28-05-2021 дата публикации
Номер: RU2019138325A
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) RU (11) (13) 2019 138 325 A (51) МПК C23C 14/00 (2006.01) ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ (12) ЗАЯВКА НА ИЗОБРЕТЕНИЕ (21)(22) Заявка: 2019138325, 27.04.2018 (71) Заявитель(и): СЭН-ГОБЭН КОУТИНГ СОЛЮШНЗ (FR) Приоритет(ы): (30) Конвенционный приоритет: 28.04.2017 FR 1753800 (85) Дата начала рассмотрения заявки PCT на национальной фазе: 28.11.2019 R U (43) Дата публикации заявки: 28.05.2021 Бюл. № 16 (72) Автор(ы): МАГДЕНКО-САВУРЕ, Любовь (FR), БИЛЛЬЕРЕ, Доминик (FR), МАТЕ, Кризалиа (FR), МАРЛЕН, Самюэль (FR) (86) Заявка PCT: (87) Публикация заявки PCT: WO 2018/197823 (01.11.2018) A Адрес для переписки: 129090, Москва, ул. Б. Спасская, 25, стр. 3, ООО "Юридическая фирма Городисский и Партнеры" R U (57) Формула изобретения 1. Мишень для катодного распыления, полученная, с одной стороны, из оксида, по меньшей мере, одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и, с другой стороны, частиц металла, включенного в группу, образованную серебром, золотом, платиной, медью и никелем, или частиц сплава, образованного, по меньшей мере, из двух таких металлов, причем атомное отношение M/Me в указанной мишени составляет меньше, чем 1,5, где M означает все атомы элементов из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и Me означает все атомы металлов группы, образованной серебром, золотом, платиной, медью и никелем. 2. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой атомное отношение M/Me составляет меньше, чем 1,2. 3. Мишень по любому из предыдущих пунктов, в которой атомное отношение M/Me составляет меньше, чем 1,0. 4. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой атомное отношение M/Me составляет меньше, чем 0,8. 5. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой M означает один элемент. 6. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой указанный оксид представляет собой оксид титана формулы TiOx с x≤2. 7. Мишень по предыдущему пункту, в которой указанный оксид представляет собой Стр.: 1 A ...
Подробнее