Способ изготовления изделий из тугоплавких материалов
1 Изобретение относятся к области изготовления металлокерамических изделий из .тугоплавких .материалов.
Известен способ изготовления изделий из тугоплавких материалов, включающий покрытие
графитовой основы, повторяющей форму изделия, слоем углеродосодержащего связующего
, нанесение порошкообразного кремния и последующую термическую обработ1ку с образованием
на Поверхности графитовой основы карбида металла. При этом отмечается, что
графитовая основа, на которую наносят тугоплавкий материал, используется вместе с основным
тугоплавким материалом в тяжелых эксплуатационных условиях. Это снижает эксплуатационные
характеристики получаемых изделий. Кро.ме того, отмечается трудоемкость технологических операций. Предложенный способ отличается от известного тем, что для упрощения технологии и повыщения
эксплуатационных свойств получаемых изделий на графитовую основу наносят
слой кремния, затем осаждают тугоплавкий материал, нагревают основу с нанесенными
слоями до температуры плавления кремния, пропитывают им графитовую основу и отделяют
слой тугоплавкого материала в форме получаемого изделия. На графитовую основу, повторяющую форму получаемого изделия, наносят слой кремния за счет реакции термического разложения моносилана или водородного восстановления тетрахлорида
кремния или трихлорсилана. Сверху полученного слоя методом химического осаждения или вакуумного напыления наносят слой тугоплавкого материала при температуре
ниже температуры плавления кремния, затем температуру повыщают до температуры плавления
Кремния, который, расплавляясь, впитывается в графит. При этом между графитом
и слоем тугоплавкого материала образуется зазор, величина которого равна толщине слоя
кре.мния. Изделие из тугоплавкого материала сни.мают с графитовой формы. Пример. Для получения тигля из карбида кремния на графит, выполненный в форме
тигля, наносят слой кремния толщиной 100 мк путем термического разложения моносилана
при 800° С и расходе моносилана 0,1- 0,4 . Затем к моносилану добавляют
метан в соотнощении 1 : 6 и повыщают температуру до 1100-1200°С для образования слоя
карбида кремния толщиной до 1 мм. Затем температуру повышают до температуры плавления
кремния, который после расплавления впитывается в графит, а слой тугоплавкого
материала, являющийся готовым изделием, отделяют от графита.
Способ отличается простотой и позволяет получать изделия из тугоплавких материалов для полуйроводнйковой металлургии (тигли, лодочки) прецизионного литья (трубки, чехлы
для термопар), иаконечники мундштуков для сварки, пескоструйные сопла, фильеры, матрицы
для протяжки стержней из абразивных материалов . Предмет изобретения Способ изготовления изделий из тугопла1вких материалов, включающий осаждение материала на графитовую основу, повторяющую фор му готового изделия, отличающийся тем, что,
с целью упрощения технологии изготовления и Повышения экоплуатационных свойств изделий
, графитовую основу .покрывают слоем кремния, затем осаждают тугоплавкий материал
, нагревают до температуры плавления кремния, пропитывают им графитовую основу
и отделяют от основы слой тугоплавкого материала Б форме готового изделия.