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20-09-2018 дата публикации

도포 현상 장치, 도포 현상 방법 및 기억 매체

Номер: KR0101900771B1
Автор: 구로이와 게이조오, 오가타 구니에, 마츠오카 노부아키, 다사키 노부유키, 미야타 아키라
Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

... 본 발명은 처리 블록에서 기판에 도포막을 형성한 후, 이 기판을 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와, 기판의 반송 경로에서의, 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와, 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 정지 시간의 길이에 따른, 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달했는지 여부를 감시하고, 소정의 처리 매수에 도달한 후에 임시 적재부의 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고 있다.

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Номер записи: 1
21-09-2018 дата публикации

도포 현상 장치, 도포 현상 방법 및 기억 매체

Номер: KR1020180104780A
Автор: 구로이와 게이조오, 오가타 구니에, 마츠오카 노부아키, 다사키 노부유키, 미야타 아키라
Принадлежит:

... 본 발명은 처리 블록에서 기판에 도포막을 형성한 후, 이 기판을 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와, 기판의 반송 경로에서의, 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와, 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 정지 시간의 길이에 따른, 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달했는지 여부를 감시하고, 소정의 처리 매수에 도달한 후에 임시 적재부의 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고 있다.

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Номер записи: 2
28-05-2018 дата публикации

기판 처리 장치, 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체, 경보 표시 방법 및 기판 처리 장치의 점검 방법

Номер: KR0101861859B1
Автор: 오가따 구니에, 구로이와 게이조오, 마쯔오까 노부아끼, 다사끼 노부유끼, 미야따 아끼라, 도오끼 유이찌
Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

... 본 발명의 과제는, 기판 처리 장치에 이상이 발생한 경우의 점검 작업을, 신속하게 오류 없이 행하는 것이다. 복수의 처리 유닛과, 각 처리 유닛에서의 이상 발생을 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치는, 이상 발생의 경보의 내용과 당해 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 관련시킨 정보와, 점검 대상 부위를, 이상이 발생되어 있지 않은 다른 부위로부터 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기의 정보와, 점검 대상 부위의 배치 및 아이솔레이트 시의 조작 대상 기기의 배치와, 아이솔레이트 시의 조작 대상 기기의 조작 수순을 기억하는 기억 수단과, 기억 수단의 정보에 기초하여, 이상 발생에 의해 점검이 필요해지는 부위를 아이솔레이트하기 위해 조작되는 기기를 특정하고, 또한 특정된 기기의 배치를 특정하여 표시 수단에 출력하는 이상 특정 수단과, 기억 수단의 정보에 기초하여, 이상 특정 수단에서 특정된 기기의 조작 수순을 특정하여 표시 수단에 출력하는 조작 수순 특정 수단을 갖고 있다.

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Номер записи: 3