도가니(1)의 벽체의 외표면과의 사이에 배치된 제1의 편광판(12) 및 제1의 1/4파장판(13)과, 석영 유리 도가니(1)의 내측에 배치된 카메라(14)와, 카메라(14)의 촬영 방향을 제어하는 카메라 제어 기구(15)와, 카메라(14)와 석영 유리 도가니(1)의 벽체의 내표면과의 사이에 배치된 제2의 편광판(16) 및 제2의 1/4 파장판(17)을 구비한다. 제2의 1/4 파장판(17)의 광학축은 제1의 1/4 파장판(13)의 광학축에 대하여 90도 기울어져 있다. 카메라(14)는, 광원(11)으로부터 투광되어, 제1의 편광판(12), 제1의 1/4 파장판(13), 석영 유리 도가니(1)의 벽체, 제2의 1/4 파장판(17) 및 제2의 편광판(16)을 통과한 빛을 촬영한다.

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Номер записи: 23