Способ изготовления микродеталей и лазерное устройство для его осуществления

Изобретение относится к лазерной технике.

Согласно способу изготовляют маску детали, с помощью лазерной системы формируют мощный лазерный пучок, имеющий заданный контур, на обрабатываемом объекте получают изображение детали и сохраняя неподвижность объекта обрабатывают его. С помощью оптической системы, имеющей сферическое зеркало, получают изображение необходимого размера. При микрообработке деталей со сложным контуром лазерную систему вращают вокруг центра сферы сферического зеркала.

Лазерное устройство содержит маску детали, проекционную оптику и экран наблюдения, сферическое зеркало, находящиеся на одной оптической оси объектив, активный лазерный элемент и светораспределительный клин имеют возможность вращения вокруг центра сферы сферического зеркала. Устройство содержит дополнительную диафрагму, расположенную перпендикулярно первой.

Создается возможность изготовления и обработки деталей теоретически неограничено малых размеров, 2 н.п.ф., 2 ил.