15-06-2021 дата публикации
Номер: AT520811B1
Vorrichtung zur Messung eines elektrischen Felds (E), die Vorrichtung umfassend eine mikromechanische Struktur (1) aus einem bei einer Betriebstemperatur elektrisch leitenden Material, wobei die mikromechanische Struktur (1) einen Rahmenabschnitt (2) und einen beweglichen Abschnitt (3) aufweist, wobei der bewegliche Abschnitt (3) mit dem Rahmenabschnitt (2) elektrisch leitend und mechanisch elastisch verbunden ist und relativ zum Rahmenabschnitt (2) bewegbar ist, wobei die mikromechanische Struktur (1) so ausgelegt ist, dass bei einer Anordnung der mikromechanischen Struktur (1) im elektrischen Feld (E) mit einer ersten Feldstärkenkomponente (Ex) parallel zu einer ersten Richtung (x) ungleich null eine elektrische Polarisation der mikromechanischen Struktur (1) erfolgt, die eine auf den beweglichen Abschnitt (3) wirkende erste Kraftkomponente (Fx) parallel zur ersten Richtung (x) sowie eine von der ersten Kraftkomponente (Fx) abhängige Änderung der räumlichen Anordnung des beweglichen Abschnitts (3) relativ zum Rahmenabschnitt (2) zur Folge hat, und wobei Detektionsmittel (9,11,15,16) vorgesehen sind, um diese Änderung zu bestimmen. Device for measuring an electric field (E), the device comprising a micromechanical structure (1) made of a material that is electrically conductive at an operating temperature, the micromechanical structure (1) having a frame section (2) and a movable section (3), wherein the movable section (3) is connected to the frame section (2) in an electrically conductive and mechanically elastic manner and is movable relative to the frame section (2), the micromechanical structure (1) being designed so that when the micromechanical structure (1) is arranged In the electric field (E) with a first field strength component (Ex) parallel to a first direction (x) not equal to zero, an electrical polarization of the micromechanical structure (1) takes place, which parallel a first force component (Fx) acting on the movable section (3) to the first ...
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