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24-11-2016 дата публикации

END BLOCK ASSEMBLY, BEARING ASSEMBLY, AND METHOD FOR MANUFACTURING A BEARING ASSEMBLY

Номер: US20160343550A1
Автор: Sebastian Siegert, Gerit Stude, Gerd Arnold, SIEGERT SEBASTIAN, STUDE GERIT, ARNOLD GERD, Siegert Sebastian, Stude Gerit, Arnold Gerd
Принадлежит: VON ARDENNE GMBH

In various embodiments, an end block assembly for rotatably mounting a tubular electrode in a processing chamber is provided. The end block assembly includes a receptacle region for receiving a bearing assembly which has a coupling region for coupling the tubular electrode thereto, the bearing assembly of which the coupling region is supported by a sleeve of the bearing assembly. The sleeve is plug-fitted into the receptacle region. The sleeve is joined together from a plurality of segments, the external faces thereof forming a lateral surface of the bearing assembly and at least two segments thereof being formed from dissimilar materials. The external faces of the two segments are mutually aligned such that they are flush with one another.

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Номер записи: 1
21-04-2016 дата публикации

END BLOCK ARRANGEMENT AND SOCKET ARRANGEMENT

Номер: US20160111265A1
Автор: Arnold Gerd, Heinrich Hans-Juergen, Siegert Sebastian, Stude Gerit, Wiegand Florian
Принадлежит:

According to various embodiments, a socket arrangement for holding an end block on a process chamber may include the following: a first socket element with a first fastening arrangement for fastening the first socket element on a process chamber wall and with a second fastening arrangement; and a second socket element with a third fastening arrangement, for fastening the second socket element on the first socket element and with a fourth fastening arrangement for fastening an end block on the second socket element; wherein the second fastening arrangement of the first socket element and the third fastening arrangement of the second socket element may be formed for engaging in one another with play in such a way that the second socket element may be deflectable in relation to the first socket element. 1. A socket arrangement for holding an end block on a process chamber , the socket arrangement comprising: 'the first socket element comprising:', 'a first socket element and a second socket element,'} 'the second socket element comprising:', 'a first fastening arrangement for fastening the first socket element on a process chamber wall and a second fastening arrangement,'}a third fastening arrangement for fastening the second socket element on the first socket element and a fourth fastening arrangement for fastening an end block on the second socket element;wherein the second fastening arrangement of the first socket element and the third fastening arrangement of the second socket element are formed for engaging in one another with play so that the second socket element is deflectable in relation to the first socket element.2. The socket arrangement of claim 1 ,wherein the second fastening arrangement of the first socket element and the third fastening arrangement of the second socket element are designed to be releasably insertable in one another.3. The socket arrangement of claim 1 ,wherein the fourth fastening arrangement of the second socket element for fastening ...

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Номер записи: 2
11-06-2015 дата публикации

BEARING ARRANGEMENT FOR ROTATABLY MOUNTING AN ELECTRODE AND ELECTRODE ARRANGEMENT

Номер: US20150162159A1
Автор: GROSSER Goetz, Heinrich Hans-Juergen, Stude Gerit
Принадлежит:

In various embodiments, a bearing arrangement for rotatably mounting an electrode is provided. The bearing arrangement may include an outer sleeve, which is insertable into a housing for mounting a rotatable electrode; an inner element, which is received coaxially in the outer sleeve and is mounted by a first bearing and a second bearing so as to be rotatable in relation to the outer sleeve, wherein the bearings are spaced apart from one another in the axial direction; and an electrically conductive contact structure, which is positioned alongside at least one of the first bearing or the second bearing and which makes electrical contact with the inner element. 1. A bearing arrangement for rotatably mounting an electrode , the bearing arrangement comprising:an outer sleeve, which is insertable into a housing for mounting a rotatable electrode;an inner element, which is received coaxially in the outer sleeve and is mounted by a first bearing and a second bearing so as to be rotatable in relation to the outer sleeve, wherein the bearings are spaced apart from one another in the axial direction; andan electrically conductive contact structure, which is positioned alongside at least one of the first bearing or the second bearing and which makes electrical contact with the inner element.2. The bearing arrangement of claim 1 , further comprising:a first receiving region, which is formed at a first axial end portion of the bearing arrangement between an inner circumference of the outer sleeve and an outer circumference of the inner element to receive a first sealing element.3. The bearing arrangement of claim 1 , further comprising:a second receiving region, which is formed at a second axial end portion of the bearing arrangement between an inner circumference of the outer sleeve and an outer circumference of the inner element to receive a second sealing element.4. The bearing arrangement of claim 1 ,wherein a first distance between the outer circumference of the inner ...

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Номер записи: 3
15-01-2019 дата публикации

End block arrangement and socket arrangement

Номер: US10181393B2
Автор: Florian Wiegand, Gerd Arnold, Gerit STUDE, Hans-Juergen Heinrich, Sebastian Siegert
Принадлежит: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG

According to various embodiments, a socket arrangement for holding an end block on a process chamber may include the following: a first socket element with a first fastening arrangement for fastening the first socket element on a process chamber wall and with a second fastening arrangement; and a second socket element with a third fastening arrangement, for fastening the second socket element on the first socket element and with a fourth fastening arrangement for fastening an end block on the second socket element; wherein the second fastening arrangement of the first socket element and the third fastening arrangement of the second socket element may be formed for engaging in one another with play in such a way that the second socket element may be deflectable in relation to the first socket element.

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Номер записи: 4
24-11-2016 дата публикации

Vacuum arrangement and sealing structure

Номер: DE102015107833A1
Автор: Gerd Arnold, Gerit STUDE, Sebastian Siegert
Принадлежит: VON ARDENNE GMBH

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100a, 500a, 800b, 900) Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer (100); einen Vakuumbereich, welcher sich zumindest teilweise im Inneren der Vakuumkammer (100) erstreckt; zwei zueinander beweglich gelagerte Elemente (110a, 110b), zwischen denen ein Spalt gebildet ist, in welchen sich der Vakuumbereich zumindest teilweise hinein erstreckt; eine in oder an dem Spalt (110s) angeordnete Dichtstruktur (102) zum Abdichten des Spalts; wobei ein erster Abschnitt (102a) der Dichtstruktur (102) ortsfest relativ zu einem Element der zwei Elemente (110a, 110b) (auch als erstes Element bezeichnet) eingerichtet und aus einem elektrisch isolierenden ersten Material gebildet ist; und wobei ein zweiter Abschnitt (102b) der Dichtstruktur (102) in physischem Kontakt mit dem anderen Element der zwei Elemente (110a, 110b) (auch als zweites Element bezeichnet) ist und aus einem elektrisch isolierenden zweiten Material gebildet ist; und wobei eine Shore-Härte des ersten Materials kleiner ist als eine Shore-Härte des zweiten Materials. According to various embodiments, a vacuum assembly (100a, 500a, 800b, 900) may include: a vacuum chamber (100); a vacuum region extending at least partially inside the vacuum chamber (100); two mutually movably mounted elements (110a, 110b) between which a gap is formed into which the vacuum region at least partially extends; a sealing structure (102) disposed in or at the gap (110s) for sealing the gap; wherein a first portion (102a) of the sealing structure (102) is fixedly positioned relative to an element of the two elements (110a, 110b) (also referred to as a first element) and formed of an electrically insulating first material; and wherein a second portion (102b) of the sealing structure (102) is in physical contact with the other element of the two elements (110a, 110b) (also referred to as a second element) and is formed of an electrically insulating second material; and wherein a Shore ...

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Номер записи: 5
22-07-2010 дата публикации

Device for fastening covers on lock chambers, has ball spindle nut connected by clamping ring inserted in body, and disk provided in connection with set screw for locking and arranged in upper area of body

Номер: DE102009004789A1
Автор: Daniel Stange, Gerit STUDE, Hubertus Von Der Waydbrink, Marco Kenne, Michael Hentschel, Peter Linhart
Принадлежит: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH

The device has a ball spindle nut (7) arranged between a body (10) and a ball spindle (5), and a groove (8.2) formed in the ball spindle nut around the ball spindle. The ball spindle nut is rotatably and adjustably supported and connected with the body. Balls are inserted in the groove and another groove (8.1), and the ball spindle nut is connected by a clamping ring (14) inserted in the body. A disk (15) is provided in connection with a set screw (16) for locking and arranged in an upper area of the body. A ring (18) is made of elastomer.

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Номер записи: 6
31-03-2016 дата публикации

End block assembly

Номер: DE102014101344B4
Автор: Gerit STUDE, Hans-Jürgen Heinrich
Принадлежит: VON ARDENNE GMBH

Endblock-Anordnung (100), aufweisend: • mindestens einen Endblock (102) zum Halten einer rohrförmigen Elektrode (104) in einer Vakuumkammer (106), wobei der Endblock (102) derart eingerichtet ist, dass eine an den Endblock (102) gekuppelte rohrförmige Elektrode (104) um eine Rotationsachse (101a) drehbar gelagert ist; • wobei der Endblock (102) eine Kühlmittelführung aufweist zum Versorgen einer an den Endblock gekuppelten rohrförmigen Elektrode (104) mit einem Kühlmittel; • wobei die Kühlmittelführung mindestens einen sich quer oder in einem Winkel zur Rotationsachse (101a) erstreckende Hohlraumstruktur (108) aufweist zum Zuführen von Kühlmittel zu einer an den Endblock (102) gekuppelten rohrförmigen Elektrode (104) entlang einer radialen Flussrichtung (113z), wobei die Ausdehnung der Hohlraumstruktur (108) senkrecht zur radialen Flussrichtung (113z) einen Leitungsquerschnitt (108q) aufweist, wobei der Leitungsquerschnitt (108q) eine quer oder in einem Winkel zur Rotationsachse (101a) längserstreckte Form aufweist.

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Номер записи: 7
11-08-2016 дата публикации

Kontaktier-Anordnung zum elektrischen Kontaktieren einer drehbar gelagerten Welle und Lageranordnung zum drehbaren Lagern einer Elektrode

Номер: DE102015101876A1
Автор: Florian Wiegand, Gerd Arnold, Gerit STUDE, Sebastian Siegert
Принадлежит: VON ARDENNE GMBH

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kontaktier-Anordnung (200) zum elektrischen Kontaktieren einer drehbar gelagerten Welle Folgendes aufweisen: einen Schleifkohlenkäfig (100) zum Führen von mehreren Schleifkohlen auf der drehbar gelagerten Welle; wobei der Schleifkohlenkäfig (100) aus mehreren Käfigelementen (100k) zusammengesteckt ist, wobei jedes der mehreren Käfigelemente (100k) zum Führen mindestens einer Schleifkohle der mehreren Schleifkohlen eingerichtet ist.

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Номер записи: 8
19-05-2017 дата публикации

Endblockanordnung, Lageranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Lageranordnung

Номер: BE1023630A1
Автор: Gerd Arnold, Gerit STUDE, Sebastian Siegert
Принадлежит: Ardenne Gmbh Von

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblockanordnung (100a, 700, 800) zum drehbaren Lagern einer rohrförmigen Elektrode in einer Prozesskammer Folgendes aufweisen: einen Aufnahmebereich (102) zum Aufnehmen einer Lageranordnung (200a, 600), welche einen Kupplungsbereich zum Ankuppeln der rohrförmigen Elektrode aufweist; die Lageranordnung (200a, 600), deren Kupplungsbereich von einer Hülse (204) der Lageranordnung (200a, 600) gestützt wird, wobei die Hülse (204) in den Aufnahmebereich (102) gesteckt ist; wobei die Hülse (204) aus mehreren Segmenten zusammengefügt ist, deren Außenflächen eine Mantelfläche (204m) der Lageranordnung (200a, 600) bilden und von denen zumindest zwei Segmente (204t, 204k) aus unterschiedlichen Materialien gebildet sind; wobei die Außenflächen (214m, 224m) der zwei Segmente (204t, 204k) aneinander ausgerichtet sind, so dass diese miteinander fluchten.

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Номер записи: 9