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17-01-2023 дата публикации

금속 함유 포토레지스트 현상액 조성물, 및 이를 이용한 현상 단계를 포함하는 패턴 형성 방법

Номер: KR20230009292A
Автор: 허륜민, 문형랑, 이민영, 김민수, 김영권, 김재현, 우창수, 최정민, 고무현, 김정아, 도성안, 배상원, 한훈, 홍석구
Принадлежит:

... 유기 용매, 그리고 적어도 하나의 하이드록시기 (-OH)로 치환된, 7각 고리 화합물을 포함하고, 상기 7각 고리 화합물은 고리 내에 적어도 2개의 이중 결합을 갖는 것인, 금속 함유 포토레지스트 현상액 조성물, 및 이를 이용한 현상 단계를 포함하는 패턴 형성 방법을 제공한다.

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Номер записи: 1
25-10-2022 дата публикации

포토레지스트 조성물 및 반도체 장치의 제조 방법

Номер: KR20220143560A
Автор: 이홍준, 도성안, 홍석구, 권성지, 김종훈, 김수영, 최재희
Принадлежит:

... 보호기를 갖는 감광성 폴리머; 광산 발생제 (photoacid generator, PAG); 13.5 nm의 광 조사에 의하여 금속 이온 및 2차 전자를 생성할 수 있는 금속 전구체; 및 용매를 포함하는 포토레지스트 조성물이 제공된다. 본 발명의 포토레지스트 조성물을 이용하면 해상도가 우수하고 생산성이 향상되며 내식각성이 향상되는 효과가 있다.

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Номер записи: 2
17-01-2023 дата публикации

금속 함유 레지스트의 에지 비드 제거용 조성물, 및 이를 이용한 에지 비드 제거 단계를 포함하는 패턴 형성 방법

Номер: KR20230009291A
Автор: 이민영, 문형랑, 허륜민, 김민수, 김영권, 김재현, 우창수, 최정민, 고무현, 김정아, 도성안, 배상원, 한훈, 홍석구
Принадлежит:

... 유기 용매, 그리고 적어도 하나의 하이드록시기 (-OH)로 치환된, 7각 고리 화합물을 포함하고, 상기 7각 고리 화합물은 고리 내에 적어도 2개의 이중 결합을 갖는 것인, 금속 함유 레지스트의 에지 비드 제거용 조성물, 및 이를 이용한 에지 비드 제거 단계를 포함하는 패턴 형성 방법을 제공한다.

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Номер записи: 3
14-04-2016 дата публикации

PROCESS FOR PREPARING CARBON QUANTUM DOTS USING EMULSION

Номер: KR0101612514B1
Автор: 이시우, 권우성, 도성안
Принадлежит: 포항공과대학교 산학협력단

... 본 발명은 에멀젼(emulsion)을 이용해 균일한 크기의 탄소 양자점을 대량 제조하는 방법과 탄소 양자점의 물성을 조절하기 위해 탄소 구조 내에 다른 원소로 도핑하거나 표면을 기존과는 다른 특정의 화학적 작용기를 가지는 표면안정제로 치환시키는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 탄소 양자점 제조 방법은 대량 생산이 가능하고, 공정이 단순하며, 반응 수득률이 우수하고 크기 조절이 용이하다. 또한, 본 발명에 따르면, 크기가 균일하고 양자 수득률이 우수한 탄소 양자점을 합성할 수 있고, 발색단 구조를 변화시켜 기존 분자 발색단 또는 중금속 양자점 수준의 색 구현을 가능하게 한다.

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Номер записи: 4
24-12-2015 дата публикации

METHOD FOR PRODUCING CARBON QUANTUM DOTS USING EMULSION

Номер: KR1020150144219A
Автор: RHEE, SHI WOO, KWON, WOO SUNG, DO, SUNG AN
Принадлежит:

Provided are a method for mass-producing carbon quantum dots having a uniform size using emulsion, and a method for doping with other elements in the inside of a carbon structure or substituting the surface with a surface stabilizer having a different certain chemical functional group to control properties of the carbon quantum dots. The method for mass-producing carbon quantum dots in accordance with the present invention enables mass-production, simple processes, excellent reaction yields, and easy control of the size. In addition, according to the present invention, the carbon quantum dots having a uniform size and an excellent quantum yield can be synthesized, and colors can be embodied at the level of the conventional molecular chromophore or heavy metallic quantum dots by modifying a chromophore structure. COPYRIGHT KIPO 2016 (AA) Surface stabilizing agent solution (BB) Reactant solution (CC) Emulsification (DD) Agitation (EE) D_E∝ volume of the reactant solution/volume of the surface ...

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Номер записи: 5