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05-03-2025 дата публикации

유도결합 플라즈마 처리장치

Номер: KR20250030618A
Автор: 김우현, 유광종, 최재훈, 노덕희, 김정수, 김동욱
Принадлежит:

... 본 발명은 유도결합 플라즈마 처리장치에 관한 것이다. 본 발명은, 상측에 개구부가 형성된 챔버본체(100)와; 챔버본체(100)와 함께 처리공간(S)을 형성하도록 개구부를 복개하는 하나 이상의 윈도우(210)와, 윈도우(210)를 지지하는 지지프레임(220)을 포함하는 윈도우조립체(200)와; 챔버본체(100)에 설치되어 기판(10)을 지지하는 기판지지부(300)와; 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스분사부와; 윈도우조립체(200)의 상부에 기판(10)의 평면형상에 대응되는 기준평면영역에 설치되어 처리공간(S)에 유도전계를 형성하는 안테나부(500)를 포함하며, 안테나부(500)는, 기준평면영역의 꼭지점에 인접하여 배치되어 코너 부분의 플라즈마 밀도를 제어하는 하나 이상의 코너 안테나군(700)을 포함하며, 코너 안테나군(700)은, 기준평면영역의 중심으로부터 꼭지점 방향으로 간격을 두고 배치되고 전류방향이 동일하도록 전원이 인가되며 판면의 제1법선(Lp)이 윈도우(210)의 상면과 평행을 이루는 복수의 하측안테나부재(711, 712, 713)들과; 윈도우(210)에 대하여 하측안테나부재(711, 712, 713)들보다 높게 위치되고, 하측안테나부재(711, 712, 713)들의 전류방향과 반대방향으로 전류가 흐르도록 전원이 인가되며 판면의 제2법선(Lh)이 제1법선(Lp)과 0~90°의 각도를 이루는 하나 이상의 상측안테나부재(731, 732)들을 포함하는 유도전계 플라즈마 처리장치를 개시한다.

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Номер записи: 1
15-11-2022 дата публикации

유도결합 플라즈마 처리장치

Номер: KR20220151461A
Автор: 김우현, 유광종, 노덕희, 기동현, 김영필, 김정수, 한창훈
Принадлежит:

... 본 발명은 유도결합 플라즈마 처리장치에 관한 것이다. 본 발명은, 평면형상이 직사각형 형상을 가지며, 상측에 개구부가 형성된 챔버본체(100)와; 상기 챔버본체(100)와 함께 처리공간(S)을 형성하도록 상기 개구부를 복개하는 하나 이상의 윈도우(210)와, 상기 윈도우(210)를 지지하는 지지프레임(220)을 포함하는 윈도우조립체(200)와; 상기 챔버본체(100)에 설치되어 직사각형 기판(10)을 지지하는 기판지지부(300)와; 상기 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스분사부와; 상기 윈도우조립체(200)의 상부에 상기 기판(10)의 직사각형 형상에 대응되는 기준 직사각형 영역에 설치되어 상기 처리공간(S)에 유도전계를 형성하는 안테나부(500)를 포함하며, 상기 안테나부(500)는, 상기 기준 직사각형 영역의 꼭지점에 인접하여 배치되어 코너 부분의 플라즈마 밀도를 제어하는 4개의 코너 안테나군(520)과; 상기 기준 직사각형 영역의 변 및 상기 4개의 코너 안테나군(520)과 간격을 두고 배치되는 측방 안테나군(510)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유도전계 플라즈마 처리장치를 개시한다.

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Номер записи: 2