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25-09-2014 дата публикации

DEVICE AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND SUBSTRATE-TRANSFERRING TRAY

Номер: WO2014148857A1
Автор: LEE, Myung Woo, KIM, Dong Il, HAN, Kyu Yong, CHOI, Gab Su, HWANG, Hyeon Deog, YOO, Dal Hyun, PARK, Woo Chul, LEE, Hoon Zo
Принадлежит:

A device for transferring a substrate and a substrate-transferring tray, according to the present invention, comprises: a loader part for carrying, thereinto, a substrate transferred by a substrate loading device and a tray for receiving the substrate; a loader part-elevating part including a loader part lifter for transferring the tray to the loader part by being elevated along a guide rail provided on the one side of the loader part; a substrate processing part for transferring, thereto, the tray having the substrate received therein, and performing a substrate processing step; an unloader part for withdrawing the substrate by allowing the substrate to be separated from the tray in which the substrate that has passed through the substrate processing part is received; an unloader part-elevating part including an unloader part lifter for moving the tray separated from the substrate to the upper part of the guide rail by being elevated along a guide rail provided on the one side of the unloader ...

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Номер записи: 1
04-06-2015 дата публикации

Mounting device for flexible substrat on the carrier jig

Номер: KR0101525661B1
Автор: 이권진, 김동일, 이명우, 최갑수, 한규용, 황현덕, 유달현, 박우철, 이훈조
Принадлежит: (주)에스티아이, 삼성전기주식회사

... 본 발명은 윈도우 프레임 형상의 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 매립 설치된 다수의 마그넷과, 상기 베이스 플레이트에 힌지로 결합 되어, 상기 마그넷의 인력에 의해 장착된 플렉시블 기판의 상부를 클램핑하되, 윈도우 프레임 형상인 상기 베이스 플레이트의 중앙 통공 측면의 각 변 상부에 하나 씩 마련되는 누름판과, 상기 베이스플레이트에 마련되어 상기 누름판의 저면을 노출시켜, 외부의 클램핑 제어핀의 삽입에 의해 상기 누름판을 상향으로 회동시킬 수 있도록 하는 홀과, 상기 베이스 플레이트와 상기 누름판에 상하로 관통되어 상기 플렉시블 기판을 처리하는 유체가 드레인되는 다수의 드레인홀을 포함하는 반송 지그와; 상기 반송 지그가 올려지는 고정프레임과; 상기 고정프레임의 하부에서 상하로 이동하는 이동프레임과; 상기 이동프레임에 고정되어 상기 홀을 통해 삽입되어 상기 반송 지그의 상기 누름판을 회동시키는 상기 클램핑 제어핀을 포함한다. 본 발명은 마그넷을 이용하여 플렉시블 기판을 반송 지그에 처짐 없이 고정할 수 있으며, 플렉시블 기판의 고정상태가 자기력에 의해 유지되기 때문에 이물의 발생이 방지되어, 플렉시블 기판의 처리 과정에서 이물에 의한 수율 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.

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Номер записи: 2
25-09-2014 дата публикации

DEVICE AND METHOD FOR TRANSFERRING FLEXIBLE SUBSTRATE

Номер: WO2014148856A1
Автор: LEE, Myung Woo, KIM, Dong Il, HAN, Kyu Yong, CHOI, Gab Su, HWANG, Hyeon Deog, YOO, Dal Hyun, PARK, Woo Chul, LEE, Hoon Zo
Принадлежит:

The present invention relates to a device and a method for transferring a flexible substrate, the device comprising: a loading unit for loading a flexible substrate; a process transfer unit for transferring the flexible substrate mounted on a tray such that a process can progress; a transfer robot horizontally moving between the loading unit and the process transfer unit along a transfer guide; and a tension device unit vertically moving along the transfer robot and holding the flexible substrate so as to move the flexible substrate according to the displacement of the transfer robot, thereby preventing sagging by applying tension to the flexible substrate. The present invention can improve process reliability and prevent yield deterioration by: adding tension, to a flexible substrate, continuously supplied through a loading unit such that the flexible substrate is in a fully unfolded state and transferring the unfolded flexible substrate to a process transfer unit; and providing the flexible ...

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Номер записи: 3