Vorrichtung zur doppelablenk-abtastung eines partikelstrahls

11-12-1980 дата публикации

Номер:

DE0003020281A1

Автор: HANLEY PETER RONALD, TURNER NORMAN LEONARD, RONALD HANLEY,PETER, LEONARD TURNER,NORMAN

Принадлежит: Varian Associates Inc

Контакты:

Номер заявки: 3020281

Дата заявки: 28-05-1980

CPC - классификация

G G2 G21 G21K G21K1 G21K1/G21K1/0 G21K1/09 G21K1/093 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/317 H01J2237/3170 H01J2237/31701 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/147

IPC - классификация

G G2 G21 G21K G21K1 G21K1/G21K1/0 G21K1/09 G21K1/093 H H0 H01 H01F H01F5 H01F5/H01F5/0 H01F5/00 H01J H01J3 H01J3/H01J3/0 H01J3/02 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/147 H01J37/3 H01J37/31 H01J37/317 H05 H05H H05H7 H05H7/H05H7/0 H05H7/00