Lens arrangement comprising a laterally displaceable optical axis for particle beams

16-09-2003 дата публикации

Номер:

TW200304161A

Автор: Heiko Müller, Maximilian Haider, Stephan Uhlemann

Принадлежит: CEOS GmbH, Leo Elektronenmikroskopie GmbH

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/317 H01J2237/3175 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/145 H01J37/15 H01J37/153

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/145 H01J37/15 H01J37/153

Получить PDF