13-07-2023 дата публикации
Номер: DE112020007652T5
Ein Verfahren zur Herstellung einer Siliciumcarbid-Halbleitereinheit weist Folgendes auf: einen Schritt, bei dem ein Gate-Graben gebildet wird, einen Schritt, bei dem ein Schottky-Graben gebildet wird, einen Schritt, bei dem eine Siliciumoxid-Schicht (51) in dem Gate-Graben und dem Schottky-Graben gebildet wird, einen Schritt, bei dem eine polykristalline Silicium-Schicht (61) innenliegend in Bezug auf die Siliciumoxid-Schicht gebildet wird, einen Schritt, bei dem die polykristalline Silicium-Schicht (61) zurückgeätzt wird, einen Schritt, bei dem eine Zwischenisolierschicht (55) auf einer Gate-Elektrode (60) in dem Gate-Graben gebildet wird, einen Schritt, bei dem die polykristalline Silicium-Schicht (61) in dem Schottky-Graben nach dem Öffnen eines Lochs in der Zwischenisolierschicht (55) mittels eines Nassätzvorgangs entfernt wird, einen Schritt, bei dem eine ohmsche Elektrode (70) auf einem Source-Bereich (40) gebildet wird, einen Schritt, bei dem die Siliciumoxid-Schicht (51) in dem Schottky-Graben entfernt wird, und einen Schritt, bei dem eine Source-Elektrode (80) in dem Schottky-Graben gebildet wird, die einen Schottky-Übergang mit einer Drift-Schicht (20) bildet. A method for manufacturing a silicon carbide semiconductor device comprises: a step of forming a gate trench, a step of forming a Schottky trench, a step of forming a silicon oxide layer (51) in the gate trench and the Schottky trench, a step in which a polycrystalline silicon layer (61) is formed internally with respect to the silicon oxide layer, a step in which the polycrystalline silicon layer (61) is etched back a step of forming an interlayer insulating layer (55) on a gate electrode (60) in the gate trench, a step of cutting the polycrystalline silicon layer (61) in the Schottky trench after opening a hole in the interlayer insulating film (55) is removed by wet etching, a step of forming an ohmic electrode (70) on a source region (40), a step of forming the silicon oxide film (51) in the ...
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