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03-08-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING UNIT

Номер: KR1020160091769A
Автор: KIM, YOUNG HYUN, KIM, DO HYUNG, KIM, SANG BO, BAE, JIN MO, LEE, HYUN HO
Принадлежит:

The present invention provides a substrate processing unit, which comprises: a process chamber; a susceptor arranged in the process chamber to be able to rotate, wherein a wafer is put on an upper part; and a rotary shaft connected to a lower part of the susceptor to transfer rotary force, and is characterized in that the rotation center of the susceptor is different from that of the wafer. In addition, the present invention provides the substrate processing unit, comprising: the process chamber; the susceptor arranged in the process chamber to be able to rotate, wherein a wafer is put on an upper part; the rotary shaft connected to the lower part of the susceptor to transfer rotary force; a heating unit disposed on the lower part of the susceptor to heat the susceptor; and a reflective plate intervened between the susceptor and the heating unit to evenly transfer heat radiated from the heating unit to a lower surface of the susceptor. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 1
19-10-2016 дата публикации

PLASMA GENERATION APPARATUS

Номер: KR1020160121263A
Автор: BAE, JIN MO, KIM, DO HYUNG, KIM, SANG BO, KIM, YOUNG HUUN, CHOI, SEONG HYUK
Принадлежит:

The present invention provides a plasma generation apparatus and an electromagnetic wave shielding apparatus. The plasma generation apparatus includes a chamber which provides a reaction space; a dielectric plate which is arranged on the upper surface of the plasma generation apparatus and seals the chamber; a plasma generation source which is arranged in the upper part of the dielectric plate; and an antenna shielding room which surrounds the plasma generation source in the upper part of the chamber. The antenna shielding room includes at least one antenna shielding room sidewall. The antenna shielding rood has a curvature at a corner at which the at least one antenna room sidewall meets. So, uniform plasma of large size can be formed. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 2
22-06-2017 дата публикации

절단 브리지형 펀칭전단 보강재 및 이를 이용한 기초판의 시공방법

Номер: KR0101750177B1
Автор: 이상섭, 배규웅, 박금성, 곽명근, 김형도, 홍성엽, 배진모, 박성순, 정성욱, 이명, 김태길, 남순우
Принадлежит: 한국건설기술연구원, 신세계건설(주), 아이앤티엔지니어링(주)

... 본 발명은 건물 기초판의 취성적인 펀칭전단 파괴를 방지하고, 이에 따라 기초판의 두께를 줄일 수 있어 경제성과 시공성이 확보될 수 있는 분리 독립형 펀칭전단 보강재를 이용한 기초판의 시공방법을 제공한다.본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 시공될 기초판 위치에 기초 하부철근과 기초 상부철근이 배근되고 기초판에 기둥이 입설될 위치에 기둥 주철근이 배근되는 단계; 기둥 주철근의 하부측 단면 둘레로 기둥 단면의 형상에 대응하여 펀칭전단 보강재가 보강재 브리지수단을 통해 상호 연결된 상태에서 일체의 형태로 배치되어 직경이 큰 부분이 상향으로 직경이 작은 부분이 하향되는 방향 자세를 갖고 기둥의 하부측 가장자리에 접하여 기초판 상부의 기초 상부철근의 바로 밑에 설치되는 단계; 기초판 콘크리트가 타설 양생되어 펀칭전단 균열의 차단과 동시에 콘크리트가 3축 압축이 일어나도록 펀칭전단 보강재의 내외부로 콘크리트가 충진되는 단계를 포함하되; 상기 펀칭전단 보강재는 일정 두께의 강판으로 제작된 일정 높이를 갖고 예각의 측면 경사각도에 의해 원추 형태를 이루는 스커트부가 구비되되, 스커트부의 일부분이 절단·절취되어 기둥 표면에 펀칭전단 보강재가 근접 위치되도록 하는 1개소 또는 2개소에 기둥 근접용 절단면이 형성되어 있는 구조를 가지고, 펀칭 전단에 취약한 기둥 주변 기초판 상부의 응력분포를 3축 압축상태로 유지하고 균열이 발생하더라도 스커트부가 차단함으로써 전단내력을 증가시키는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 3
04-10-2016 дата публикации

ANTENNA TO GENERATE INDUCTIVELY COMBINED PLASMA AND INSULATING SUPPORT APPARATUS

Номер: KR1020160113905A
Автор: KIM, YOUNG HUUN, KIM, DO HYUNG, KIM, SANG BO, BAE, JIN MO, CHOI, SEONG HYUK
Принадлежит:

The purpose of the present invention is to provide an antenna to generate an inductively combined plasma including a duplex type structure of an inner antenna and an outer antenna having different installation heights to form the large scaled equal plasma having a structural safety. According to an embodiment of the present invention, an insulating support apparatus to fix an antenna to generate an inductively combined plasma comprises: an external body unit including a first width part, a first length part, a second width part, and a second length part successively connected and having a square ring shape; an external antenna accommodation unit individually formed on an upper surface and a lower surface of the first length part and the second length part to accommodate the external antenna to generate the inductively combined plasma; an inner body unit extended from the first width part of the outer body unit to the length direction; and an inner antenna accommodation unit individually ...

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Номер записи: 4
11-09-2015 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020150103603A
Автор: PI, JOONG HO, KOO, BUN HEI, NA, SUNG MIN, PARK, KWANG SU, BAE, JIN MO
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing substrate which can minimize a contamination region due to byproducts (for an example, particles) generated by the reaction of process gases in a process chamber. More particularly, the present invention relates to a substrate processing substrate. It includes a process chamber; a gas supply part which supplies a process gas into the process chamber; a substrate mounting part which is formed in the lower part of the gas supply part and has an upper part for mounting the substrate; and a discharge guide part which surrounds the substrate mounting part, limits the diffusion space of the process gas by using the gas supply part and the substrate mounting part, absorbs the gas of the diffusion space and discharges it to the outside of the process chamber. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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Номер записи: 5
22-06-2017 дата публикации

분리 독립형 펀칭전단 보강재 및 이를 이용한 기초판의 내력 증가 시공방법

Номер: KR0101750176B1
Автор: 이상섭, 배규웅, 박금성, 곽명근, 김형도, 홍성엽, 배진모, 박성순, 정성욱, 이명, 김태길, 남순우
Принадлежит: 한국건설기술연구원, 신세계건설(주), 아이앤티엔지니어링(주)

... 본 발명은 건물 기초판의 취성적인 펀칭전단 파괴를 방지하기 위해 내력을 증가시키고, 이에 따른 기초판의 두께를 줄일 수 있어 경제성과 시공성이 확보될 수 있는 분리 독립형 펀칭전단 보강재를 이용한 기초판의 내력 증가 시공방법을 제공한다.본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 시공될 기초판 위치에 기초 하부철근과 기초 상부철근이 배근되고 기초판에 기둥이 입설될 위치에 기둥 주철근이 배근되는 단계와; 기둥 주철근의 하부측 단면 둘레로 기둥 단면의 형상에 대응하여 펀칭전단 보강재가 직경이 큰 부분이 상향으로 직경이 작은 부분이 하향되는 방향 자세를 갖고 기둥의 하부측 가장자리에 접하여 기초판 상부의 기초 상부철근의 바로 밑에 배치 고정 설치되는 단계와; 기초판 콘크리트가 타설 양생되어 펀칭전단 균열의 차단과 동시에 콘크리트가 3축 압축상태가 되도록 펀칭전단 보강재의 내외부로 콘크리트가 충진되는 단계가 포함되고; 상기 펀칭전단 보강재는 일정 두께의 강판으로 제작된 일정 높이를 갖는 원추 형태로서 동일축상으로 일단에 직경이 작은 충진 소구멍과 타단에 상대적으로 직경이 큰 충진 대구멍 및 내부로 충진 소구멍에서 충진 대구멍을 향해 개구되어 있는 콘크리트 충진실을 형성시키는 스커트부가 구비되고, 펀칭 전단에 취약한 기둥 주변 기초판 상부의 응력분포를 3축 압축상태로 유지하고 균열이 발생하더라도 스커트부가 차단함으로써 전단내력을 증가시키는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 6
24-05-2017 дата публикации

SEPARATION TYPE PUNCHING SHEAR STIFFENER AND CONSTRUCTION METHOD FOR IMPROVING RESISTING FORCE OF FOUNDATION SLAB BY USING SAME

Номер: KR1020170057063A
Автор: LEE, SANG SUP, BAE, KYU WOONG, PARK, KEUM SUNG, GWAK, MYEONG GEUN, KIM, HYUNG DO, HONG, SUNG YUB, BAE, JIN MO, PARK, SUNG SOON, JEONG, SEONG UK, LEE, MYOUNG, KIM, TAE GIL, NAM, SOON WOO
Принадлежит:

The present invention provides a construction method for improving a resisting force of a foundation slab by using a separation type punching shear stiffener, capable of obtaining economic feasibility and constructability by reducing the thickness of the foundation slab by improving the resisting force to prevent a punching shear fracture of the foundation slab of a building. According to a proper aspect of the present invention, the construction method for improving a resisting force of a foundation slab by using a separation type punching shear stiffener includes: a step of arranging a foundation lower reinforcing bar and a foundation upper reinforcing bar on a slab or the foundation slab to be constructed and arranging a column main reinforcing bar at a position in which a column is installed on the foundation slab at the same time; a step of arranging an optimal number of the punching shear stiffeners to correspond to the shape of a cross section of the column on the circumference of ...

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Номер записи: 7
24-05-2017 дата публикации

CUTTING BRIDGE TYPE PUNCHING SHEAR STIFFENER AND CONSTRUCTION METHOD FOR FOUNDATION SLAB BY USING SAME

Номер: KR1020170057064A
Автор: LEE, SANG SUP, BAE, KYU WOONG, PARK, KEUM SUNG, GWAK, MYEONG GEUN, KIM, HYUNG DO, HONG, SUNG YUB, BAE, JIN MO, PARK, SUNG SOON, JEONG, SEONG UK, LEE, MYOUNG, KIM, TAE GIL, NAM, SOON WOO
Принадлежит:

The present invention provides a construction method for a foundation slab by using a separation type punching shear stiffener, capable of obtaining economic feasibility and constructability by reducing the thickness of the foundation slab by preventing a punching shear fracture of the foundation slab of a building. According to a proper aspect of the present invention, the construction method for a foundation slab by using a separation type punching shear stiffener includes: a step of arranging a foundation lower reinforcing bar and a foundation upper reinforcing bar on a slab or the foundation slab to be constructed and arranging a column main reinforcing bar at a position in which a column is installed on the foundation slab at the same time; a step of arranging an optimal number of the punching shear stiffeners to correspond to the shape of a cross section of the column on the circumference of the cross section on the lowermost part of the column main reinforcing bar so that a part ...

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Номер записи: 8
28-09-2016 дата публикации

PLASMA GENERATION APPARATUS

Номер: KR1020160112848A
Автор: KIM, YOUNG HUUN, KIM, DO HYUNG, KIM, DONG JIN, KIM, SANG BO, BAE, JIN MO, CHOI, SEONG HYUK, HWANG, CHUL JOO
Принадлежит:

The present invention provides a plasma generation apparatus. The plasma generation apparatus includes: a radio frequency (RF) power supply; an inner antenna connected to the RF power supply and receiving power; an outer antenna connected to the RF power supply to receive power and disposed at the outer circumference to enclose the inner antenna; and an inner grounding ring electrically connected to the inner antenna and disposed between the inner antenna and the outer antenna. The plasma generation apparatus can change a structure of a grounding unit to control the flow of RF currents. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 9