SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

25-08-2022 дата публикации

Номер:

US20220270885A1

Автор: Aiso Fumiki, FUJII Motoki, Kubota Hiroshi

Принадлежит: Kioxia Corporation

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C01 C01B C01B5 C01B5/C01B5/0 C01B5/02 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/30 H01L21/300 H01L21/3003 H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6701 H01L21/67017

IPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D5 B01D59 B01D59/B01D59/0 B01D59/06 B01D59/3 B01D59/32 C C0 C01 C01B C01B5 C01B5/C01B5/0 C01B5/02

Получить PDF