12-10-2012 дата публикации
Номер: FR2973811A1
Cette installation (10) pour le traitement par bombardement ionique de surfaces (18) comporte une chambre à vide (12), dans laquelle les surfaces (18) sont destinées à être placées et des moyens de bombardement ionique comprenant un premier applicateur d'ions (20) destiné à émettre un premier faisceau d'ions (24). Les moyens de bombardement ionique comprennent en outre un deuxième applicateur d'ions (22) destiné à émettre un deuxième faisceau d'ions (26). L'installation (10) comprend de plus un support (14) destiné à porter deux surfaces (18) opposées à traiter délimitant au moins un objet (16) et des moyens de positionnement (30) du support (14) entre les deux applicateurs d'ions (20, 22), de façon à permettre que chaque applicateur (20, 22) émette un faisceau (24, 26) vers une des surfaces (18) opposées correspondante. L'invention concerne également un procédé de traitement par bombardement ionique de surfaces (18). This facility (10) for ionic surface bombardment treatment (18) comprises a vacuum chamber (12), wherein the surfaces (18) are intended to be placed and ion bombardment means comprising a first ion applicator (20) for emitting a first ion beam (24). The ion bombardment means further comprises a second ion applicator (22) for emitting a second ion beam (26). The installation (10) further comprises a support (14) intended to carry two opposite surfaces (18) to be treated delimiting at least one object (16) and positioning means (30) of the support (14) between the two applicators of ions (20, 22) to allow each applicator (20, 22) to emit a beam (24, 26) to one of the corresponding opposite surfaces (18). The invention also relates to a method of ion bombardment treatment of surfaces (18).
Подробнее