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11-05-2017 дата публикации

탄화 규소의 결정의 제조 방법 및 결정 제조 장치

Номер: KR1020170051512A
Автор: 우지하라 도루, 하라다 ?타, 고이케 다이키, 우메자키 도모노리
Принадлежит:

... 탄화 규소의 오프 기판 상에 표면 거칠기를 억제하면서 탄화 규소의 단결정을 성장시키는 것이 가능한 방법을 얻는다. 탄화 규소의 종결정을, 규소 및 탄소를 포함하는 원료 용액에 접촉시키면서 회전시키는 탄화 규소의 결정의 제조 방법에 있어서, 상기 종결정의 결정 성장면은 오프각을 갖고, 상기 종결정의 회전 중심의 위치가, 상기 종결정의 중심 위치에 대하여, 상기 오프각의 형성 방향인 스텝 플로우 방향의 하류측에 있는 것을 특징으로 하는 탄화 규소의 결정의 제조 방법을 이용한다.

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Номер записи: 1
24-10-2018 дата публикации

탄화 규소의 결정의 제조 방법 및 결정 제조 장치

Номер: KR0101911455B1
Автор: 우지하라 도루, 하라다 ?타, 고이케 다이키, 우메자키 도모노리
Принадлежит: 고쿠리츠 다이가쿠 호우징 나고야 다이가쿠, 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드

... 탄화 규소의 오프 기판 상에 표면 거칠기를 억제하면서 탄화 규소의 단결정을 성장시키는 것이 가능한 방법을 얻는다. 탄화 규소의 종결정을, 규소 및 탄소를 포함하는 원료 용액에 접촉시키면서 회전시키는 탄화 규소의 결정의 제조 방법에 있어서, 상기 종결정의 결정 성장면은 오프각을 갖고, 상기 종결정의 회전 중심의 위치가, 상기 종결정의 중심 위치에 대하여, 상기 오프각의 형성 방향인 스텝 플로우 방향의 하류측에 있는 것을 특징으로 하는 탄화 규소의 결정의 제조 방법을 이용한다.

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Номер записи: 2