Verfahren zur herstellung von siliciumnitrid
Номер патента: DD252597A1
Опубликовано: 23-12-1987
Автор(ы): Gottfried Boden, Heinz Trog, Sigrid Klemm
Принадлежит: Akad Wissenschaften Ddr
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-12-1987
Автор(ы): Gottfried Boden, Heinz Trog, Sigrid Klemm
Принадлежит: Akad Wissenschaften Ddr
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Verfahren zur herstellung von siliciumnitrid
Номер патента: WO2002090254A1. Автор: Norbert Auner. Владелец: Wacker-Chemie Gmbh. Дата публикации: 2002-11-14.