УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВА ГАЗОВ В РАБОЧЕЙ КАМЕРЕ ПРИ ПРОВЕДЕНИИ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПРОЦЕССОВ
Номер патента: RU0000132256U1
Опубликовано: 10-09-2013
Автор(ы): Билалов Билал Аругович, Каргин Николай Иванович, Сафаралиев Гаджимет Керимович
Принадлежит: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ)
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-09-2013
Автор(ы): Билалов Билал Аругович, Каргин Николай Иванович, Сафаралиев Гаджимет Керимович
Принадлежит: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ)
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Устройство для очистки поверхности образцов для электронной микроскопии
Номер патента: RU0000198294U1. Автор: Алексеев Николай Васильевич,Бодгардт Николай Иванович,Волков Роман Леонидович. Владелец: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники". Дата публикации: 2020-06-30.