Terpolymer resist composition

20-08-1986 дата публикации

Номер:

EP0089405B1

Автор: Barbara Dianne Grant, Carlton Grant Willson, Lester Arlyn Pederson, Ying Ying Cheng

Принадлежит: International Business Machines Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/03 G03F7/039

IPC - классификация

C C0 C08 C08F C08F2 C08F26 C08F261 C08F261/C08F261/0 C08F261/02 C08F8 C08F8/C08F8/0 C08F8/00 C08G C08G7 C08G75 C08G75/C08G75/2 C08G75/22

Получить PDF