Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 2. Отображено 2.
21-06-2007 дата публикации

Apparatus and method for the detection of a surface reaction, especially for cleaning of an arbitrary two-dimensional surface or three-dimensional body

Номер: US2007143032A1
Автор: WIERINGA FOKKO P, KOSTER NORBERTUS B, VAN VLIET ROLAND E, WEDOWSKI MARCO, SHARILOO NADYEH, STEIN THOMAS, WIERINGA FOKKO P., KOSTER NORBERTUS B., VAN VLIET ROLAND E.
Принадлежит:

There is provided an apparatus that includes a film that undergoes a chemical reaction when exposed to a species. The chemical reaction causes an alteration of a physical property of the film as an indicator of the species.

Подробнее
Номер записи: 1
26-05-2005 дата публикации

Lithographic projection apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby

Номер: US2005112508A1
Автор: VAN SCHAIK WILLEM, MERTENS BASTIAAN M, MEILING HANS, KOSTER NORBERTUS B, MERTENS BASTIAAN M., KOSTER NORBERTUS B.
Принадлежит:

In-situ cleaning of optical components for use in a lithographic projection apparatus can be carried out by irradiating a space within the apparatus containing the optical component with UV or EUV radiation having a wavelength of less than 250 nm, in the presence of molecular oxygen. Generally, the space will be purged with an ozoneless purge gas which contains a small amount of molecular oxygen in addition to the usual purge gas composition. The technique can also be used in an evacuated space by introducing a low pressure of molecular oxygen into the space.

Подробнее
Номер записи: 2