23-06-2016 дата публикации
Номер: DE112012001959B4
Transparenter Photodetektor (100, 200, 300, 500, 600), aufweisend: ein Substrat (120, 220, 320, 520, 620); einen Wellenleiter (102, 202, 302, 502, 602) auf dem Substrat (120, 220, 320, 520, 620); eine bewegliche Struktur (106, 206, 306, 506, 606), die in Bezug auf das Substrat (120, 220, 320, 520, 620) beweglich ist und in der Nähe (104, 204, 304, 504) des Wellenleiters (102, 202, 302, 502, 602) liegt; und ein Silicium-Nanodraht-Array (108, 208, 308, 508, 608), das in Bezug auf das Substrat (120, 220, 320, 520, 620) aufgehängt ist und mit der beweglichen Struktur mechanisch verbunden ist, wobei das Silicium-Nanodraht-Array (108, 208, 308, 508, 608) eine Vielzahl von Nanodrähten mit einem Piezowiderstand aufweist; wobei in Betrieb sich im Wellenleiter (102, 202, 302, 502, 602) ausbreitendes Licht (122, 222, 322, 522, 622) zu einer optischen Kraft an der beweglichen Struktur führt, was zudem zu einer mechanischen Beanspruchung an den Nanodrähten führt, um eine Änderung im elektrischen Widerstand ...
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