Silicon purification method and silicon purification device
Номер патента: US20120181164A1
Опубликовано: 19-07-2012
Автор(ы): Hiroshi Nagata, Yasuo Ookubo
Принадлежит: Ulvac Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-07-2012
Автор(ы): Hiroshi Nagata, Yasuo Ookubo
Принадлежит: Ulvac Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Silicon purification method and silicon purification device
Номер патента: US20140075997A1. Автор: Hiroshi Nagata,Yasuo Ookubo. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-03-20.