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24-03-2017 дата публикации

SLURRY FOR POLISHING ALUMINIUM-CONTAINING SUBSTRATES

Номер: KR101719787B1
Автор: KIM, MOON SUNG, LEE, JONG HOON, PARK, CHUL JIN, LEE, SEOK HOON, KIM, GYU SU, PARK, YONG HO, KWAK, NA RAE, JU, EUN HYE
Принадлежит: ACE NANOCHEM CO., LTD.

The present invention relates to a slurry for polishing aluminium-containing substrates. To this end, the slurry for polishing aluminium-containing substrates comprises: a colloidal silica polishing particle; an oxidizer; and at least one additive selected from the group consisting of a polishing accelerator, an anti-defection agent, a surface improver, and a pH regulator. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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Номер записи: 1
24-03-2023 дата публикации

초고순도 콜로이달 실리카 입자의 제조방법 및 그에 의해 제조된 초고순도 콜로이달 실리카 입자

Номер: KR102513110B1
Автор: 김동현, 김문성, 박철진, 김규수, 박용호, 최용성
Принадлежит: (주)에이스나노켐

... 본 발명은, 초고순도 콜로이달 실리카 입자의 제조방법 및 그에 의해 제조된 초고순도 콜로이달 실리카 입자에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 초고순도 콜로이달 실리카 입자의 제조방법은, 염기성 물질을 준비하는 단계; 상기 염기성 물질에 실리콘 알콕사이드를 적하하여 반응용액을 준비하는 단계; 상기 반응용액을 숙성하는 단계; 상기 숙성된 반응용액을 가열하는 단계; 및 상기 가열된 반응용액을 감압 농축기를 이용하여 농축하는 단계;를 포함한다.

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Номер записи: 2
18-11-2015 дата публикации

RECYCLING METHOD OF AQUEOUS HYDROCHLORIC ACID GENERATED IN SILICA SOL MANUFACTURING PROCESS USING ION EXCHANGE METHOD

Номер: KR0101570273B1
Автор: 이종훈, 김문성, 김규수, 곽나래, 박용호, 이석훈
Принадлежит: (주)에이스나노켐

... 본 발명은 콜로이달 실리카의 제조 방법에 관한 것으로서, 양이온 교환 수지탑에 규산소다를 통과시켜 활성화된 실리식산을 제조하는 단계; 및 상기 양이온 교환 수지탑에 재생제를 통과시켜 상기 양이온 교환 수지를 재생하는 단계;를 포함하고, 상기 실리식산 제조 단계 및 상기 양이온 교환 수지 재생 단계를 포함하는 공정 사이클을 다수 회 반복하는 것일 수 있다.

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Номер записи: 3