Modular-construction vacuum-coating system

The invention, which relates to a modular-construction vacuum-coating system with a plurality of functional chambers which are arranged one behind the other along a longitudinal extent in which substrates are moved through the chambers in a substrate-transporting region, has the problem of lowering the production-related and installation-related outlay involved in supplying media to vacuum-coating systems. This problem is solved by a functional chamber, as a first sub-module, being arranged in a module which is provided with an outer interface which is the same for at least a second module.

Modular-construction vacuum-coating system

A modular-construction vacuum-coating system includes a plurality of functional chambers arranged one behind the other along a longitudinal extent in which substrates are moved through the chambers in a substrate-transporting region. To lower the production-related and installation-related outlay involved in supplying media, a functional chamber, as a first sub-module, is arranged in a first module and provided with an outer interface which is the same for at least a second module.

Transport roller having end caps

The invention relates to a transport roller, comprising a ceramic roller body (1) having two ends (11) and two metallic end caps (2), each having a receiving bore (21), wherein each end (11) of the roller body (1) is arranged in a receiving bore (21) of an end cap (2) and connected to the end cap (2) in a rotationally fixed manner, wherein the end (11) of the roller body (1) and the receiving bore (21) of the end cap (2) have at least one groove (12, 22) each, running parallel to the longitudinal axis of the roller body (1) that in pairs define a hollow space (3) similar to the bore in a joined state and at least one helical spring or a spring dowel pin (4) is arranged in said hollow space (3) and prevents a relative rotation between the roller body (1) and the end cap (2).

Substrate treatment system comprises system chamber comprising inlet lock before output lock and transportation device for transportation of substrates from inlet lock to output lock within system chamber, and heating device

Die Erfindung betrifft eine Substratbehandlungsanlage mit einer Anlagenkammer, die eine Eingangsschleuse und eine Ausgangsschleuse sowie innerhalb der Anlagenkammer eine Transporteinrichtung zum Transport der Substrate in einer Transportrichtung von der Eingangsschleuse zur Ausgangsschleuse sowie mindestens eine Heizeinrichtung zur Beheizung von Substraten aufweist, wobei die Heizeinrichtung mindestens einen Quarzrohrheizer umfasst mit einem Quarzrohr, mindestens einem im Quarzrohr angeordneten Heizelement sowie Stromanschlüssen, die an einem Anschlussende des Quarzrohrs angeordnet sind, wobei das Anschlussende des Quarzrohrs abgewinkelt ist und mittels einer Vakuumdurchführung von der Innenseite zur Außenseite der Anlagenkammer geführt ist, so dass die Stromanschlüsse außerhalb der Anlagenkammer angeordnet sind.

Cooling unit of a continuous treatment plant for disc-shaped substrates

Kühleinheit einer Durchlaufbehandlungsanlage für scheibenförmige Substrate, mit einer Substrattransporteinrichtung (5), mit einem oberen Kühlsystem (8) oberhalb der Substrattransporteinrichtung (5), das Finnen (11) mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen (10) aufweist, die von einem oberen Zuluftkanal (13) zu der Substrattransporteinrichtung (5) gerichtet sind, und mit einem unteren Kühlsystem (9) unterhalb der Substrattransporteinrichtung (5), das Finnen (11) mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen (10) aufweist, die von einem unteren Zuluftkanal (12) zu der Substrattransporteinrichtung (5) gerichtet sind, wobei sowohl das obere (8) als auch das untere Kühlsystem (9) in mindestens je zwei Segmente (14–18) geteilt sind, deren Luftdurchsatz jeweils getrennt einstellbar ist und dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Segment (14, 15) des oberen Kühlsystems (8) in einer Richtung von der Substrattransporteinrichtung (5) weg schwenkbar ist. Cooling unit of a continuous-flow processing system for disc-shaped substrates, comprising a substrate transport device (5), with an upper cooling system (8) above the substrate transport device (5) having fins (11) with frontal air outlet nozzles (10) leading from an upper supply air duct (13) the substrate transport means (5) are directed, and with a lower cooling system (9) below the substrate transport means (5) having fins (11) with frontal air outlet nozzles (10) from a lower supply air duct (12) to the substrate transport means (5) in which both the upper (8) and the lower cooling system (9) are divided into at least two segments (14-18), the air flow rate of each being separately adjustable and characterized in that at least one segment (14, 15) of the upper cooling system (8) is pivotable in a direction away from the substrate transporting device (5).

Continuous vacuum coating plant

Der Erfindung, die eine Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Anlagenkammer betrifft, die statisch bestimmte Versteifungselemente umfasst, die mit Wandungen versehen sind, welche einen Vakuumraum einschließen, liegt die Aufgabe zugrunde, mit der Gestaltung einer Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage einerseits den gegensätzlichen technologischen Anforderungen gerecht zu werden und andererseits mit einem universalen Ansatz in der Kammerkonstruktion die Fertigungskosten für Anlagenkammern bei Anlagen mit starkem Wiederholcharakter zu beschränken. Dies wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Versteifungselemente außerhalb des Vakuumraumes angeordnet sind. The invention, which relates to a continuous vacuum coating plant with a plant chamber comprising statically determined stiffening elements, which are provided with walls, which include a vacuum space, the task is based on the one hand to meet the conflicting technological requirements with the design of a continuous vacuum coating system and, on the other hand, with a universal approach to chamber design, to limit the equipment cost of plant chambers to high repetitive systems. This is inventively achieved in that the stiffening elements are arranged outside the vacuum space.

Thermodeneinheit für halbleiterbauelemente

Thermodeneinheit für halbleiterbauelemente

Thermodeneinheit für halbleiterbauelemente

Thermodeneinheit für halbleiterbauelemente