Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen und Vakuumanlage zur Durchführung des Verfahrens

15-02-1967 дата публикации

Номер:

CH430025A

Автор: Otto Dr Winkler

Принадлежит: Balzers Hochvakuum

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D8 B01D8/B01D8/0 B01D8/00 C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/5 C23C14/56 C23C14/564 C23C8 C23C8/C23C8/3 C23C8/36 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34

IPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D8 B01D8/B01D8/0 B01D8/00 B8 B82 B82Y B82Y1 B82Y15 B82Y15/B82Y15/0 B82Y15/00 C C2 C23 C23C C23C8 C23C8/C23C8/3 C23C8/36