Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 2. Отображено 2.
18-11-2015 дата публикации

METHOD FOR MANUFACTURING RESISTIVE OXIDE THIN FILM USING PLATING AND BOLOMETER

Номер: KR1020150128080A
Автор: CHO, JEONG HO, JEONG, YOUNG HUN, NAM, JOONG HEE, YUN, JI SUN, LE DUC THANG
Принадлежит:

The present invention relates to a method for manufacturing a resistive oxide thin film using plating and a bolometer. The method comprises the following steps of: producing a reactive substance solution by dissolving chloride including metal in deionized water; preparing an oxidation solution including an oxidizer oxidizing the metal; allowing the reactive substance solution and the oxidation solution into a plating chamber; and plating an oxide layer of the metal on a substrate provided into the plating chamber, and further comprises a step of performing a subsequent heat treatment on the resistive oxide thin film in an oxidizing atmosphere or an inert atmosphere after the step of plating. Accordingly, the resistive oxide thin film has a low specific resistance, a high TCR value, and a low 1/f noise characteristic. The bolometer has excellent precision and improved temperature stability since a phase of the resistive oxide thin film is stable in an operation temperature range by using ...

Подробнее
Номер записи: 1
03-02-2016 дата публикации

Method for manufacturing resistive oxide thin film using Plating and Bolometer

Номер: KR0101591485B1
Автор: 조정호, 정영훈, 남중희, 윤지선, 르덕탕
Принадлежит: 한국세라믹기술원

... 본 발명은 금속을 포함하는 염화물을 탈이온수에 용해하여 반응물질용액을 제조하는 단계, 상기 금속을 산화시키는 산화제를 포함하는 산화용액을 준비하는 단계, 상기 반응물질용액 및 산화용액을 플레이팅 챔버 내로 유입하는 단계 및 상기 플레이팅 챔버 내에 제공된 기판 상에 상기 금속의 산화물층을 플레이팅하는 단계를 포함하고 상기 플레이팅하는 단계 이후에 산화물 저항 박막을 산화 분위기 또는 불활성 분위기에서 후속 열처리하는 단계를 더 포함하는 용액 공정(solution process)으로 산화물 저항 박막을 제조하여, 산화물 저항 박막이 낮은 비저항, 높은 TCR값, 낮은 1/f 노이즈 특성을 갖게 하는 것을 특징으로 하는 플레이팅을 이용한 산화물 저항 박막 제조방법 및 이 제조방법으로 제조된 산화물 저항 박막을 사용하여 작동온도 범위에서 산화물 저항 박막의 상(Phase)이 안정적으로 존재하기 때문에 우수한 정밀도와 향상된 온도 안정성을 갖는 볼로미터에 관한 것이다.

Подробнее
Номер записи: 2