Film forming device by laser light

31-03-1989 дата публикации

Номер:

JPS6487767A

Автор: Akira Murase, Junichi Kinoshita, Minoru Yamada, Mitsuo Sasaki, Suguru Nakamura

Принадлежит: Toshiba Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H1 H10 H10N H10N6 H10N60 H10N60/H10N60/0 H10N60/02 H10N60/026 H10N60/0268