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09-01-2019 дата публикации

브라켓 일체형 이중구조 도어 임팩트빔 제조장치 및 제조방법

Номер: KR0101936477B1
Автор: 정연일, 정호중

... 본 발명은, 브라켓 일체형 이중구조 도어 임팩트빔, 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도어 임팩트빔의 강도의 보강이 필요한 부위만을 이중구조로 구성하여 고강도 경량화함과 동시에 브라켓을 임팩트빔과 일체로 형성하여 부품수를 축소한 브라켓 일체형 이중구조 도어 임팩트빔, 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.

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25-10-2022 дата публикации

2xN 양자키분배시스템 및 이를 위한 양자키분배용통신장치

Номер: KR102458002B1
Принадлежит: 한국과학기술연구원

... 본 명세서는 2xN QKD 시스템 및 이를 가능하게 하는 통신 장치 및 시스템을 개시한다. Charlie는 광 신호의 편광 상태와 전자편광제어기(EPC)를 이용하여 2개의 Alice 중 하나와 2개의 Bob 중에서 하나 사이에서 양자키를 분배할 수 있게 한다. 또한 파장분할다중기(WDM)를 추가로 사용하여 2개의 Bob을 각각 2N개의 Bob으로 확장이 가능하다.

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17-03-2023 дата публикации

양자 키 분배를 위한 소자, 이를 포함하는 장치 및 이를 포함하는 시스템

Номер: KR102510987B1
Принадлежит: 한국과학기술연구원

... 본 명세서는 수동소자로 구현된 양자키분배용 소자, 이를 이용한 양자키분배용 송수신 장치 및 이를 이용한 양자키분배 시스템을 개시한다. 본 명세서에 따른 양자키분배용 소자는 능동소자를 사용하지 않아서 수동소자만으로 구성하여 종래 기술에 비해 소형화가 가능하며, 제작 비용이 감소할 수 있다.

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20-06-2017 дата публикации

HIGH EFFICIENT SOLAR THIN FILM CELL USING PHOSPHOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер: KR1020170068906A
Принадлежит:

The present invention relates to a high efficient solar thin film cell using a phosphor which is formed to improve photoelectric conversion efficiency by minimizing a light absorption loss in a short wavelength band through the phosphor, and a manufacturing method thereof. The high efficient solar thin film cell using the phosphor according to the present invention includes a back electrode, the light absorbing layer, a buffer layer, a transparent conductive film layer, a front electrode and an antireflection film layer formed on the upper side of a substrate. The high efficient solar thin film using a phosphor further includes a phosphor layer which is formed between the transparent conductive film layer and the antireflection film layer, absorbs sunlight of an energy wavelength band equal to or lower than band gap energy, and emits light of a longer wavelength than the sunlight of the wavelength band which is absorbed, to prevent the light absorption loss in the energy wavelength band ...

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23-09-2022 дата публикации

스마트팜의 조명 제어 시스템 및 그 방법

Номер: KR20220129298A
Принадлежит:

... 본 발명은 스마트팜의 조명 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 적어도 하나 이상의 재배 유닛을 통해 작물을 재배하기 위한 스마트팜의 조명 제어 시스템에 있어서, 집광판을 이용하여 자연광을 수집하는 집광부; 상기 집광부의 후단에 설치되어, 수집된 자연광을 상기 재배 유닛에 재배되는 대상 작물의 광학적 흡수 스펙트럼 정보에 기초하여 기설정된 파장 대역의 광으로 변환하는 광변환부; 상기 광변환부에서 변환된 기 설정된 파장 대역의 광을 전송하는 도광부; 및 상기 집광부 및 도광부를 거쳐 유입되는 광을 상기 재배 유닛 방향으로 조명하는 산광부를 포함하는 시스템일 수 있다.

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25-10-2022 дата публикации

이온주입용 마스크 형성방법 및 이를 이용한 점결함 센터 형성 방법

Номер: KR102458001B1
Принадлежит: 한국과학기술연구원

... 본 발명은 모재를 준비하는 단계와 상기 모재 상부에 나노와이어들이 포함된 물질층을 형성하는 단계와 나노와이어들을 에칭하여 물질층 내부에 다수의 홀을 형성하는 단계를 포함하는 이온주입용 마스크 형성방법을 제공한다.

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03-05-2024 дата публикации

광 증폭기를 사용한 디코이 신호 생성 방법 및 이를 수행하는 통신 장치

Номер: KR102662237B1
Принадлежит: 한국과학기술연구원

... 본 발명의 목적은 디코이 신호 생성할 때 광학 소자의 편광 의존성을 줄여서 제어가 향상된 디코이 신호 생성 방법 및 이를 수행하는 통신 장치를 제공할 수 있다. 본 명세서에 따른 플러그앤플레이 시스템에 이용되는 통신 장치는, 타통신 장치로부터 수신한 양자 신호를 증폭시키는 광 증폭기; 및 상기 광 증폭기로부터 전달된 양자 신호의 진행방향을 되돌리면서 상기 양자 신호의 편광 성분을 변경하는 패러데이 거울;을 포함할 수 있다.

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07-03-2023 дата публикации

고정형 멀티 센서 디바이스

Номер: KR20230032416A
Принадлежит:

... 본 발명은 고정형 멀티 센서 디바이스에 관한 것으로서, 공동구에 설치되어 화재 또는 재난 상태를 감지하여 대응하도록 하는 고정형 멀티 센서 디바이스에 있어서, 불꽃 또는 연기를 감지하여 화재 감지 신호를 제공하는 화재감지모듈; 온습도, 연소 가스 또는 휘발성 가스를 감지하여 환경정보 감지 신호를 제공하는 복합 환경 감지 모듈; 지진, 균열 또는 붕괴로 인해 발생되는 진동을 감지하여 재난 감지 신호를 제공하는 재난 감지 모듈; 외부의 제어장치로부터 제어 신호를 수신하고, 상기 화재 감지 신호, 환경정보 감지 신호 또는 재난 감지 신호를 외부의 제어 장치로 송신하는 통신 모듈; 상기 통신 모듈을 통해 전송되는 제어 신호에 따라 상기 화재감지모듈, 복합 환경 감지 모듈 또는 재난 감지 모듈의 상시 감지 기능을 수행하는 일반 모드와, 상기 화재감지모듈, 복합 환경 감지 모듈 또는 재난 감지 모듈 중 적어도 어느 하나의 신호에 따라 화재 또는 재산 감지시 알람 동작을 수행하는 비상 모드로의 동작을 수행하도록 고정형 멀티 센서 디바이스의 전반적인 동작을 제어하는 제어 모듈; 상기 제어 모듈의 제어에 따라 고정형 멀티 센서 디바이스의 구동에 필요한 전원을 제공하는 전원 모듈; 및 상기 제어 모듈의 제어 따라 비상 모드시 진입 금지 표시 또는 기 설정된 방향으로의 대피 방향 표시로 디자인된 유도광을 출력하는 탈출 유도 모듈을 포함하는 것이다.

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08-05-2024 дата публикации

폐유리를 재활용하여 제조한 형광체 및 그의 제조방법

Номер: KR20240060278A
Принадлежит:

... 폐유리를 재활용하여 제조한 형광체 및 그의 제조방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 폐유리를 이용하여 형광체를 제조하는 방법에 있어서, 폐유리를 분쇄하고 그라인딩하는 그라인딩과정과 체질(Sieving)을 거치며 폐유리 분말만을 획득하는 제1 획득과정과 상기 제1 획득과정에서 획득한 폐유리 분말에 특성 재료를 기 설정된 제1 비율로 혼합하는 제1 혼합과정과 상기 혼합과정에서 혼합된 혼합물을 기 설정된 환경에서 용융하는 용융과정과 상기 용융과정에서 용융된 성분을 그라인딩 및 체질을 거쳐 프릿 분말을 획득하는 제2 획득과정과 프릿 분말과 기 설정된 형광체 입자를 기 설정된 제2 비율로 혼합하는 제2 혼합과정 및 디스크 형태로 프레싱 후 소결하는 소결과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 형광체 제조방법을 제공한다.

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16-05-2024 дата публикации

주사바늘에 전극을 포함하는 주사기, 그의 제조 장치 및 방법

Номер: KR20240066588A
Принадлежит:

... 주사바늘에 전극을 포함하는 주사기, 그의 제조 장치 및 방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 일면에 전사될 전극이 형성된 베이스 기판을 공급하는 기판 공급부와 경화제를 저장하여, 자신으로 장입되는 경화제가 주사기의 주사바늘에 코팅될 수 있도록 하는 경화제 저장부 및 베이스 기판 상에 안착된 주사기의 주사바늘로 기 설정된 파장대역의 광을 조사하여 경화제를 경화시키는 경화부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사기 제조장치를 제공한다.

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23-09-2022 дата публикации

스마트팜의 자연 채광 시스템 및 그 방법

Номер: KR20220129330A
Принадлежит:

... 본 발명은 스마트팜의 자연 채광 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 적어도 하나 이상의 재배 유닛을 통해 작물을 재배하기 위한 스마트팜의 자연 채광 시스템에 있어서, 집광판을 이용하여 자연광을 수집하는 집광부; 상기 집광부의 전단 또는 후단에 적어도 하나 이상이 설치되고, 수집된 자연광에서 기 설정된 파장 대역의 광을 필터링하는 필터링부; 상기 필터링부를 거쳐 전송되는 자연광을 전송하는 도광부; 및 상기 집광부 및 도광부를 거쳐 유입되는 자연광을 상기 재배 유닛 방향으로 조명하는 산광부를 포함하는 시스템일 수 있다.

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08-11-2022 дата публикации

다중 모드 NOON 상태 생성 방법 및 장치

Номер: KR20220149082A
Принадлежит:

... 본 명세서는 종래 기술에 비해 감도가 향상된 다중 모드 NOON 상태 생성 방법 및 장치를 개시한다. 본 명세서에 따른 4중 모드 NOON 상태 생성 방법은, 특성이 동일한 2개의 광자를 생성하는 광자 생성 단계; 상기 광자 생성 단계에서 생성된 2개의 광자를 빔스플리터에 서로 직교하도록 입사하는 광자 간섭 단계; 및 상기 빔스플리터에서 출력된 광자를 편광 빔스플리터에 입사하는 광자 분리 단계;를 포함할 수 있다.

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09-03-2023 дата публикации

고해상도 투명 디스플레이용 LED 패키지 및 이를 이용한 LED 광원 모듈

Номер: KR20230033875A
Принадлежит:

... 본 발명은 고해상도 투명 디스플레이용 LED 패키지 및 이를 이용한 LED 광원 모듈에 관한 것으로서, 기 설정된 색상으로 발색 처리되고, 상면에 전극 패턴이 형성된 기판; 상기 기판 상에 기 설정된 이격거리를 두고 배치되는 복수 개의 적색, 녹색, 청색의 소형 LED 칩; 및 상기 기판의 상부에 상기 적색, 녹색, 청색의 소형 LED 칩을 내치하여 감싸도록 형성되는 투명 몰딩체를 포함하는 LED 패키지이고, 상기 기판은 상기 소형 LED 칩에서 방출되는 빛 중 후면 발광 또는 측면 발광되는 빛을 억제하도록 400~1400㎚의 파장 대역의 빛을 흡수하는 색상으로 발색 처리되는 것이다.

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20-06-2019 дата публикации

GAS CIRCUIT BREAKER

Номер: WO2019117617A1
Принадлежит:

A gas circuit breaker according to the present invention comprises: a cylinder part having a compression chamber and an expansion chamber; a moving part provided so as to be movable inside the cylinder part and dividing the compression chamber and the expansion chamber; a fluid regulating part provided at the moving part so as to be openable and closable and regulating the flow of fluid from the compression chamber toward the expansion chamber; and a piston part facing the moving part and disposed inside the cylinder part.

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07-03-2023 дата публикации

가스절연개폐장치용 단로기 및 접지개폐기

Номер: KR102506011B1
Принадлежит: 일진전기 주식회사

... 가스절연개폐장치용 단로기 및 접지개폐기에 관한 발명이 개시된다. 본 발명에 따른 가스절연개폐장치용 단로기 및 접지개폐기는: 가동레버부; 가동레버부에 연결되고, 가동레버부의 작동에 의해 회전되는 가동부; 가동부를 회전 가능하게 지지하는 힌지부; 및 회전되는 가동부가 투입 또는 개방되는 고정부를 포함하고, 가동부는 힌지부에 슬라이딩 회전 가능하게 장착되는 것을 특징으로 한다.

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20-02-2023 дата публикации

전도성 필름 제작을 위한 대면적 전극 전사 장치 및 그 방법

Номер: KR20230024040A
Принадлежит:

... 본 발명은 전도성 필름 제작을 위한 대면적 전극 전사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 전극이 형성된 베이스 필름을 공급하는 제1 필름 공급 유닛; 상기 제1 필름 공급 유닛을 통해 공급되는 전극이 형성된 베이스 필름의 상면에 광경화 수지가 코팅되어 광경화 수지층을 형성하는 코팅 유닛; 타겟 필름을 상기 광경화 수지층의 상면으로 공급하는 제2 필름 공급 유닛; 상기 광경화 수지층을 사이에 두고 상기 베이스 필름과 타겟 필름을 합지시켜 합지 필름을 제공하는 필름 합지 유닛; 상기 합지 필름이 기 설정된 방향으로 이송되어 롤(Roll) 형태로 권취하는 필름 적층 유닛; 및 상기 필름 합지 유닛에서 필름 적층 유닛으로 합지 필름이 이송되는 경로에 배치되어, 상기 합지 필름에 기 설정된 파장 대역의 광을 조사하는 광경화 유닛을 포함하는 것이다.

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28-02-2023 дата публикации

외부 자극 감응 자체 발광형 글래스 비드 및 그 제조 방법

Номер: KR102504066B1
Принадлежит: 한국광기술원

... 본 발명은 부 자극 감응 자체 발광형 글래스 비드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 기 설정된 발광 파장 대역의 광을 방출하기 위해 축광 기능을 가지는 도펀트를 형광체에 포함하고, 외부 자극에 의해 활성화되어 기설정된 잔광시간 동안 발광하는 형광체 입자; 및 상기 형광체 입자와 혼합되어 입사 광을 해당 광이 입사된 방향으로 반사시키는 비드 입자를 포함하는 글래스 비드를 제공할 수 있다.

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29-01-2018 дата публикации

형광체를 이용한 고효율 태양박막전지 및 이의 제조방법

Номер: KR0101823108B1
Автор: 장재형, 정호중
Принадлежит: 광주과학기술원

... 본 발명은 형광체를 통해 단파장 대역의 광흡수 손실을 최소화하여 광전변환 효율을 향상시키도록 형성된 형광체를 이용한 고효율 태양박막전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 형광체를 이용한 고효율 태양박막전지는 기판의 상부에 후면전극과 광흡수층, 버퍼층, 투명전도막층 및 전면전극과 반사방지막층이 형성된 태양박막전지에 있어서, 태양광이 상기 버퍼층을 통과하면서 밴드갭 에너지 이하의 에너지 파장대역에서 광흡수 손실이 발생하는 것을 방지하기 위해, 상기 투명전도막층과 반사방지막층 사이에 형성되며 상기 밴드갭 에너지 이하의 에너지 파장대역의 태양광을 흡수하고, 흡수된 파장대역의 태양광보다 장파장의 광을 방출하는 형광체층을 더 구비하는 것이 특징이다.

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21-04-2022 дата публикации

SOFTWARE UPDATE GATEWAY AND METHOD FOR UPDATING SOFTWARE OF IOT DEVICE

Номер: WO2022080539A1
Принадлежит:

One embodiment of the present disclosure provides a software update gateway for updating software of an IoT device, comprising: a communication unit connecting to a software update server and an IoT device; a software database for storing a first version of full update data for the software of the IoT device; and a processor configured to receive a software update request from the IoT device through the communication unit, transmit the software update request to the software update server through the communication unit, receive a second version of differential update data for the software from the software update server through the communication unit, generate a second version of full update data on the basis of the first version of full update data and the second version of differential update data, and transmit the second version of full update data to the IoT device through the communication unit to update the software.

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12-12-2022 дата публикации

투명 디스플레이용 플렉시블 LED 패키지 및 그의 제조 방법

Номер: KR102476734B1
Принадлежит: 한국광기술원

... 본 발명은 투명 디스플레이용 플렉시블 LED 패키지 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 투명 재질의 제1 기판; 상기 제1 기판상에 배치되는 복수 개의 적색, 녹색, 청색 LED 칩; 상기 제1 기판상에 상기 적색, 녹색, 청색 LED 칩과 기 설정된 이격 거리를 두고 설치되는 제1 몰딩부재; 상기 제1 몰딩부재의 상부에 설치되는 제2 몰딩부재; 상기 제2 몰딩부재의 상부에 설치되는 투명 재질의 제2 기판; 및 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 구성되어 상기 적색, 녹색, 청색 LED 칩을 내치하여 감싸도록 형성되는 투명 몰딩체를 포함하되, 상기 제1 몰딩 부재는 제1 명도값을 갖는 색상으로 형성되고, 제2 몰딩 부재는 제1 명도값보다 높은 명도값을 갖는 색상으로 형성된 것이다.

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06-03-2018 дата публикации

SUBFRAME ADOPTING INTEGRATED CAM GUIDE

Номер: KR101833907B1
Принадлежит: SEOJIN INDUSTRIAL CO., LTD.

The present invention relates to a subframe adopting an integrated cam guide. In particular, the subframe comprises: a member part; a bracket formed in the member part, and including first and second fastening parts facing each other; a first step part stepped with respect to the outer surface of the first fastening part by a first groove recessed on the outer surface of the first fastening part; and a second step part stepped with respect to an outer surface of the second fastening part by a second groove recessed on the outer surface of the second fastening part. A first cam guide part is formed on both sides inside the first groove, a second cam guide part is formed on both sides inside the second groove, and a part connected to the bracket in the member part, the bracket, the first and second step parts, and the first and second cam guide parts are integrally formed by diecasting. Accordingly, provided are effects capable of preventing deterioration of durability of a portion where ...

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02-10-2018 дата публикации

NONDESTRUCTIVE INSPECTION METHOD FOR FSW JUNCTION

Номер: KR1020180107412A
Принадлежит:

The present invention relates to a nondestructive inspection method for a friction stir welding (FSW) junction, which comprises: a graph generating step of representing a relationship between a first average color value of a sample junction and tensile strength of a sample; and an acceptability inducing step of determining suitability of the tensile strength of a product by comparing a second average color value of a product junction with the graph. Accordingly, more precise and rapid inspection can be provided through quantitative evaluation with respect to the product junction. COPYRIGHT KIPO 2018 (AA) Start (BB) Yes (CC) NO (D1) Tensile strength appropriate (D2) Tensile strength inappropriate (EE) End (S110) First image acquisition step (S120) First image segmentation step (S130) First individual color value conversion step (S140) First average color value conversion step (S150) Graphing step (S160) Repeating step (S210) Second image acquisition step (S220) Second image segmentation ...

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17-08-2022 дата публикации

피부 미용 및 치료용 광 패치 및 그 제조 방법

Номер: KR20220115362A
Принадлежит:

... 본 발명은 피부 미용 및 치료용 광 패치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 유연성 재질로 형성된 기판; 상기 기판의 상면에 기설정된 간격으로 설치되는 복수개의 마이크로 LED 광원; 상기 복수 개의 마이크로 LED 광원의 사이마다 설치되는 복수 개의 격벽; 상기 마이크로 LED 광원으로 방출되는 빛의 산란을 위해 기 설정된 크기의 기공들이 형성되고, 상기 마이크로 LED 광원을 피복하는 형태로 도포되는 보호층; 및 상기 마이크로 LED 광원에 구동 전원을 공급하는 배터리를 포함할 수 있다.

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26-12-2022 дата публикации

광 세기 변조기의 바이어스 전압 제어 장치 및 방법

Номер: KR20220168781A
Принадлежит:

... 본 명세서는 향상된 광 세기 변조기의 바이어스 전압 제어 장치 및 방법을 개시한다. 양자키 분배 시스템에 포함된 광 세기 변조기의 바이어스 전압을 제어하는 방법은 임의의 또는 미리 설정된 타이밍에 n개(n은 2이상의 자연수)의 바이어스 전압 제어용 펄스를 출력하고, 광 세기 변조기에서 출력된 광 신호의 세기를 측정한다. n개의 광 신호 세기를 세트에 각각 대응하는 위상 이동값으로 매핑하고, 바이어스 전압 보상값에 따라 상기 바이어스 전압을 조정한다.

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28-02-2023 дата публикации

금속 할라이드 페로브스카이트 물질의 제조 장치 및 그 방법

Номер: KR102504059B1
Принадлежит: 한국광기술원

... 본 발명은 금속 할라이드 페로브스카이트 물질의 제조 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 적어도 하나 이상의 브롬 화합물을 용매에 용해시켜 전구체 용액을 준비하는 준비 과정; 올레익산(OA)과 올레일아민(OAm)의 혼합물을 사용한 반응 용액에 상기 전구체 용액을 주입하여 기설정된 제1 원심 속도에서 기설정된 제1 혼합시간 동안에 교반하여 반응시키는 제1 반응 과정; 상기 제1 반응 과정을 거친 용액을 플레니터리(Panetary) 원심 혼합기에 넣어 기 설정된 범위의 원심 속도로 기설정된 제2 혼합시간 동안에 혼합하여 혼합 용액을 제조하는 제2 반응 과정; 및 상기 제2 반응 과정에서 제조된 혼합 용액을 원심 분리하여 침전물을 분리하고, 상기 분리된 침전물을 세척 및 건조하여 기설정된 색상으로 발광하는 고체 상태의 페로브스카이트 물질을 제조하는 물질 제조 과정을 포함하는 방법일 수 있다.

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20-06-2019 дата публикации

PUFFER-TYPE GAS CIRCUIT BREAKER

Номер: WO2019117618A1
Принадлежит:

A puffer-type gas circuit breaker according to the present invention comprises: a cylinder part having a first compression chamber and a second compression chamber; a dividing part provided in the cylinder part and dividing the first compression chamber and the second compression chamber; a fluid regulating part provided at the dividing part so as to be openable and closable, and regulating the flow of fluid from the first compression chamber toward the second compression chamber; and a piston part disposed inside the cylinder part, wherein the first compression chamber and the second compression chamber are arranged in the cylinder part in parallel with respect to the dividing part.

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20-06-2019 дата публикации

SELF-BLAST TYPE GAS CIRCUIT BREAKER

Номер: WO2019117620A1
Принадлежит:

A self-blast type gas circuit breaker according to the present invention comprises: a cylinder part having a compression chamber and an expansion chamber; a separation wall part provided in the cylinder part and dividing the compression chamber and the expansion chamber; a fluid regulating part coupled to the separation wall part so as to be openable and closable and regulating the flow of fluid from the compression chamber toward the expansion chamber; a piston part facing the separation wall part and disposed inside the compression chamber; and a dividing part coupled to the separation wall part and dividing the compression chamber.

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25-06-2018 дата публикации

DOUBLE-STRUCTURE DOOR IMPACT BEAM INTEGRATED WITH BRACKET AND APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер: KR1020180069195A
Принадлежит:

The present invention relates to a double-structure door impact beam integrated with a bracket, and an apparatus and a method for manufacturing the same. More specifically, the present invention relates to a double-structure door impact beam integrated with a bracket, and an apparatus and a method for manufacturing the same, forming a bracket integrated with an impact beam to reduce the number of components while constructing only a portion, required to be reinforced with the strength of a door impact beam, in a double structure to lighten the same with high strength. COPYRIGHT KIPO 2018 (AA) Blank production (BB) Blank welding (CC) First forming (DD) Second forming (EE) Electric heating and mold cooling (FF) Welding ...

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12-03-2025 дата публикации

리튬나이오베이트의 식각방법 및 이를 이용한 리튬나이오베이트 패턴의 형성방법

Номер: KR102780046B1

... 본 발명은 Ar 가스를 통해 챔버 내부에 생성된 Ar 플라즈마를 이용한 물리적 건식식각방식으로, 마스크 패턴을 이용하여 리튬나이오베이트를 식각하는 공정을 포함하되, 상기 리튬나이오베이트를 식각하는 공정에서 상기 챔버의 공정 압력은 1mtorr 내지 20mtorr으로 유지되는, 리튬나이오베이트의 식각방법 및 이를 이용한 리튬나이오베이트 패턴의 형성방법에 관한 것이다.

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