Mechanical seal and rotary joint for slurry fluid
Номер патента: JP2918874B1
Опубликовано: 12-07-1999
Автор(ы): 正人 和田, 潤治 大宮
Принадлежит: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Опубликовано: 12-07-1999
Автор(ы): 正人 和田, 潤治 大宮
Принадлежит: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Реферат: 【要約】
【課題】 研磨液等のスラリ流体を良好にシールさせた 状態で相対回転部材間において流動させることができる スラリ流体用ロータリジョイントを提供する。
【解決手段】 相対回転自在に連結された第１及び第２ ジョイント構成部材２１，３１には、シリコンウエハの 研磨液を流動させる一連のスラリ流体通路５１が形成さ れている。このスラリ流体通路５１の相対回転部分は、 金属成分の総含有量が２００ｐｐｍである炭化珪素から なる密封環４２，４３を具備し且つバランス比κを０≦ κ≦０．６とした端面接触形のメカニカルシール４１に より、シールされている。一方の密封環４３の密封端面 ４３ｃの径方向幅は、０．４〜０．７ｍｍとされてい る。 An object of the present invention is to provide a rotary joint for a slurry fluid that allows a slurry fluid such as a polishing liquid to flow between relative rotating members in a state of being sealed well. SOLUTION: First and second parts rotatably connected to each other are provided. A series of slurry fluid passages 51 for flowing the polishing liquid for the silicon wafer are formed in the joint components 21 and 31. The relative rotation portion of the slurry fluid passage 51 is: Sealing rings 42 and 43 made of silicon carbide having a total content of metal components of 200 ppm are provided, and the balance ratio κ is set to 0 ≦ Sealed by an end face contact type mechanical seal 41 where κ ≦ 0.6. The radial width of the sealing end face 43c of one sealing ring 43 is 0.4 to 0.7 mm.
Rotary Joint with a Mechanical Seal
Номер патента: US20240159337A1. Автор: Manuel Schöferle. Владелец: Christian Maier GmbH and Co KG Maschinenfabrik. Дата публикации: 2024-05-16.