Micro-electromechanical resonance device with periodic structure

03-07-2012 дата публикации

Номер:

US8212324B2

Автор: Bertrand Dubus, Gregory Caruyer, Karim Segueni, Pascal Ancey

Принадлежит: STMICROELECTRONICS SA

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H03 H03H H03H9 H03H9/H03H9/0 H03H9/02 H03H9/023 H03H9/0233 H03H9/02338 H03H9/024 H03H9/0243 H03H9/02433 H03H9/2 H03H9/24 H03H9/243 H03H9/2436 H03H9/246 H03H9/2463

IPC - классификация

G G0 G04 G04C G04C3 G04C3/G04C3/0 G04C3/08 H H0 H03 H03H H03H9 H03H9/H03H9/2 H03H9/24 H03H9/246 H03H9/2463 H03H9/4 H03H9/48

Получить PDF