一种蒸发速率智能可调的蒸发镀膜方法

28-03-2023 дата публикации

Номер:

CN113235053B

Автор: 李成林, 杜雪峰, 郝明

Принадлежит: Liaoning Molecular Flow Technology Co ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/2 C23C14/24 C23C14/5 C23C14/54 C23C14/543 C23C14/545

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/2 C23C14/24 C23C14/5 C23C14/54 C23C14/541 C3 C30 C30B C30B1 C30B1/C30B1/1 C30B1/12

Получить PDF