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17-11-2016 дата публикации

ＥＵＶ 파장 범위용 미러, 이러한 미러를 포함하는 마이크로리소그래피용 대물부, 및 이러한 투영 대물부를 포함하는 마이크로리소그래피용 투영 노광 장치

Номер: KR0101677309B1
Автор: 파울 한스-요헨, 브라운 게어하르트, 미구라 자샤, 도독 아우렐리안, 차첵 크리스토프
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하

... 본 발명은, 기판(S)과 층 배열체를 포함하는 EUV 파장 범위용 미러(1a; 1b; 1c)에 있어서, 상기 층 배열체는 개별 층들의 적어도 2개의 주기(P2, P3)의 주기적 연속체로 각각 구성되는 복수의 층 서브시스템들(P'', P''')을 포함하고, 상기 주기(P2, P3)는 고 굴절률 층(H'', H''')과 저 굴절률 층(L'', L''')에 대해 다른 재료들로 이루어지는 2개의 개별 층들을 포함하고 각각의 층 서브시스템(P'', P''') 내에 인접한 층 서브시스템의 주기의 두께로부터 어긋나는 일정한 두께(d2, d3)를 가지고, 상기 기판(S)으로부터 가장 멀리 있는 상기 층 서브시스템(P''')의 첫째 고 굴절률 층(H''')이 상기 기판(S)으로부터 둘째로 가장 멀리 있는 상기 층 서브시스템(P'')의 마지막 고 굴절률 층(H'')과 직접 연속되도록, 및/또는 상기 기판(S)으로부터 가장 멀리 있는 상기 층 서브시스템(P''')이 상기 기판(S)으로부터 둘째로 가장 멀리 있는 상기 층 서브 시스템(P'')용의 주기(P2)의 개수(N2)보다 큰 주기(P3)의 개수(N3)를 갖도록, 상기 기판(S)으로부터 둘째로 가장 멀리 있는 층 서브시스템(P'')은 일련의 주기(P2)를 갖는 것을 특징으로 하는 EUV 파장 범위용 미러(1a; 1b; 1c)에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이러한 미러(1a; 1b; 1c)를 포함하는 마이크로리소그래피용 투영 대물부, 이러한 투영 대물부를 포함하는 마이크로리소그래피용 투영 노광 장치에 관한 것이다.

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Номер записи: 1
14-07-2016 дата публикации

Projection exposure system comprising a catadioptric projection objective with intermediate images

Номер: KR0101639964B1
Автор: 도독 아우렐리안, 울리히 빌헬름, 에플레 알렉산더
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

... 투사 대물렌즈의 물체평면 상에 배열된 패턴을 투사 대물렌즈의 이미지평면 상에 결상하기 위한 카타디옵트릭 투사 대물렌즈로서, 물체필드를 실 제1중간이미지로 결상하기 위한 제1대물렌즈부분과, 제1대물렌즈부분으로부터의 방사를 이용하여 실 제2중간이미지를 생성하기 위한 제2대물렌즈부분과, 이미지평면 상에 실 제2중간이미지를 결상하기 위한 제3대물렌즈부분을 구비한다. 제2대물렌즈부분은 오목거울을 가진 카타디옵트릭 대물렌즈부분이다. 물체평면으로부터의 방사를 오목거울 방향으로 편향하기 위한 제1꺽음거울과 꺽음거울로부터의 방사를 이미지평면 방향으로 편향하기 위한 제2꺽음거울이 구비된다. 파지티브 굴절력의 필드렌즈가 제1중간이미지 및/또는 제1꺽음거울과 오목거울 사이에 제1중간이미지의 필드에 인접한 영역에 배치된다.

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Номер записи: 2
01-09-2016 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR0101653514B1
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 3
13-03-2017 дата публикации

중간이미지를 갖는 카타디옵트릭 투사 대물렌즈

Номер: KR1020170028451A
Автор: 도독 아우렐리안, 울리히 빌헬름, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 투사 대물렌즈의 물체평면 상에 배열된 패턴을 투사 대물렌즈의 이미지평면 상에 결상하기 위한 카타디옵트릭 투사 대물렌즈로서, 물체필드를 실 제1중간이미지로 결상하기 위한 제1대물렌즈부분과, 제1대물렌즈부분으로부터의 방사를 이용하여 실 제2중간이미지를 생성하기 위한 제2대물렌즈부분과, 이미지평면 상에 실 제2중간이미지를 결상하기 위한 제3대물렌즈부분을 구비한다. 제2대물렌즈부분은 오목거울을 가진 카타디옵트릭 대물렌즈부분이다. 물체평면으로부터의 방사를 오목거울 방향으로 편향하기 위한 제1꺽음거울과 꺽음거울로부터의 방사를 이미지평면 방향으로 편향하기 위한 제2꺽음거울이 구비된다. 파지티브 굴절력의 필드렌즈가 제1중간이미지 및/또는 제1꺽음거울과 오목거울 사이에 제1중간이미지의 필드에 인접한 영역에 배치된다.

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Номер записи: 4
01-02-2016 дата публикации

MICROLITHOGRAPHY PROJECTION OBJECTIVE

Номер: KR0101590743B1
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 5
09-07-2018 дата публикации

중간이미지를 갖는 카타디옵트릭 투사 대물렌즈

Номер: KR1020180078354A
Автор: 도독 아우렐리안, 울리히 빌헬름, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 투사 대물렌즈의 물체평면 상에 배열된 패턴을 투사 대물렌즈의 이미지평면 상에 결상하기 위한 카타디옵트릭 투사 대물렌즈로서, 물체필드를 실 제1중간이미지로 결상하기 위한 제1대물렌즈부분과, 제1대물렌즈부분으로부터의 방사를 이용하여 실 제2중간이미지를 생성하기 위한 제2대물렌즈부분과, 이미지평면 상에 실 제2중간이미지를 결상하기 위한 제3대물렌즈부분을 구비한다. 제2대물렌즈부분은 오목거울을 가진 카타디옵트릭 대물렌즈부분이다. 물체평면으로부터의 방사를 오목거울 방향으로 편향하기 위한 제1꺽음거울과 꺽음거울로부터의 방사를 이미지평면 방향으로 편향하기 위한 제2꺽음거울이 구비된다. 파지티브 굴절력의 필드렌즈가 제1중간이미지 및/또는 제1꺽음거울과 오목거울 사이에 제1중간이미지의 필드에 인접한 영역에 배치된다.

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Номер записи: 6
01-08-2017 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR1020170088445A
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 7
28-07-2017 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR0101763092B1
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 8
07-09-2016 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR1020160105921A
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 9
24-11-2017 дата публикации

중간이미지를 갖는 카타디옵트릭 투사 대물렌즈

Номер: KR1020170129271A
Автор: 도독 아우렐리안, 울리히 빌헬름, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 투사 대물렌즈의 물체평면 상에 배열된 패턴을 투사 대물렌즈의 이미지평면 상에 결상하기 위한 카타디옵트릭 투사 대물렌즈로서, 물체필드를 실 제1중간이미지로 결상하기 위한 제1대물렌즈부분과, 제1대물렌즈부분으로부터의 방사를 이용하여 실 제2중간이미지를 생성하기 위한 제2대물렌즈부분과, 이미지평면 상에 실 제2중간이미지를 결상하기 위한 제3대물렌즈부분을 구비한다. 제2대물렌즈부분은 오목거울을 가진 카타디옵트릭 대물렌즈부분이다. 물체평면으로부터의 방사를 오목거울 방향으로 편향하기 위한 제1꺽음거울과 꺽음거울로부터의 방사를 이미지평면 방향으로 편향하기 위한 제2꺽음거울이 구비된다. 파지티브 굴절력의 필드렌즈가 제1중간이미지 및/또는 제1꺽음거울과 오목거울 사이에 제1중간이미지의 필드에 인접한 영역에 배치된다.

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Номер записи: 10
22-08-2018 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR1020180094133A
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 11
08-07-2015 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR1020150080000A
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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Номер записи: 12
25-11-2016 дата публикации

ＥＵＶ 파장 범위를 위한 미러, 이러한 미러를 포함하는 마이크로리소그래피를 위한 투영 대물부 그리고 이러한 투영 대물부를 포함하는 마이크로리소그래피를 위한 투영 노광 장치

Номер: KR0101679893B1
Автор: 파울 한스-요헨, 브라운 게르하르트, 미구라 자샤, 도독 아우렐리안, 착첵 크리스토프
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하

... 본 발명은, 기판 상에 가해지는 층 배열부를 포함하는 EUV 파장 범위를 위한 미러로서, 층 배열부는 개별 층의 주기적인 순서의 적어도 1개의 주기부(P2, P3)로 각각 구성되는 복수개의 층 서브시스템(P'', P''')을 포함하고, 주기부(P2, P3)는 고굴절률 층(H'', H''') 및 저굴절률 층(L'', L''')을 위한 상이한 재료로 구성되는 2개의 개별 층을 포함하고, 각각의 층 서브시스템(P'', P''') 내에서 인접한 층 서브시스템의 주기부의 두께로부터 벗어나는 일정한 두께(d2, d3)를 갖는, EUV 파장 범위를 위한 미러에 관한 것이다. 미러는 기판으로부터 가장 멀리 떨어진 층 서브시스템(P''')이 기판으로부터 두 번째로 멀리 떨어진 층 서브시스템(P'')에 대한 주기부(P2)의 개수(N2)보다 큰 주기부(P3)의 개수(N3)를 갖고 및/또는 기판으로부터 가장 멀리 떨어진 층 서브시스템(P''')이 기판으로부터 두 번째로 멀리 떨어진 층 서브시스템(P'')의 고굴절률 층(H'')의 두께로부터 0.1 ㎚ 초과만큼 벗어나는 고굴절률 층(H''')의 두께를 갖는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 나아가 이러한 미러를 포함하는 마이크로리소그래피를 위한 투영 대물부에 그리고 이러한 투영 대물부를 포함하는 투영 노광 장치에 관한 것이다.

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Номер записи: 13
02-09-2015 дата публикации

중간이미지를 갖는 카타디옵트릭 투사 대물렌즈

Номер: KR1020150100941A
Автор: 도독 아우렐리안, 울리히 빌헬름, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 투사 대물렌즈의 물체평면 상에 배열된 패턴을 투사 대물렌즈의 이미지평면 상에 결상하기 위한 카타디옵트릭 투사 대물렌즈로서, 물체필드를 실 제1중간이미지로 결상하기 위한 제1대물렌즈부분과, 제1대물렌즈부분으로부터의 방사를 이용하여 실 제2중간이미지를 생성하기 위한 제2대물렌즈부분과, 이미지평면 상에 실 제2중간이미지를 결상하기 위한 제3대물렌즈부분을 구비한다. 제2대물렌즈부분은 오목거울을 가진 카타디옵트릭 대물렌즈부분이다. 물체평면으로부터의 방사를 오목거울 방향으로 편향하기 위한 제1꺽음거울과 꺽음거울로부터의 방사를 이미지평면 방향으로 편향하기 위한 제2꺽음거울이 구비된다. 파지티브 굴절력의 필드렌즈가 제1중간이미지 및/또는 제1꺽음거울과 오목거울 사이에 제1중간이미지의 필드에 인접한 영역에 배치된다.

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Номер записи: 14
15-07-2016 дата публикации

중간이미지를 갖는 카타디옵트릭 투사 대물렌즈

Номер: KR1020160085375A
Автор: 도독 아우렐리안, 울리히 빌헬름, 에플레 알렉산더
Принадлежит:

... 투사 대물렌즈의 물체평면 상에 배열된 패턴을 투사 대물렌즈의 이미지평면 상에 결상하기 위한 카타디옵트릭 투사 대물렌즈로서, 물체필드를 실 제1중간이미지로 결상하기 위한 제1대물렌즈부분과, 제1대물렌즈부분으로부터의 방사를 이용하여 실 제2중간이미지를 생성하기 위한 제2대물렌즈부분과, 이미지평면 상에 실 제2중간이미지를 결상하기 위한 제3대물렌즈부분을 구비한다. 제2대물렌즈부분은 오목거울을 가진 카타디옵트릭 대물렌즈부분이다. 물체평면으로부터의 방사를 오목거울 방향으로 편향하기 위한 제1꺽음거울과 꺽음거울로부터의 방사를 이미지평면 방향으로 편향하기 위한 제2꺽음거울이 구비된다. 파지티브 굴절력의 필드렌즈가 제1중간이미지 및/또는 제1꺽음거울과 오목거울 사이에 제1중간이미지의 필드에 인접한 영역에 배치된다.

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Номер записи: 15
20-08-2018 дата публикации

마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈

Номер: KR0101890082B1
Автор: 펠드만 하이코, 크라에메르 다니엘, 페린 장-클로드, 칼러 줄리안, 도독 아우렐리안, 카메노프 블라디미르, 콘라디 올라프, 그루너 토랄프, 오콘 토마스, 에플레 알렉산더
Принадлежит: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

... 물체면(object plane)에 배열된 패턴(pattern)을 이미지면(image plane)에 결상하기 위한 마이크로리소그래피 투영 대물 렌즈가 그러한 투영 대물 렌즈 내의 오류광 억제와 관련하여 기술된다.

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