Werkzeugkrone und mit der Werkzeugkrone herstellbares Glaskeramik-Erzeugnis

Die Erfindung betrifft allgemein rotierende Abtragswerkzeuge. Im Speziellen betrifft die Erfindung eine Werkzeugkrone für einen rotierenden Abtrag, insbesondere zum Einbringen von Vertiefungen in sprödharten Materialien.

Aus der DE3534426DE 35 34 426 C1C1 ist eine Bohrvorrichtung zum Bohren von bruchempfindlichen Platten, wie insbesondere von Glasplatten bekannt. Die zu durchbohrende Platte wird mit einem Auflager und einem Niederhalter fixiert. Aufhalter und Niederhalter werden durch Innenringe von Kugelgelenklagern gebildet, um beim Fixieren der Glasplatte Biegespannungen zu vermeiden. Eine Bohrung wird mit zwei gegenläufig aufeinander zu bewegbaren Hohlbohrern erzeugt.

Die EP2489488EP 2 489 488 A1A1 beschreibt weiterhin eine Diamantlochsäge mit Zentrierbohrer und Anschlag. Die Diamantlochsäge umfasst ein kronen- oder becherartiges Fräswerkzeug, dessen in einer Arbeitsebene verlaufender Rand mit span abhebenden Mitteln versehen ist. In der Drehachse des Fräswerkzeuges ist ein Bohrer angeordnet, dessen Spitze zum Bohren einer Zentrierbohrung die Arbeitsebene überragt und dessen Schaft mit einem Halter verbunden ist. Dem Schaft des Bohrers ist ein Anschlag zugeordnet, der vom Rand um eine Strecke überragt wird und der nach dem Fräsen eines Pilotkreises mit den spanabhebenden Mitteln des Randes gegen das Werkstück anschlägt, um ein Vertiefen des Pilotkreises erst nach Trennen des Bohrers vom Halter zu ermöglichen.

Beide vorstehend genannte Vorrichtungen sind geeignet, Durchgangsöffnungen geringer Tiefe in Glasplatten einzufügen.

Aus der EP06417EP 06417 A1A1 ist ein hartmetallbestückter Bohrer bekannt, der zum Bohren sehr unterschiedlicher Materialien, wie Metalle, Glas, Keramik und Beton geeignet sein soll. Der Bohrer weist eine Hartmetallschneide mit einem Spitzenwinkel von 120°–125° und einem Freiwinkel von 10°–15° auf. Bei einem Bohrer dieses Typs, der auf einer zerspanenden Arbeitsweise beruht, besteht bei sprödharten Materialien wie Glas oder Glaskeramik allerdings die Gefahr einer Rissbildung. Selbst wenn keine makroskopischen Risse im Werkstück hinterlassen werden, können Mikrorisse eingefügt werden, die auf das Material stark festigkeitsmindernd wirken. Zudem ist der Bohrer nur für das Einfügen von Bohrungen, nicht aber zum Fräsen geeignet.

Sacklöcher, deren Durchmesser und Tiefe mit Werkzeugen geschliffen werden müssen, dessen Verhältnis Durchmesser des Werkzeugschafts zu Werkzeuglänge größer als 1:10 ist, können damit bisher aufgrund der instabilen Werkzeugschäfte nicht mehr in Glaskeramik mit noch akzeptabler Minderung der Materialfestigkeit gefertigt werden. Dabei ist der Durchmesser des Werkzeugschaftes maßgeblich abhängig vom Durchmesser der Werkzeugkrone.

Der Erfindung liegt mithin die Aufgabe zugrunde, ein Werkzeug zur Verfügung zu stellen, mit welchem auch tiefe Bohrungen und Ausfräsungen in sprödharten Materialien, insbesondere Glas und Glaskeramik ohne Gefahr eines Bruchs eingefügt werden können. Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Demgemäß sieht die Erfindung eine Werkzeugkrone zum Bohren und Fräsen von Vertiefungen in sprödharten Materialien vor, wobei die Werkzeugkrone einen hohlzylinderförmigen Schleifkörper aufweist, der in einen vorzugsweise hohlen Schaft übergeht, wobei an der Stirnfläche des hohlzylinderförmigen Schleifkörpers am Ort der Zylinderachse des Schleifkörpers eine zentrale Schleiffläche angeordnet ist, welches mittels zumindest eines Stegs mit der Innenwandung des hohlzylinderförmigen Schleifkörpers verbunden ist.

Die Stirnfläche des Schleifkörpers, der Steg mit der zentralen Schleiffläche und zumindest ein Teil der Außenwandung des Schleifkörpers sind mit Schleifmittel belegt. Zwischen dem zumindest einen Steg und der Innenwandung des Schleifkörpers verbleibt zumindest eine Öffnung zum Inneren des hohlzylinderförmigen Schleifkörpers, vorzugsweise auch zum Inneren des Schafts. Der Steg kann auch als Speiche bezeichnet werden.

Der Materialabtrag mit der Werkzeugkrone erfolgt demgemäß durch Schleifen, was als Schneiden oder Abrieb mit geometrisch unbestimmter Schneide (aufgrund der Anordnung und Form der Schleifkörner) bezeichnet werden kann.

Mit dieser Konstruktion kann der Durchmesser der Werkzeugkrone gegenüber der Querschnittfläche der einzufügenden Vertiefung maximiert werden. Beim Ausfräsen der Vertiefung muss die seitliche Bewegung der um ihre Zylinderachse rotierenden Werkzeugkrone nicht mehr bis über dessen Mittenachse hinaus erfolgen, um das Material im Querschnitt der Vertiefung vollständig abzutragen. Vielmehr sorgen der Steg und die zentrale Schleiffläche dafür, dass auch bei einer nur geringfügigen seitlichen Bewegung der Werkzeugkrone die gesamte vom Umfang der Werkzeugkrone überstrichenen Fläche Material abgeschliffen wird.

Obwohl die Umfangsgeschwindigkeit der Schleiffläche in der Werkzeugmitte, beziehungsweise an der Zylinderachse gleich null ist, kann die Werkzeugkrone überraschend sogar sehr gut zum Bohren von Vertiefungen, also ohne seitliche Bewegung der Werkzeugkrone verwendet werden. Hier führt die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Werkzeugkrone auch dazu, dass die Krone weniger schlägt und vibriert, so dass sehr glatte Wandungen erzeugt werden.

Der Querschnitt einer mit dem Werkzeug herstellbaren Vertiefung weist aufgrund der rotierenden zylindrischen Grundform einen minimalen Radius auf, der aufgrund des endlichen Durchmessers des Schleifkörpers nicht unterschritten werden kann.

Unabhängig davon, ob eine Vertiefung gebohrt oder ausgefräst wird, können im Verhältnis zum minimalen Radius der Seitenwandung und damit indirekt auch zur Querschnittabmessung nun sehr tiefe Vertiefungen in sprödharten Materialien, wie insbesondere Glas und Glaskeramik eingefügt werden. Demgemäß betrifft die Erfindung auch ein Glas- oder Glaskeramikelement, welches durch Bearbeitung mittels einer erfindungsgemäßen Werkzeugkrone herstellbar ist. Das Glas- oder Glaskeramikelement weist dabei zumindest eine eingeschliffene Vertiefung auf, welche geradlinig von deren Öffnung an der Oberfläche des Glas- oder Glaskeramikelements bis zu deren Boden verläuft. Die Seitenwandung der Vertiefung weist einen minimalen Radius von mindestens 6 Millimetern auf, wobei das Verhältnis von Tiefe der Vertiefung zu minimalem Radius mehr als 10:1 beträgt. Unter einer Vertiefung wird dabei eine einseitig geschlossene Höhlung, also keine Durchgangsöffnung verstanden. Mit anderen Worten wird die Vertiefung durch einen Boden im sprödharten Material abgeschlossen.

Im Spezialfall einer Vertiefung mit kreisförmigem Querschnitt ist die Tiefe der Vertiefung mindestens fünfmal, vorzugsweise mindestens zehnmal so groß, wie deren Durchmesser.

Mit der Erfindung können beispielsweise Leichtgewichtsstrukturen aus Glaskeramik gefertigt werden. Die besonders gute Laufruhe der erfindungsgemäßen Werkzeugkrone ermöglicht dabei auch sehr dünnwandige Strukturen. Insbesondere kann der minimale Abstand der Wandung der Vertiefung zu einer Oberfläche des Glas- oder Glaskeramikelements höchstens 15 Millimeter, bevorzugt höchstens 10 Millimeter betragen. Die Oberfläche kann dabei auch die Wandung einer benachbarten Vertiefung sein. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist daher ein Glas- oder Glaskeramikelement vorgesehen, welches mehrere nebeneinander verlaufende eingeschliffene Vertiefungen aufweist, wobei der minimale Abstand zwischen den Wandungen zweier benachbarter Vertiefungen höchstens 15 Millimeter, bevorzugt höchstens 10 Millimeter beträgt.

Eine mögliche Anwendung sind beispielsweise glaskeramische, gewichtsreduzierte Spiegelträger für Teleskope.

Die Erfindung wird nachfolgend genauer und anhand von Ausführungsbeispielen und den beigeschlossenen Zeichnungen erläutert. In den Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder entsprechende Elemente. Es zeigen:

1 eine schematische Ansicht einer Werkzeugkrone,

2 bis 4 Aufsichten auf die Stirnfläche der Werkzeugkrone,

5 und 6 Aufsichten auf eine Vertiefung während des Ausarbeitens der Vertiefung mit einer Werkzeugkrone,

7 ein Glas- oder Glaskeramikelement in Querschnittansicht,

8 eine Querschnittsform einer Vertiefung, und

9 eine fotografische Aufnahme eines Glaskeramikblocks mit einer Vertiefung.

1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Werkzeugkrone 1 in perspektivischer Ansicht.

Die Werkzeugkrone 1 umfasst einen Schleifkörper 10, welcher die Grundform eines Hohlzylinders hat. Der Schleifkörper 10 geht in einen Schaft 7 über. Dabei kann der Schleifkörper 10 am Schaft befestigt sein, oder Schaft und Schleifkörper 10 sind einstückig ausgebildet, beispielsweise aus einem Rohr geeigneten Durchmessers gedreht. Der Schaft 7 ist ebenfalls hohlzylinderförmig. Ohne Beschränkung auf das spezielle, in 1 gezeigte Ausführungsbeispiel weist der Schaft 7 bevorzugt einen kleineren Durchmesser als der Schleifkörper 10 auf, um das Ausfräsen und/oder Bohren von Vertiefungen zu vereinfachen, deren Tiefe größer als die axiale Länge des Schleifkörpers 10 ist.

Mit dem Schaft wird die Werkzeugkrone in das Futter einer Bohr- und/oder Fräsvorrichtung eingespannt. Das Einbringen von Vertiefungen erfolgt dann durch Rotation der Werkzeugkrone 1 um dessen Zylinderachse 13 und axialem und/oder radialem Vorschub der Werkzeugkrone 1.

Der Schleifkörper 10 ist mit einem Schleifmittel 25 belegt, welches für den Materialabtrag beim Einbringen einer Vertiefung in einem sprödharten Material sorgt. Die mit Schleifmittel 25 versehenen Oberflächen des Schleifkörpers sind mit einer Punktschraffur gekennzeichnet.

Wie anhand von 1 ersichtlich, ist auch in der Werkzeugmitte, beziehungsweise am Ort der Zylinderachse 13 Schleifmittel 25 vorhanden. Dazu sind zwei bei dieser Ausführungsform gegenüberliegend von der Innenwandung 20 des Schleifkörpers 10 ausgehende und mit Schleifmittel 25 belegte Stege 17, 18 vorhanden, welche sich am Ort der Zylinderachse 13 treffen. Damit wird am und um den Bereich der Zylinderachse 13 an der Stirnfläche 12 des Schleifkörpers eine zentrale Schleiffläche 15 gebildet. Die spezielle Struktur des dargestellten Beispiels kann auch als einzelner, durch die Werkzeugmitte, beziehungsweise den Ort des Durchstosspunktes der gedachten Zylinderachse durch die Ebene der Stirnfläche 12 laufender Steg 17 aufgefasst werden. Demgemäß ist am Ort der Zylinderachse 13 des Schleifkörpers 10 eine zentrale Schleiffläche 15 angeordnet, welche mittels zumindest eines Stegs 17, 18 mit der Innenwandung 20 des hohlzylinderförmigen Schleifkörpers 10 verbunden ist. Dabei sind die Stirnfläche 12 des Schleifkörpers 10, der, beziehungsweise die Stege 17, 18 mit der zentralen Schleiffläche 15 und zumindest ein Teil der Außenwandung 22 des Schleifkörpers 10 mit Schleifmittel 25 belegt.

Das Schleifmittel 25 auf der Außenwandung 22 ermöglicht einen Materialabtrag bei einem radialen Vorschub, das Schleifmittel 25 auf der Stirnfläche und den Stegen 17, 18, die auch die zentrale Schleiffläche 15 bilden, einen Materialabtrag bei axialem Vorschub der Werkzeugkrone.

Allgemein, ohne Beschränkung auf das dargestellte Ausführungsbeispiel verbleibt zwischen den Stegen 17, 18 und der Innenwandung 20 des Schleifkörpers 10 zumindest eine Öffnung 27 zum Inneren des Schleifkörpers 10 und des hohlen Schafts 7. Bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ergeben sich durch die miteinander verbundenen Stege 17, 18 oder den durchgehenden Steg hier zwei Öffnungen 27.

Durch die zumindest eine Öffnung ist also keine geschlossene Stirnfläche vorhanden. Die Öffnung 27 dient insbesondere dazu, abgetragenes Material aufzunehmen und gegebenenfalls Kühl- und/oder Schmiermittel zuzuführen.

Bevorzugt sind ohne Beschränkung auf die spezielle Ausgestaltung der 1 die Stirnfläche 12 des Hohlzylinders des Schleifkörpers und die weiteren schleifenden Elemente an der Stirnseite in einer Ebene angeordnet. Damit wird unter anderem ermöglicht, Vertiefungen mit ebenem Boden herzustellen. Zudem erweist sich eine solche ebene Konfiguration günstig, um Schwingungen der Werkzeugkrone 1 zu vermeiden. Demgemäß ist in Weiterbildung der Erfindung ohne Beschränkung auf das Ausführungsbeispiel der 1 vorgesehen, dass die zentrale Schleiffläche 15 und der zumindest eine Steg 17, 18 auf gleicher Höhe wie die Stirnfläche 12 liegen, so dass die Stirnfläche 12, der zumindest eine Steg 17, 18, 19 und die zentrale Schleiffläche 15 eine in einer durch die Stirnfläche 12 definierten Ebene liegende, von der zumindest einen Öffnung 27 durchbrochene Schleiffläche bilden.

Das Schleifmittel 25 wird allgemein besonders bevorzugt durch Schleifkörner, vorzugsweise Diamantschleifkörner gebildet, welche in eine Matrix eingebettet sind. Neben Diamant ist beispielsweise aber auch Korund, Siliziumcarbid oder ein anderer Hartstoff als Schleifmittel denkbar.

Besonders bevorzugt werden außerdem in einer Metallmatrix eingesinterte Schleifkörner. Auch mit einer galvanischen Abscheidung kann eine Metallmatrix mit eingebetteten Schleifmittelkörnern erzeugt werden. Eine Metallmatrix wird aufgrund der guten Wärmeableitung in den Schleifkörper 10 hinein bevorzugt. Gegebenenfalls denkbar wäre aber auch eine Kunststoffmatrix oder eine Keramik mit enthaltenem Schleifmittel.

Die 2 bis 4 zeigen in Aufsicht auf die Stirnfläche des Schleifkörpers 10 verschiedene weitere Ausführungsformen der Anordnung und Ausbildung von Stegen.

Bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel ist ein einzelner Steg 17 einseitig mit der Innenwandung 20 des Schleifkörpers 10 verbunden. Das Ende des Stegs 17 bildet eine zentrale Schleiffläche 15 am Ort der Zylinderachse 13 und den Bereich der Zylinderachse 13 umgebend. Entsprechend ist nur eine einzelne Öffnung 27 vorhanden.

Die Ausführungsform der 3 wird besonders bevorzugt. Hier sind drei Stege 17, 18, 19 vorhanden, welche von der Innenwandung 20 ausgehen und sich in der Werkzeugmitte treffen. Der Bereich, an welchem die Stege 17, 18, 19 zusammentreffen, bildet die zentrale Schleiffläche 15 an der Zylinderachse 13 und die Zylinderachse 13 umgebend. Entsprechend ergeben sich bei dieser Ausführungsform drei Öffnungen 27 zwischen den Stegen 17, 18, 19 und der Innenwandung 20. Die Konstruktion mit drei Stegen 17, 18, 19 ist hinsichtlich der mechanischen Stabilität besonders bevorzugt. Es können auch mehr als drei Stege, beispielsweise vier, fünf oder sechs Stege, beziehungsweise Speichen vorgesehen werden. Andererseits steigt der Herstellungsaufwand und die Gesamtfläche der Öffnungen 27 verringert sich.

4 zeigt eine Variante der in 1 gezeigten Konfiguration mit zwei Stegen 17, 18. Im Unterschied zu der in 1 gezeigten Ausführungsform sind bei dem in 4 gezeigten Beispiel die beiden Speichen, beziehungsweise Stege 17, 18 gebogen ausgeführt.

Für die mechanische Stabilität ist es allgemein günstig, mehrere rotationssymmetrisch zur Zylinderachse 13 des Schleifkörpers 10 angeordnete, die zentrale Schleiffläche 15 mit der Innenwandung 20 des hohlzylinderförmigen Schleifkörpers 10 verbindende Stege 17, 18, 19 vorzusehen. Dies ist bei den Ausführungsbeispielen der 1, 3 und 4 der Fall.

Allgemein bevorzugt ist die Fläche des oder der Stege 17, 18, 19 und der zentralen Schleiffläche 15 zusammengenommen geringer als die Gesamtfläche der die Schleiffläche unterbrechenden Öffnung oder Öffnungen 27. Dies erweist sich für die Laufruhe und zur Vermeidung von Schwingungen an der Werkzeugkrone 1 als vorteilhaft. Die vorgenannte Bedingung ist bei allen Ausführungsbeispielen der 1 bis 4 erfüllt.

Anhand der 5 und 6 wird erläutert, weshalb mit einer erfindungsgemäßen Werkzeugkrone 1 im Verhältnis zur Querschnittfläche besonders tiefe Vertiefungen in sprödharten Materialien, wie insbesondere Glas oder Glaskeramik mit sehr glatten Wandungen eingefügt werden können.

5 zeigt eine Aufsicht auf eine Vertiefung 33 in einem sprödharten Material 5 während des Ausarbeitens der Vertiefung mit einer Werkzeugkrone 1. Bei der in 5 gezeigten Werkzeugkrone handelt es sich dabei um ein konventionelles Werkzeug mit einer Krone in Gestalt eines Kranzes. Um wie im gezeigten Beispiel eine Vertiefung mit rundem Querschnitt mit 40 Millimetern Durchmesser einzufügen, beträgt der Durchmesser der Werkzeugkrone 1 22 Millimeter. Der Durchmesser kann nicht größer gewählt werden, da ansonsten in der Mitte 330 der Vertiefung 33 Material stehenbleibt. Dieses kann bei hinreichender Länge ausbrechen, oder stoppt den axialen Vorschub der Werkzeugkrone 1. Anhand dieses Beispiels wird ersichtlich, dass der Durchmesser der Werkzeugkrone immer deutlich kleiner sein muss, als der Durchmesser oder allgemein die Querschnittabmessung der Vertiefung. Dies führt bei großer Tiefe der Vertiefung aber schnell zu Instabilitäten des Werkzeugs, so dass keine glatten Wandungen mehr herstellbar sind.

6 zeigt zum Vergleich eine erfindungsgemäße Werkzeugkrone 1 beim Einbringen einer Vertiefung 33 gleicher Abmessungen. Die Werkzeugkrone 1 hat beispielhaft die in 3 gezeigte Konfiguration mit drei rotationssymmetrisch angeordneten Stegen 17, 18, 19. Durch das auf den Stegen und der zentralen Schleiffläche 15 vorhandene Schleifmittel wird die Mitte 330 der Vertiefung 33 auch dann bearbeitet, wenn der äußere Kranz, beziehungsweise die Stirnfläche 12 des hohlzylinderförmigen Schleifkörpers ständig außerhalb der Mitte 330 verläuft. Es kann daher ein im Verhältnis zur Querschnittfläche der Vertiefung 33 größerer Durchmesser des Schleifkörpers 10 verwendet werden. Bei dem gezeigten Beispiel weist der Schleifkörper 10 einen Durchmesser von 34 Millimetern auf. Bei gleicher Querabmessung der Vertiefung 33 kann also im Vergleich zu einem wie in 4 gezeigten Werkzeug ein größerer Schleifkörper 10 verwendet werden, was die Laufruhe der Werkzeugkrone 1 erheblich verbessert. Je tiefer eine Vertiefung eingefügt wird, desto kritischer wird die Laufruhe.

Der minimale Durchmesser einer Vertiefung 33 hängt selbstverständlich vom Durchmesser der Werkzeugkrone 1 ab. Ohne Beschränkung auf die in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispiele wird ein Schleifkörper 10 bevorzugt, dessen Durchmesser mindestens 5 Millimeter beträgt. Besonders geeignet sind Durchmesser des Schleifkörpers 10 zwischen 5 und 60 Millimetern.

Mit der Erfindung lassen sich auf diese Weise neuartige Glas- und Glaskeramikerzeugnisse herstellen. 7 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein solches durch Bearbeitung mittels einer erfindungsgemäßen Werkzeugkrone 1 herstellbaren Glas- oder Glaskeramikelement 30. Das Glas- oder Glaskeramikelement 30 weist zumindest eine eingeschliffene Vertiefung 33 auf. Bei dem in 7 gezeigten Beispiel sind mehrere, hier im Speziellen drei Vertiefungen 33 eingefügt, die parallel zueinander verlaufen. Die Vertiefungen 33 verlaufen außerdem geradlinig von der Öffnung 36 an der Oberfläche 31 des Glas- oder Glaskeramikelements 30 bis zum Boden 331 der jeweiligen Vertiefung 33.

Die Vertiefungen 33 weisen ein Verhältnis von Tiefe, beziehungsweise Länge der Vertiefung 33 zu minimalem Radius von mehr als 10:1 auf. Im Falle eines kreisförmigen Querschnitts der Vertiefung 33 ergibt sich damit allgemein, ohne Beschränkung auf das dargestellte Ausführungsbeispiel ein Verhältnis der Tiefe der Vertiefung 33, also des Längenmasses gemessen von Öffnung 36 bis zum Boden 331, zu deren Durchmesser von mindestens 10:1. Bei dem in 7 gezeigten Beispiel entspricht dieses Verhältnis etwa 15:1, ablesbar anhand der Länge und Höhe der Vertiefungen 33.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel wurde in einer Glaskeramik eine Vertiefung mit einer Tiefe von 320 Millimetern bei einem Durchmesser der Werkzeugkrone von 34 Millimetern erzeugt. Damit beträgt das Verhältnis von Tiefe zu minimalem Radius der Querschnittfläche 18, 8:1. Bei kreisförmigem Querschnitt ist das Verhältnis von Tiefe zu Durchmesser 9, 4:1. Derartige Vertiefungen sind ohne weiteres mit der erfindungsgemäßen Werkzeugkrone 1 herstellbar.

Wie bereits oben dargelegt, zeichnet sich die Werkzeugkrone 1 auch durch eine hohe Laufruhe ab, was wiederum zu sehr glatten Wandungen führt. Ohne Beschränkung auf die Ausführungsbeispiele ist dabei in Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, dass die mittlere Rauheit der Seitenwandung 332 der Vertiefung 33 einen Wert R_a< 6µm aufweist. Sind, beispielsweise beim schrittweisen Vorschub der Werkzeugkrone und Ausfräsen eines Höhenbereichs im Glas- oder Glaskeramikmaterial Stufen in der Vertiefung vorhanden, gilt der oben genannte Wert für Flächenbereiche außerhalb der Stufen. Es lassen sich sogar mittlere Rauheiten von 0,1 µm bis 5 µm erzielen. Typische Werte liegen im Bereich von 0,5 bis 3,5 µm.

Die glattesten Wandungen können dabei durch das Bohren von Vertiefungen 33 hergestellt werden. Beim Bohren wird anders als beim Ausfräsen die Werkzeugkrone 1 nur mit axialem Vorschub in das Glas- oder Glaskeramikmaterial eingeführt. Generell ist es dabei überraschend, dass die zentrale Schleiffläche 15 ein Bohren überhaupt in befriedigender Zeit ermöglicht, denn die Umfangsgeschwindigkeit des Schleifmittels 25 am Ort der Zylinderachse ist gleich null.

Wie anhand des Beispiels der 7 weiterhin schematisch gezeigt, können auch sehr dünnwandige Strukturen in Glas oder Glaskeramik hergestellt werden, da aufgrund der Laufruhe der Werkzeugkrone 1 Beschädigungen, insbesondere Risse an der Wandung 332 beim Einfügen der Vertiefung 33 vermieden werden. Auch vermeidet dies ein Verlaufen der Werkzeugkrone 1. So kann der minimale Abstand der Wandung 332 einer Vertiefung 33 zu einer Oberfläche des Glas- oder Glaskeramikelements 30 höchstens 15 Millimeter, bevorzugt höchstens 10 Millimeter betragen. Dieser Abstand kann beispielsweise der Abstand zu einer Außenfläche des Glas- oder Glaskeramikelements 30 sein, also beispielsweise der Abstand der Wandung 332 der in 7 am weitesten unten dargestellten Vertiefung 33 zur Seitenfläche 333 des Glas- oder Glaskeramikelements 30.

Dünne Wände können auch, wie ebenfalls beispielhaft und schematisch in 7 gezeigt, zwischen zwei benachbarten Vertiefungen 33 hergestellt werden. Ohne Beschränkung auf das Ausführungsbeispiel ist daher in Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, dass mehrere, vorzugsweise nebeneinander verlaufende eingeschliffene Vertiefungen 33 vorhanden sind, wobei der minimale Abstand zwischen den Wandungen 332 zweier benachbarter Vertiefungen höchstens 15 Millimeter, bevorzugt höchstens 10 Millimeter beträgt. In einem praktischen Ausführungsbeispiel konnte bei einer Tiefe der Vertiefungen 33 von 320 Millimetern eine Wandstärke von nur 5 Millimetern in einem Zerodur-Glaskeramikblock verifiziert werden.

Bedingt durch die bevorzugte Ausbildung der Stirnseite der Werkzeugkrone 1, bei welcher die zentrale Schleiffläche 15, die Stirnfläche des hohlzylindrischen Teils des Schleifkörpers und die Schleifflächen an dem oder den Stegen auf einer Ebene weist die Vertiefung 33 vorzugsweise, wie auch bei dem dargestellten Beispiel, eine ebene Bodenfläche 331 auf.

8 zeigt als Ausführungsbeispiel eine typische Querschnittform einer Vertiefung 33. Der Querschnitt hat die Form eines Quadrats oder Rechtecks mit abgerundeten Ecken.

Die Wandung 332 der Vertiefung 33 weist kurze gerade verlaufende Wandabschnitte 335 auf, welche durch kreisförmig gebogene Wandabschnitte 336 miteinander verbunden sind. In einem praktischen Ausführungsbeispiel wurde eine Vertiefung 33 mit einem Radius der gebogenen Wandabschnitte 336 von 19 Millimetern und geraden Wandabschnitten einer Breite von 5 Millimetern erzeugt. Diese Querschnittform entspricht der in 8 Form. Bei einer Tiefe der Vertiefung 33 von 320 Millimetern ergibt sich ein Verhältnis von Tiefe zu minimalem Radius von 320/19 = 16,8.

9 zeigt eine fotografische Aufnahme eines erfindungsgemäßen Glas- oder Glaskeramikelements 30. Im Speziellen handelt es sich hier um einen Block aus Zerodur-Glaskeramik. In diesen Block ist eine Vertiefung 33 eingefügt. Um die Vertiefung 33 im Glaskeramikblock sichtbar zu machen, ist die Seitenfläche 333 im Bereich der Vertiefung 33 mit Öl bestrichen.

Der mit Öl versehene Bereich der Oberfläche ist nun klar durchscheinend. Die Vertiefung 33 weist eine Querschnittform entsprechend dem in 8 gezeigten Ausführungsbeispiel auf. Am Ende der Vertiefung 33 in der Nähe der Bodenfläche 331 sind zwei Seitenkanäle 38 eingefügt. Auch diese Seitenkanäle 38 wurden mit der erfindungsgemäßen Werkzeugkrone eingefügt, im Speziellen nicht durch Ausfräsen, sondern durch Bohren.

Es ist demgemäß allgemein auch möglich, miteinander kommunizierende Vertiefungen, welche im Inneren des Glas- oder Glaskeramikelements aufeinanderstoßen, herzustellen.

Die Erfindung ist nicht auf die lediglich beispielhaften Ausführungsformen der Erfindung beschränkt, sondern kann im Rahmen des Gegenstandes der nachfolgenden Ansprüche vielfach variiert werden. Insbesondere können die Merkmale einzelner Ausführungsbeispiele auch miteinander kombiniert werden. Anwendung findet die Erfindung unter anderem, um leichte stabile Glaskeramik-Träger herzustellen. Solche Glaskeramik-Träger können in der Halbleiter-Fertigung bei der Belichtung von Halbleiter-Wafern oder als Spiegelträger für Teleskope eingesetzt werden. Demgemäß betrifft die Erfindung auch einen Glaskeramik-Träger mit zumindest einer erfindungsgemäßen Vertiefung.

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• DE 3534426 C1 [0002]
• EP 2489488 A1 [0003]
• EP 06417 A1 [0005]