27-03-2018 дата публикации
Номер: KR101842817B1
본 발명은 기판과, 기판 상에 형성된 밀봉 영역을 획정하는 적어도 1개의 프레임 형상의 밀봉재로 이루어지는 기밀 밀봉 패키지 부재에 있어서, 밀봉재는, 순도가 99.9중량% 이상이며, 평균 입경이 0.005㎛∼1.0㎛인 금, 은, 팔라듐, 백금으로부터 선택되는 1종 이상의 금속 분말이 소결하여 이루어지는 소결체로 형성된 것이며, 또한, 밀봉 영역으로부터 영역 외를 향한 임의 단면에 대하여, 밀봉재의 상단부 길이가 하단부 길이보다도 짧게 되어 있는 기밀 밀봉 패키지 부재이다. 밀봉재의 단면 형상으로서는, 일정 높이를 갖는 기초부와, 기초부로부터 돌출되는 적어도 1개의 산부를 포함하는 것이나, 밀봉재의 하단부 길이를 저변으로 하는 대략 삼각 형상의 산부로 되는 것 등을 들 수 있다. 본 발명은 금속 분말 소결체를 밀봉재로서 이용한 기밀 밀봉 패키지 부재이며, 기밀 밀봉 시의 하중을 저감하면서도 충분한 밀봉 효과를 발휘할 수 있는 것이다. The present invention provides a hermetic seal package member comprising a substrate and at least one frame-shaped seal member defining a seal region formed on the substrate, wherein the seal member has a purity of 99.9 wt% or more, an average particle diameter of 0.005 mu m to 1.0 mu m And the length of the upper end portion of the sealing material is shorter than the length of the lower end portion of the sintered body formed by sintering at least one metal powder selected from gold, silver, palladium, and platinum. Tight sealed package member. Examples of the cross-sectional shape of the sealing material include a base portion having a predetermined height and at least one protruding portion protruding from the base portion, and an approximately triangular protruding portion having a bottom end length of the sealing material. The present invention is a hermetically sealed package member using a metal powder sintered body as a sealing material, and it is possible to exhibit a sufficient sealing effect while reducing the load during hermetic sealing.
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