Chemical mechanical polishing slurry compositions, methods of preparing the same and methods of using the same

20-08-2013 дата публикации

Номер:

US8512593B2

Автор: In Kyung Lee, Jae Hoon Choung

Принадлежит: Cheil Industries Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B0 B01 B01J B01J1 B01J13 B01J13/B01J13/0 B01J13/00 B01J13/003 B01J13/0034 B01J13/004 B01J13/0047 C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/02

IPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F3 C23F3/C23F3/0 C23F3/00 C23F3/04 G G2 G21 G21C G21C3 G21C3/G21C3/4 G21C3/48

Получить PDF