Method for Preparing Isolation Area of Gallium Oxide Device
Номер патента: US20210013027A1
Опубликовано: 14-01-2021
Автор(ы): Shixiong LIANG, Xin Tan, Xingye Zhou, Xubo Song, Yuangang WANG, Yuanjie Lv, Zhihong FENG
Принадлежит: CETC 13 Research Institute
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-01-2021
Автор(ы): Shixiong LIANG, Xin Tan, Xingye Zhou, Xubo Song, Yuangang WANG, Yuanjie Lv, Zhihong FENG
Принадлежит: CETC 13 Research Institute
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for preparing isolation area of gallium oxide device
Номер патента: US11244821B2. Автор: Xin Tan,Yuangang WANG,Zhihong FENG,Xubo Song,Xingye Zhou,Yuanjie Lv,Shixiong LIANG. Владелец: CETC 13 Research Institute. Дата публикации: 2022-02-08.