Pre-spacer self-aligned cut formation
Номер патента: US20180301413A1
Опубликовано: 18-10-2018
Автор(ы): Shao Beng Law, Xunyuan Zhang
Принадлежит: Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-10-2018
Автор(ы): Shao Beng Law, Xunyuan Zhang
Принадлежит: Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pre-spacer self-aligned cut formation
Номер патента: US09966338B1. Автор: Xunyuan Zhang,Shao Beng Law. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2018-05-08.