Způsob výroby waferu a zařízení pro výrobu waferu
Номер патента: CZ2019143A3
Опубликовано: 25-09-2019
Автор(ы): Kazuyuki Hinohara, Ryohei Yamamoto
Принадлежит: DISCO CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-09-2019
Автор(ы): Kazuyuki Hinohara, Ryohei Yamamoto
Принадлежит: DISCO CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Způsob výroby waferu a zařízení pro výrobu waferu
Номер патента: CZ309498B6. Автор: Ryohei Yamamoto,Kazuyuki Hinohara. Владелец: DISCO CORPORATION. Дата публикации: 2023-03-01.