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01-12-2011 дата публикации

Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

Номер: DE102010029539A1
Автор: LINDENKREUZ STEFFI, KIESEWETTER GERHARD, PINTER STEFAN, MUCHOW JOERG, LINDENKREUZ, STEFFI, KIESEWETTER, GERHARD, PINTER, STEFAN, MUCHOW, JOERG
Принадлежит:

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung und einer in Bezug zu der Hne zweite Stellung verstellbaren Komponente welche über mindestens eine Feder (20) mit der Halterung verbunden ist, wobei das mikromechanische Bauteil mindestens einen an der mindestens einen Feder (20) angeordneten Silizid-umfassenden Leitungsabschnitt (30, 32) umfasst. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

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Номер записи: 1
09-06-2015 дата публикации

Micromechanical component and manufacturing method for a micromechanical component

Номер: US0009052510B2
Автор: Steffi Lindenkreuz, Gerhard Kiesewetter, Stefan Pinter, Joerg Muchow, LINDENKREUZ STEFFI, KIESEWETTER GERHARD, PINTER STEFAN, MUCHOW JOERG
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH, LINDENKREUZ STEFFI, KIESEWETTER GERHARD, PINTER STEFAN, MUCHOW JOERG, BOSCH GMBH ROBERT

A micromechanical component has a holding device and an adjustable component, which is adjustable with respect to the holding device at least from a first position into a second position, and which is connected via at least one spring to the holding device. The micromechanical component also includes at least one silicide-containing line segment situated on the at least one spring.

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Номер записи: 2
08-03-2018 дата публикации

Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

Номер: DE102010029539B4
Автор: LINDENKREUZ STEFFI, KIESEWETTER GERHARD, PINTER STEFAN, MUCHOW JOERG, Lindenkreuz, Steffi, Kiesewetter, Gerhard, Pinter, Stefan, Muchow, Joerg
Принадлежит: BOSCH GMBH ROBERT, Robert Bosch GmbH

Mikromechanisches Bauteil mit: einer Halterung (10); einer in Bezug zu der Halterung (10) zumindest aus einer ersten Stellung in eine zweite Stellung verstellbaren Komponente (12, 18, 22, 24, 26), welche über mindestens eine Feder (20) mit der Halterung (10) verbunden ist; und mindestens einen an der mindestens einen Feder (20) angeordneten Silizid-umfassenden Leitungsabschnitt (30, 32); gekennzeichnet durch mindestens eine Silizid-umfassende Ätzmaske, welche aus mindestens einem Silizid gebildet ist, aus welchem der mindestens eine Silizid-umfassende Leitungsabschnitt (30, 32) gebildet ist.

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Номер записи: 3
15-12-2011 дата публикации

MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR MANUFACTURING MICROMECHANICAL COMPONENT

Номер: JP2011251404A
Автор: LINDENKREUZ STEFFI, KIESEWETTER GERHARD, PINTER STEFAN DR, MUCHOW JOERG
Принадлежит:

PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure a function of at least one spring is surely fulfilled even if the spring is frequently exposed to a mechanical load. SOLUTION: A micromechanical component has a holding device and an adjustable component, which is adjustable with respect to the holding device at least from a first position into a second position, and which is connected via at least one spring 20 to the holding device. The micromechanical component also includes at least one silicide-containing line segment 30, 32 situated on the at least one spring 20. COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT ...

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Номер записи: 4
01-12-2011 дата публикации

Micromechanical component and manufacturing method for a micromechanical component

Номер: US20110292529A1
Автор: Steffi Lindenkreuz, Gerhard Kiesewetter, Stefan Pinter, Joerg Muchow, LINDENKREUZ STEFFI, KIESEWETTER GERHARD, PINTER STEFAN, MUCHOW JOERG
Принадлежит:

A micromechanical component has a holding device and an adjustable component, which is adjustable with respect to the holding device at least from a first position into a second position, and which is connected via at least one spring to the holding device. The micromechanical component also includes at least one silicide-containing line segment situated on the at least one spring.

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Номер записи: 5