ナノ結晶カーボン自立薄膜の製造方法

01-11-2017 дата публикации

Номер:

JP6224573B2

Автор: ステファンサデルカシム, ステファンサデルカシム, ストヤノフダネフラドスティン, ストヤノフダネフラドスティン, ブイスバート

Принадлежит: FEI Co

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C01 C01B C01B3 C01B32 C01B32/C01B32/2 C01B32/20 C01B32/205 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/2 H01J2237/26 H01J2237/261 H01J2237/2614 H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/311 H01J2237/3114 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/02 H01J37/2 H01J37/20 H01J37/22 H01J37/26 H01J37/3 H01J37/31

IPC - классификация

C C0 C01 C01B C01B3 C01B32 C01B32/C01B32/2 C01B32/20 C01B32/205 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/20

Получить PDF