HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH FLATNESS CONTROL

11-09-2014 дата публикации

Номер:

US20140251214A1

Автор: CUVALCI OLKAN, TZU GWO-CHUAN, YUAN XIAOXIONG

Принадлежит: Applied Materials, Inc.

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01K G01K3 G01K3/G01K3/1 G01K3/10 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/68 H01L21/683

IPC - классификация

G G0 G01 G01K G01K3 G01K3/G01K3/1 G01K3/10

Получить PDF