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26-08-2022 дата публикации

ISO탱크용 공급량 제어시스템

Номер: KR102437265B1
Автор: 김지훈, 이상근, 김용태, 강태욱, 권호산, 장성업, 최영수, 황효종, 유방연, 임상재
Принадлежит: 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨

ISO탱크용 공급량 제어시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 ISO탱크용 공급량 제어시스템는, 반도체 제조용 가스가 대량으로 저장된 복수의 ISO탱크; 복수의 상기 ISO탱크에 각각 연결된 부공급관과 연통되어 반도체 제조설비로 가스를 제공하는 주공급관; 상기 부공급관에 각각 구비되어 상기 ISO탱크에서 송출되는 가스의 유량을 조절하는 복수의 유량제어기; 상기 주공급관에 구비되어 복수의 상기 ISO탱크로부터 반도체 제조설비에 공급되는 실시간 가스 유량과 공급압을 측정하는 센싱부; 반도체 제조설비로 안정적인 가스 공급이 이루어지도록, 상기 주공급관에 연결되어 저장된 가스를 보충적으로 송출하는 백업부; 및 상기 주공급관을 통하여 반도체 제조설비에 설정된 가스 유량이 공급되도록, 상기 센싱부에서 측정된 가스 유량 정보 또는 공급압 정보에 기초하여 상기 유량제어기 및 상기 백업부를 작동제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, ISO탱크별 가스 잔량의 확인 및 조절은 물론, ISO탱크의 교체 주기가 효율적으로 관리될 수 있으며, ISO탱크의 교체나 배관 이상 등이 발생하더라도 반도체 제조설비에 필요한 정량의 가스가 안정적으로 공급될 수 있는 효과가 있다.

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Номер записи: 1