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15-02-2017 дата публикации

GATE VALVE

Номер: KR1020170017212A
Автор: CHAE, JEONG JAE
Принадлежит:

A gate valve is disclosed. The gate valve comprises: a body member; an elevation member which can be elevated/lowered relative to the body member; a gate door which is connected to the elevation member to be elevated/lowered together with the elevation member, and which can protrude from the elevation member; an elevation driving member which includes an elevation driving body providing driving force to let the elevation member be elevated/lowered, and an elevation shaft which can protrude from or be in contact with the elevation driving body; an elastic unit which includes a fixed element coupled to the elevation member, a movable element connected to the elevation shaft to be able to be elevated/lowered relative to the fixed element by the elevation shaft, and an elastic member pushing the movable element in a direction away from the fixed element; and a gate driving unit able to drive the gate door. According to the gate valve, since the gate valve comprises the body member, the elevation ...

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Номер записи: 1
17-04-2017 дата публикации

게이트 밸브

Номер: KR0101727531B1
Автор: 채정재
Принадлежит: (주) 세진프리시젼, 채정재

... 게이트 밸브가 개시된다. 개시되는 게이트 밸브는 본체 부재; 상기 본체 부재에 대해 상대적으로 승강될 수 있는 승강 부재; 상기 승강 부재에 연결되어 상기 승강 부재와 함께 승강될 수 있고 상기 승강 부재에서 돌출될 수 있는 게이트 도어; 상기 승강 부재가 승강될 수 있는 구동력을 제공하는 승강 구동 몸체와, 상기 승강 구동 몸체로부터 돌출 또는 상기 승강 구동 몸체로 수축될 수 있는 승강축을 포함하는 승강 구동 부재; 상기 승강 부재에 결합되는 고정체와, 상기 승강축에 연결되어 상기 승강축에 의해 상기 고정체에 대해 상대적으로 승강될 수 있는 이동체와, 상기 고정체에 대해서 상기 이동체가 이격되는 방향으로 상기 이동체를 밀어주는 탄성 부재를 포함하는 탄성 유닛; 및 상기 게이트 도어를 구동시킬 수 있는 게이트 구동부;를 포함한다. 개시되는 게이트 밸브에 의하면, 게이트 밸브가 본체 부재와, 승강 부재와, 게이트 도어와, 승강 구동 부재와, 탄성 유닛과, 게이트 구동부를 포함함에 따라, 게이트 도어 및 승강 부재를 요구되는 위치로 상승 및 상승된 상태에서 게이트 도어의 이송 작용이 단수 개의 승강 구동 부재만으로도 이루어질 수 있게 되므로, 게이트 밸브의 구조 및 제어가 간단해지고, 고장 원인이 감소될 수 있게 되는 장점이 있다.

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Номер записи: 2
21-12-2016 дата публикации

기판 트레이 핸들링 장치와 이를 포함한 증착 장치, 및 기판 트레이 핸들링 방법

Номер: KR0101688199B1
Автор: 채정재, 김 건, 심욱태
Принадлежит: 주식회사 원익아이피에스

... 기판 트레이 핸들링 장치와 이를 포함한 증착 장치, 및 기판 트레이 핸들링 방법에 관한 것이다. 기판 트레이 핸들링 장치는 기판 트레이 지지기구 및 틸팅 기구를 포함한다. 기판 트레이 지지기구는 기판을 클램핑한 기판 트레이를 챔버 내부의 증착원에 마주하도록 세워진 상태로 지지한다. 틸팅 기구는 기판 트레이 지지기구에 의해 세워져 지지된 기판 트레이를 설정 각도로 상하 틸팅시킨다.

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Номер записи: 3
25-06-2018 дата публикации

기판처리장치 및 기판처리방법

Номер: KR0101856110B1
Автор: 김건, 채정재, 한재병
Принадлежит: 주식회사 원익아이피에스

... 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리를 수행하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다. 본 발명은 밀폐된 처리공간을 형성하는 진공챔버와; 기판의 기판처리면이 지면을 향하여 경사를 이룬 상태에서 기판처리가 이루어지도록 기판을 지지하는 기판핸들링부와; 상기 진공챔버에 설치되어 기판에 대한 기판처리의 수행을 위한 기판처리모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.

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Номер записи: 4
08-08-2017 дата публикации

증착장치

Номер: KR0101765249B1
Автор: 문성철, 채정재, 안태현
Принадлежит: 주식회사 원익아이피에스

... 증착장치는 진공챔버와, 증착원과, 증착원 구동부와, 암부, 및 유틸리티 라인을 포함할 수 있다. 증착원은 진공챔버 내에 설치된다. 증착원 구동부는 증착원을 진공챔버 내의 기판에 대해 선형 이동시킨다. 암부는 일단부가 진공챔버로부터 인출되어 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 증착원에 회전 가능하게 결합되는 것으로, 서로 회전 가능하게 결합되고 증착원의 선형 이동에 종속하여 펼침 또는 접힘 동작하면서 증착원의 선형 이동을 안내하며 각 내부가 진공챔버 외부의 분위기와 동일한 분위기를 갖는 복수의 암들을 구비한다. 유틸리티 라인은 암부 내부에 수용되며, 일단부가 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 증착원에 연결된다.

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Номер записи: 5
22-02-2018 дата публикации

배관연결구조 및 그를 가지는 기판처리장치

Номер: KR0101831313B1
Автор: 유병수, 채정재, 안태현
Принадлежит: 주식회사 원익아이피에스

... 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리를 수행하는 배관연결구조 및 그를 가지는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명은 제1배관의 끝단에 설치되는 제1플랜지부와; 상기 제2배관의 끝단에 설치되어 상기 제1플랜지부와의 밀착에 의하여 상기 제1배관과 상기 제2배관을 연결하는 제2플랜지부와; 상기 제2플랜지부와 결합되어 상기 제1플랜지부가 상기 제2플랜지부에 밀착될 때 상기 제2플랜지부가 상기 제2배관의 끝단에 대하여 상대이동이 가능함과 아울러 상기 제2플랜지부를 상기 제1플랜지부로 탄성력을 가하는 신축부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관연결구조를 개시한다.

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Номер записи: 6
23-01-2019 дата публикации

기판 파손 방지용 클램프 삽입 구조

Номер: KR1020190007902A
Автор: 채정재
Принадлежит:

... 기판 파손 방지용 클램프 삽입 구조가 개시된다. 개시되는 기판 파손 방지용 클램프 삽입 구조는 삽입 홈이 형성된 마스크; 상기 마스크에 얼라인될 수 있는 기판; 및 상기 기판을 집은 상태에서 그 일부가 상기 삽입 홈에 삽입되어 상기 기판을 상기 마스크에 얼라인 시키되, 상기 기판의 상단부를 상기 기판의 하단부보다 상대적으로 더 가압시킬 수 있는 클램프 집게;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 개시되는 기판 파손 방지용 클램프 삽입 구조에 의하면, 클램프 집게의 과도 하강을 막아 마스크, 기판, 또는 클램프 집게의 파손이 발생하지 않도록 방지하며, 마스크와 기판 사이의 틈에서 반응 가스가 새어나와 섀도우가 발생되지 않도록 마스크와 기판 사이의 틈을 밀폐시킬 수 있는 장점이 있다.

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Номер записи: 7