20-09-2018 дата публикации
Номер: DE102017002542A1
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Halten, Positionieren und/oder Bewegen eines Objekts, mit- einer Basis (30) und mit einem relativ zur Basis (30) beweglichen Träger (50),- zumindest drei Magnetlagern (10), mittels welchen der Träger (50) berührungslos und bezüglich zumindest einer vorgegebenen Richtung (2) verschiebbar an der Basis (30) gelagert ist, wobei zumindest zwei der Magnetlager (10) als aktiv regelbare Magnetlager (10) ausgestaltet sind und wobei der Träger (30) zumindest zur Schwingung bei einer Grundfrequenz (f0) anregbar ist, und mit- zumindest einer mechanischen Dämpfungseinrichtung (100), welche fest am Träger (50) angeordnet ist und die einen Dämpfungsgrad D von zumindest 0,1 aufweist. The present invention relates to a device for holding, positioning and / or moving an object, with a base (30) and with a relative to the base (30) movable support (50), - at least three magnetic bearings (10), by means of which Carrier (50) non-contact and with respect to at least one predetermined direction (2) slidably mounted on the base (30), wherein at least two of the magnetic bearings (10) as actively controllable magnetic bearing (10) are configured and wherein the carrier (30) at least Oscillation at a fundamental frequency (f0) can be excited, and with at least one mechanical damping device (100) which is fixedly arranged on the carrier (50) and which has a damping degree D of at least 0.1.
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