01-10-2014 дата публикации
Номер: KR20140115991A
Принадлежит:
도쿄엘렉트론가부시키가이샤
본 발명은 다수 매의 웨이퍼를 연속적으로 처리할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 이러한 자기 어닐링 장치는, 한 그룹의 피처리체를 수납한 수납 용기를 반송하는 수납 용기 반송 영역과, 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 영역이 개폐 도어를 사이에 두고 형성되고, 제어부를 갖는 자기 어닐링 장치로서, 상기 수납 용기 반송 영역에는, 이 자기 어닐링 장치에 반입되는 수납 용기를 배치하는 제1 배치대와, 상기 개폐 도어를 통해 상기 수납 용기 반송 영역으로부터 상기 피처리체 반송 영역으로 기밀하게 상기 피처리체를 반송하기 위해 상기 수납 용기를 배치하는 복수의 제2 배치대와, 복수의 상기 수납 용기를 보관하는 보관부와, 상기 제1 배치대, 상기 제2 배치대 및 상기 보관부 사이에서 상기 수납 용기를 반출입하는 수납 용기 반송 기구가 배치되며, 상기 피처리체 반송 영역에는, 복수의 상기 피처리체의 위치 맞춤을 행하는 얼라이너와, 복수 그룹의 상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와, 상기 제2 배치대에 배치된 수납 용기, 상기 얼라이너 및 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와, 상기 피처리체를 가열하는 가열 수단과, 상기 피처리체에 자계를 인가하는 횡형 초전도 자석을 갖는 자계 발생 수단과, 상기 피처리체 유지구에 유지된 상기 피처리체를 상기 자계 발생 수단 내로 트랜스퍼하는 트랜스퍼 기구가 배치된 것이다. 또한, 본 발명은 효율적으로 웨이퍼를 자기 어닐링 장치로 반입할 수 있는 자기 어닐링 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 이러한 자기 어닐링 장치는, 자계 발생 수단으로서 횡형의 초전도 자석을 이용하여, 피처리체를 자기 어닐링 처리하는 자기 어닐링 장치로서, 상기 피처리체를 유지할 수 있는 피처리체 유지구와, 상기 피처리체를 수납하는 수납 용기와 상기 피처리체 유지구의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 피처리체 반송 기구와, 상기 피처리체 유지구에 접속부를 통해 접속되고, 상기 피처리체를 상기 피처리체 반송 기구로 반송할 때의 제1 위치와, 상기 피처리체를 자기 어닐링 처리할 때의 제2 위치와의 사이에서, 상기 피처리체 유지구를 트랜스퍼할 수 있는 트랜스퍼 기구를 구비하고, 상기 접속부는, 상기 피처리체 유지구의 경사각을 조절할 수 있는 각도 조절부를 갖는 것이다.
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